[發(fā)明專利]抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310025067.6
• 申請日: 2013-01-23
• 公開（公告）號(hào): CN103107477A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李建;彭金明;詹敏;陳根余;陳燚;高云峰
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01S3/036
• 分類號(hào): H01S3/036
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的方法。

背景技術(shù)

隨著大功率氣體激光器在切割、焊接、熔覆等領(lǐng)域的廣泛使用，國內(nèi)外加工市場對大功率氣體激光器的需求逐年呈上升趨勢。在大批進(jìn)口大功率氣體激光器涌入市場的同時(shí)，國產(chǎn)的大功率氣體激光器也逐漸崛起，其加工和使用性能已慢慢接近國外高水平。

激光器內(nèi)部的核心部件，即諧振腔。諧振腔內(nèi)的潔凈程度在很大程度上直接影響諧振腔的穩(wěn)定性和使用壽命。氣體激光器（主要是快速軸流和快速橫流激光器）需要有羅茨泵或渦輪風(fēng)機(jī)驅(qū)動(dòng)工作氣體流動(dòng)進(jìn)行工作，而羅茨泵或渦流風(fēng)機(jī)關(guān)停后，羅茨泵或渦流風(fēng)機(jī)的潤滑油溫度很高，由于高溫，潤滑油揮發(fā)形成油氣，通過軸與泵體之間的縫隙進(jìn)入諧振腔內(nèi)，冷卻后沉積在諧振腔內(nèi)部及光學(xué)鏡片上，長時(shí)間的油氣積累會(huì)導(dǎo)致諧振腔放電效果變差及光學(xué)系統(tǒng)損傷，嚴(yán)重影響了氣體激光器的穩(wěn)定性和使用壽命。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種能有效控制油氣污染，提高氣體激光器的穩(wěn)定性和延長氣體激光器的使用壽命的抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的方法。

此外，還有必要提供一種能有效控制油氣污染，提高氣體激光器的穩(wěn)定性和延長氣體激光器的使用壽命的抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的系統(tǒng)。

一種抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的方法，其中，所述氣體激光器包括諧振腔、真空泵、驅(qū)動(dòng)裝置，所述真空泵與所述諧振腔相連通，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)諧振腔內(nèi)的工作氣體流動(dòng)，所述方法包括以下步驟：

檢測到所述驅(qū)動(dòng)裝置關(guān)機(jī)后，控制所述真空泵繼續(xù)運(yùn)行，并控制所述真空泵抽取所述諧振腔內(nèi)的氣體；

當(dāng)檢測到抽取氣體使得所述諧振腔內(nèi)的氣壓小于等于第一預(yù)設(shè)氣壓時(shí)，將保護(hù)氣體回充入所述諧振腔內(nèi)，且控制所述真空泵持續(xù)運(yùn)行；

當(dāng)檢測到所述回充保護(hù)氣體使得所述諧振腔內(nèi)的氣壓大于等于第二預(yù)設(shè)氣壓時(shí)，控制所述真空泵停止運(yùn)行，其中，所述第一預(yù)設(shè)氣壓小于所述第二預(yù)設(shè)氣壓。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述方法還包括步驟：

對所述驅(qū)動(dòng)裝置、真空泵及所述諧振腔進(jìn)行冷卻。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述驅(qū)動(dòng)裝置為渦輪泵或羅茨泵。

一種抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的系統(tǒng)，所述氣體激光器包括諧振腔、真空泵、驅(qū)動(dòng)裝置，所述真空泵與所述諧振腔相連通，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)諧振腔內(nèi)的工作氣體流動(dòng)，所述系統(tǒng)包括：

控制模塊，用于在檢測到所述驅(qū)動(dòng)裝置關(guān)機(jī)后，控制所述真空泵繼續(xù)運(yùn)行，并控制所述真空泵抽取所述諧振腔內(nèi)的氣體；

檢測模塊，用于檢測所述諧振腔內(nèi)的氣壓，并將檢測的氣壓分別與第一預(yù)設(shè)氣壓和第二預(yù)設(shè)氣壓進(jìn)行比較；

回充模塊，用于當(dāng)檢測到抽取氣體使得所述諧振腔內(nèi)的氣壓小于等于第一預(yù)設(shè)氣壓時(shí)，將保護(hù)氣體回充入所述諧振腔內(nèi)，且所述控制模塊還用于控制所述真空泵持續(xù)運(yùn)行；

所述控制模塊還用于當(dāng)檢測到所述回充保護(hù)氣體使得所述諧振腔內(nèi)的氣壓大于等于第二預(yù)設(shè)氣壓時(shí)，控制所述真空泵停止運(yùn)行，其中，所述第一預(yù)設(shè)氣壓小于所述第二預(yù)設(shè)氣壓。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述系統(tǒng)還包括：

冷卻模塊，用于對所述驅(qū)動(dòng)裝置、真空泵及所述諧振腔進(jìn)行冷卻。

上述抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的方法和系統(tǒng)，通過在關(guān)閉驅(qū)動(dòng)裝置后，控制真空泵繼續(xù)運(yùn)行，直到諧振腔內(nèi)的氣壓小于等于第一預(yù)設(shè)氣壓后，回充入保護(hù)氣體，直到諧振腔內(nèi)的氣壓大于等于第二預(yù)設(shè)氣壓后，停止真空泵，如此因保持了真空泵持續(xù)運(yùn)行，抽氣延時(shí)且提高了真空度，在充入保護(hù)氣體的同時(shí)輔以抽真空，有效抑制了油氣滲入諧振腔內(nèi)，提高了氣體激光器的穩(wěn)定性且延長了氣體激光器的使用壽命。

附圖說明

圖1為一個(gè)實(shí)施例中抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的方法的流程示意圖；

圖2為一個(gè)實(shí)施例中氣體激光器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為一個(gè)實(shí)施例中抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為一個(gè)實(shí)施例中抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體的實(shí)施例及附圖對抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的方法和系統(tǒng)的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，以使其更加清楚。

如圖1所示，在一個(gè)實(shí)施例中，一種抑制氣體激光器的諧振腔內(nèi)油污染的方法，包括以下步驟：

步驟S110，檢測到驅(qū)動(dòng)裝置關(guān)機(jī)后，控制真空泵繼續(xù)運(yùn)行，并控制該真空泵抽取該諧振腔內(nèi)的氣壓。