[發明專利]抑制氣體激光器的諧振腔內油污染的方法有效
| 申請號： | 201310025067.6 | 申請日： | 2013-01-23 |
| 公開（公告）號： | CN103107477A | 公開（公告）日： | 2013-05-15 |
| 發明（設計）人： | 李建;彭金明;詹敏;陳根余;陳燚;高云峰 | 申請（專利權）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01S3/036 | 分類號： | H01S3/036 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518000 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 抑制 氣體 激光器 諧振腔 油污 方法 | ||
1.一種抑制氣體激光器的諧振腔內油污染的方法，所述氣體激光器包括諧振腔、真空泵、驅動裝置，所述真空泵與所述諧振腔相連通，所述驅動裝置驅動諧振腔內的工作氣體流動，所述方法包括以下步驟：
檢測到所述驅動裝置關機后，控制所述真空泵繼續運行，并控制所述真空泵抽取所述諧振腔內的氣體；
當檢測到抽取氣體使得所述諧振腔內的氣壓小于等于第一預設氣壓時，將保護氣體回充入所述諧振腔內，且控制所述真空泵持續運行；
當檢測到所述回充保護氣體使得所述諧振腔內的氣壓大于等于第二預設氣壓時，控制所述真空泵停止運行，其中，所述第一預設氣壓小于所述第二預設氣壓。
2.根據權利要求1所述的抑制氣體激光器的諧振腔內油污染的方法，其特征在于，所述方法還包括步驟：
對所述驅動裝置、真空泵及所述諧振腔進行冷卻。
3.根據權利要求1所述的抑制氣體激光器的諧振腔內油污染的方法，其特征在于，所述驅動裝置為渦輪泵或羅茨泵。
4.一種抑制氣體激光器的諧振腔內油污染的系統，所述氣體激光器包括諧振腔、真空泵、驅動裝置，所述真空泵與所述諧振腔相連通，所述驅動裝置驅動諧振腔內的工作氣體流動，其特征在于，所述系統包括：
控制模塊，用于在檢測到所述驅動裝置關機后，控制所述真空泵繼續運行，并控制所述真空泵抽取所述諧振腔內的氣體；
檢測模塊，用于檢測所述諧振腔內的氣壓，并將檢測的氣壓分別與第一預設氣壓和第二預設氣壓進行比較；
回充模塊，用于當檢測到抽取氣體使得所述諧振腔內的氣壓小于等于第一預設氣壓時，將保護氣體回充入所述諧振腔內，且所述控制模塊還用于控制所述真空泵持續運行；
所述控制模塊還用于當檢測到所述回充保護氣體使得所述諧振腔內的氣壓大于等于第二預設氣壓時，控制所述真空泵停止運行，其中，所述第一預設氣壓小于所述第二預設氣壓。
5.根據權利要求4所述的抑制氣體激光器的諧振腔內油污染的系統，其特征在于，所述系統還包括：
冷卻模塊，用于對所述驅動裝置、真空泵及所述諧振腔進行冷卻。
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