[發(fā)明專利]用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅產(chǎn)品的機(jī)組有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310024134.2 | 申請(qǐng)日： | 2013-01-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103183324A | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳清麗;尹克勝;尹弘毅;劉紅亮;劉來寶 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 尹克勝 |
| 主分類號(hào)： | C01B21/068 | 分類號(hào)： | C01B21/068;C04B35/584;C04B35/565 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 276700 *** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶體 加工 砂漿 回收 制備 氮化 產(chǎn)品 機(jī)組 | ||
1.用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅產(chǎn)品的機(jī)組，其特征在于：生產(chǎn)機(jī)組由氣流床反應(yīng)器、氮?dú)獾入x子體點(diǎn)火器、壓力控制器、隧道窯、窯車、干燥機(jī)、硅粉料倉、硅粉氣力輸送器、Si3N4氣力輸送器、Si3N4料倉、產(chǎn)品計(jì)量包裝裝置、空分制氮裝置、自控系統(tǒng)及相關(guān)配套管道、閥門、儀器儀表構(gòu)成；以晶體硅加工廢砂漿回收的硅粉和氮?dú)鉃樵希缘獨(dú)廨斔洼d體，生產(chǎn)氮化硅微粉和氮化硅結(jié)合碳化硅陶瓷材料。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅產(chǎn)品的機(jī)組，其特征在于：用于生產(chǎn)氮化硅微粉的原料是利用晶體硅加工廢砂漿回收的硅微粉，其成分為Si≥80--95％、SiC≤20--5％、Fe2O3≤0.1％。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅產(chǎn)品的機(jī)組，其特征在于：用于生產(chǎn)氮化硅微粉的原料是含N298--99.99％的氮?dú)猓敵鰤毫?.1--1.0MPa，配套制氮系統(tǒng)的生產(chǎn)能力是實(shí)際氮化用量的2--8倍，以滿足機(jī)組原料和熱量輸送需要。?
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅產(chǎn)品的機(jī)組，其特征在于：氮化硅微粉的合成是在機(jī)組的核心設(shè)備-氣流床反應(yīng)器內(nèi)完成的；氣流床工作壓力0.2--1.6MPa，高徑比3--10∶1。(另案申請(qǐng))?
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅產(chǎn)品的機(jī)組，其特征在于：用于制造氮化硅結(jié)合碳化硅陶瓷材料毛坯的原料是晶體硅加工廢砂漿回收的二元砂，其成分為Si＝40--20％、SiC＝60--80％、Fe2O3≤0.1％。?
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅產(chǎn)品的機(jī)組，其特征在于：用于生產(chǎn)氮化硅結(jié)合碳化硅陶瓷材料燒結(jié)的能量和氮?dú)馐菤饬鞔卜磻?yīng)器排出的、溫度1200--1600℃、壓力0.01--0.10MPa含有少量氮化硅微粉的反應(yīng)氮?dú)馓峁┑摹?
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅產(chǎn)品的機(jī)組，其特征在于：氮化硅結(jié)合碳化硅陶瓷材料的反應(yīng)燒結(jié)是在本機(jī)組的關(guān)鍵設(shè)備-隧道窯內(nèi)完成的；隧道窯工作壓力≤0.1MPa，工作截面積是氣流床截面積的0.5--4倍，長度是氣流床高度5--20倍；與配套的隧道窯窯車組合形成隧道式燒結(jié)通道。(另案申請(qǐng))?
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅產(chǎn)品的機(jī)組，其特征在于：連接氣流床反應(yīng)器和隧道窯的氮?dú)鈧鬏斞b置是壓力控制器，其前端安裝有根據(jù)氣流床反應(yīng)器工藝要求進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)的自動(dòng)控制閥，后端設(shè)有與隧道窯燒結(jié)工藝匹配的氣流分布器，壓力控制器外殼為金屬殼體，內(nèi)襯能夠承受1200--1600℃的隔熱材料。?
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅產(chǎn)品的生產(chǎn)機(jī)組，其特征在于：除上述氣流床反應(yīng)器、隧道窯、隧道窯窯車、壓力控制器必須專門設(shè)計(jì)制造外，其余包括氮?dú)獾入x子體點(diǎn)火器、干燥機(jī)、硅粉料倉、硅粉氣力輸送器、Si3N4氣力輸送器、Si3N4料倉、產(chǎn)品計(jì)量包裝裝置、制氮裝置、自控系統(tǒng)及相關(guān)配套管道、閥門、儀器儀表均可根據(jù)機(jī)組設(shè)計(jì)能力，選用市場成熟設(shè)備器件配套。?
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