[發(fā)明專利]測(cè)量方法、裝載方法、曝光方法及曝光裝置、及元件制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310020243.7
• 申請(qǐng)日: 2005-11-18
• 公開（公告）號(hào): CN103186057A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安田雅彥;杉原太郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 尼康股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧

1.一種測(cè)量方法，是用以測(cè)量以可拆裝方式搭載于移動(dòng)體上且形成有用以裝載物體的開口的板件的資訊，其特征在于包含：

內(nèi)周邊緣位置取得步驟，檢測(cè)該板件的一部分，并根據(jù)其檢測(cè)結(jié)果來取得該開口內(nèi)周邊緣的位置資訊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的測(cè)量方法，其特征在于其進(jìn)一步包含位置算出步驟，根據(jù)該內(nèi)周邊緣的位置資訊算出該開口的位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的測(cè)量方法，其特征在于其進(jìn)一步包含形狀算出步驟，根據(jù)該內(nèi)周邊緣的位置資訊算出該開口的形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的測(cè)量方法，其特征在于其中，該開口是呈圓形；

該形狀算出步驟，至少進(jìn)行該開口的真圓度的算出。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的測(cè)量方法，其特征在于其中，在該內(nèi)周邊緣位置取得步驟中，該板件的一部分的檢測(cè)，是一邊以界定其移動(dòng)座標(biāo)系統(tǒng)的測(cè)量裝置測(cè)量該移動(dòng)體的位置一邊進(jìn)行，并根據(jù)其檢測(cè)結(jié)果與對(duì)應(yīng)的該測(cè)量裝置的測(cè)量結(jié)果，來取得該開口的內(nèi)周邊緣復(fù)數(shù)處的位置資訊。

6.根據(jù)權(quán)利要求5的測(cè)量方法，其特征在于其中，該移動(dòng)體具有反射面；該測(cè)量裝置包含干涉計(jì)系統(tǒng)，其利用該移動(dòng)體的反射面來測(cè)量該移動(dòng)體的位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1的測(cè)量方法,其特征在于其中,該內(nèi)周邊緣位置取得步驟包含：

攝影步驟，是攝影該板件的該開口內(nèi)周邊緣及與該內(nèi)周邊緣的位置關(guān)系為已知的該板件上記號(hào)的至少一方；以及

影像處理步驟，根據(jù)該攝影結(jié)果，利用影像處理方法來取得該內(nèi)周邊緣的位置資訊。

8.根據(jù)權(quán)利要求7的測(cè)量方法，其特征在于其中，該攝影步驟是在包含以該開口中心為基準(zhǔn)呈大致對(duì)稱的至少2處的復(fù)數(shù)處，攝影該內(nèi)周邊緣及該記號(hào)的至少一方。

9.根據(jù)權(quán)利要求1的測(cè)量方法，其特征在于其中,該板件是于該移動(dòng)體上形成撥液面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9的測(cè)量方法，其特征在于其中,在該移動(dòng)體上形成液浸區(qū)域。

11.一種裝載方法，是用以將物體裝載于移動(dòng)體上,該移動(dòng)體以可拆裝方式搭載具有裝載物體用的開口的板件，其特征在于：

根據(jù)使用權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)的測(cè)量方法所取得的該板件的開口內(nèi)周邊緣的位置資訊，將該物體裝載于該移動(dòng)體上的該板件的開口內(nèi)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11的裝載方法，其特征在于其中，以避免該物體的外周邊緣與該開口的內(nèi)周邊緣接觸、且使該物體的外周邊緣與該開口的內(nèi)周邊緣的間隔較既定值為小的方式，根據(jù)該板件的開口內(nèi)周邊緣的位置資訊，將該物體裝載于該移動(dòng)體上的該板件的開口內(nèi)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12的裝載方法，其特征在于其中，在該物體的裝載中，根據(jù)該板件的開口內(nèi)周邊緣的位置資訊，調(diào)整搬送該物體的搬送臂與該移動(dòng)體的位置關(guān)系。

14.一種曝光方法，是用以將物體曝光，其特征在于包含以下步驟：

使用權(quán)利要求11的裝載方法，將該物體裝載于該移動(dòng)體上的該板件的開口內(nèi)；以及

將曝光用光束照射于該移動(dòng)物體上所裝載的該物體上。

15.一種元件制造方法，其特征在于包含：微影步驟,是使用權(quán)利要求14的曝光方法。

16.一種裝載方法，是用以將物體裝載于移動(dòng)體上，其特征在于包含：

內(nèi)周邊緣位置取得步驟，用以取得形成于該移動(dòng)體上面的開口的內(nèi)周邊緣的位置資訊；

根據(jù)該開口內(nèi)周邊緣的位置資訊，調(diào)整搬送該物體的搬送臂與該移動(dòng)體的位置關(guān)系，將以該搬送臂搬送的該物體裝載于該移動(dòng)體上的開口內(nèi)。

17.根據(jù)權(quán)利要求16的裝載方法，其特征在于其中，調(diào)整該搬送臂與該移動(dòng)體的該位置關(guān)系，以避免該物體的外周邊緣與該開口的內(nèi)周邊緣接觸、且使該物體的外周邊緣與該開口的內(nèi)周邊緣的間隔較既定值小的方式，裝載該物體。

18.根據(jù)權(quán)利要求17的裝載方法，其特征在于其中，在該內(nèi)周邊緣位置取得步驟，取得該開口的內(nèi)周邊緣的復(fù)數(shù)處的位置資訊；

根據(jù)復(fù)數(shù)處的該內(nèi)周邊緣的位置資訊算出該開口的中心位置。