[發(fā)明專利]一種鍵合機(jī)臺(tái)裝置與鍵合對(duì)準(zhǔn)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310013119.8
• 申請(qǐng)日: 2013-01-14
• 公開（公告）號(hào): CN103077904A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陸偉
• 主分類號(hào): H01L21/60
• 分類號(hào): H01L21/60;H01L21/68
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

1.一種鍵合機(jī)臺(tái)對(duì)準(zhǔn)的方法，其特征是：包括以下步驟，

步驟一，將鍵合機(jī)臺(tái)上的頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)與鍵合機(jī)臺(tái)上的標(biāo)準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)對(duì)準(zhǔn)，將底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)與所述鍵合機(jī)臺(tái)上的標(biāo)準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)對(duì)準(zhǔn)；

步驟二，移動(dòng)鍵合機(jī)臺(tái)上的頂部卡盤將所述頂部卡盤上設(shè)有的頂部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)對(duì)準(zhǔn)，移動(dòng)鍵合機(jī)臺(tái)上的底部卡盤將所述底部卡盤上設(shè)有的底部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)對(duì)準(zhǔn)；

步驟三，將頂部晶圓固定在所述頂部卡盤上，將所述頂部晶圓上設(shè)有的頂部晶圓對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與頂部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)對(duì)準(zhǔn)；將底部晶圓固定在鍵合機(jī)臺(tái)上的底部卡盤上，將所述底部晶圓上設(shè)有的底部晶圓對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與底部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)對(duì)準(zhǔn)；

步驟四，移動(dòng)頂部卡盤將頂部晶圓對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)對(duì)準(zhǔn)，移動(dòng)底部卡盤將底部晶圓對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)對(duì)準(zhǔn)；

步驟五，將對(duì)準(zhǔn)后的頂部晶圓與底部晶圓進(jìn)行鍵合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍵合機(jī)臺(tái)對(duì)準(zhǔn)的方法,其特征是:所述鍵合機(jī)臺(tái)上的標(biāo)準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)設(shè)置在頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)與底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍵合機(jī)臺(tái)對(duì)準(zhǔn)的方法,其特征是:所述頂部晶圓對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)設(shè)置在頂部晶圓需要進(jìn)行鍵合的表面上，所述底部晶圓對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)設(shè)置在底部晶圓需要進(jìn)行鍵合的表面上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍵合機(jī)臺(tái)對(duì)準(zhǔn)的方法,其特征是:所述頂部卡盤和底部卡盤上均設(shè)有晶圓固定裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一所述的一種鍵合機(jī)臺(tái)對(duì)準(zhǔn)的方法,其特征是:所述步驟三中,在所述頂部卡盤上的頂部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)已經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的情況下,放上頂部晶圓,調(diào)節(jié)頂部晶圓位置使頂部晶圓對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)對(duì)準(zhǔn)，在所述底部卡盤上的底部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)已經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的情況下,放上底部晶圓,調(diào)節(jié)底部晶圓位置使底部晶圓對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)對(duì)準(zhǔn)。

6.一種鍵合機(jī)臺(tái)裝置,其特征是:包括頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、頂部卡盤、底部卡盤和處理控制控制器，所述頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、頂部卡盤、底部卡盤分別與處理控制器相連接,所述頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)與底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)面對(duì)設(shè)置，所述頂部卡盤與底部卡盤置于所述頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)與底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)之間，所述頂部卡盤上設(shè)有頂部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)，所述底部卡盤上設(shè)有底部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)；所述處理控制器用于控制頂部卡盤和底部卡盤移動(dòng)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，還用于控制頂部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)和底部對(duì)準(zhǔn)相機(jī)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述一種鍵合機(jī)臺(tái)裝置，其特征是：所述頂部卡盤與底部卡盤上均設(shè)有晶圓固定裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述一種鍵合機(jī)臺(tái)裝置，其特征是：所述頂部卡盤上的頂部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)的形狀為方框形或十字形，所述底部卡盤上的底部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)的形狀為十字形或方框形，所述十字形內(nèi)接于所述方框形。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述一種鍵合機(jī)臺(tái)裝置，其特征是：所述頂部卡盤上的頂部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)的形狀與底部卡盤上的底部卡盤對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)的形狀互補(bǔ)。