[發(fā)明專利]一種表面具有凸起的二氧化鈦薄膜的制備方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310010403.X
• 申請(qǐng)日: 2013-01-11
• 公開（公告）號(hào): CN103088294A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尤玉飛;徐春花;王俊鵬;王鏡喆;李晶晶;劉玉亮;曹津;李登輝;陳月
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河南科技大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/08
• 分類號(hào): C23C14/08;C23C14/24
• 代理公司: 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 41120
• 代理人: 羅民健

1.一種表面具有凸起的二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一、以液態(tài)有機(jī)鈦為鈦源，將其滴入到坩堝中，并取洗凈烘干的襯底通過(guò)支架設(shè)置在液態(tài)有機(jī)鈦的上方，然后蓋上坩堝蓋；

步驟二、將步驟一的坩堝置于加熱爐中，將加熱爐爐內(nèi)溫度調(diào)至50-350°C并保溫10min-24h，即可在襯底上得到含鈦元素的薄膜；

步驟三、將加熱爐爐內(nèi)溫度調(diào)至450-700℃并保溫1-20h，然后停止加熱并以5-300°C/min的速度冷卻至室溫，即可制得產(chǎn)品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面具有凸起的二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟一中液態(tài)有機(jī)鈦為鈦的有機(jī)物或其衍生物。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種表面具有凸起的二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟一中液態(tài)有機(jī)鈦為鈦酸乙酯、鈦酸異丙酯、鈦酸正丙酯或鈦酸丁酯。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面具有凸起的二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟二的操作方法，是將權(quán)利要求1中步驟一的坩堝置于加熱爐中，將加熱爐爐內(nèi)溫度調(diào)至100-250°C并保溫30min，即可在襯底上得到含鈦元素的薄膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面具有凸起的二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟三的操作方法，是將加熱爐爐內(nèi)溫度調(diào)至450-500℃并保溫2h，然后停止加熱并以5-300°C/min的速度冷卻至室溫，即可制得產(chǎn)品。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面具有凸起的二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟三制得的產(chǎn)品表面上具有的凸起的曲率半徑為0.1-2.5????????????????????????????????????????????????。