日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發明專利]低溫電弧離子鍍涂層有效

專利信息
申請號: 201280070072.2 申請日: 2012-12-14
公開(公告)號: CN104114740B 公開(公告)日: 2017-09-15
發明(設計)人: S.克拉斯尼策爾;D.庫拉波夫;M.萊希塔勒 申請(專利權)人: 歐瑞康表面解決方案股份公司;普費菲孔
主分類號: C23C14/32 分類號: C23C14/32;H01J37/32
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001 代理人: 韋欣華,梁謀
地址: 瑞士普*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 低溫 電弧 離子鍍 涂層
【說明書】:

發明涉及用來生產表現光滑表面和優良的機械性能的薄膜的低溫電弧離子鍍(AIP)沉積方法。

技術領域

AIP技術是最常見的物理氣相沉積(PVD)涂覆工藝之一,特征在于在真空條件下使用陰極電弧源來蒸發涂層材料(工作壓力約10"2-10-4mbar)。通過陰極電弧沉積,向靶(材料來源)釋放的高功率電弧導致一些靶材的蒸發,并由此提供待被沉積到基材上的高度電離的蒸汽。

術語IP(離子鍍)指在涂覆過程中用高能的帶正電荷的離子轟擊待涂覆的基材,這可以通過在基材上施加偏壓來實現。其促進高密度涂層凝結在基材上。此外,還可以在蒸發過程中將反應性氣體,如氮、乙炔或氧氣引入真空室中以沉積涂層,其包含由蒸發和電離的材料與所述反應性氣體之間的反應所導致的不同的化合物。

AlP-沉積的涂層除了上述高密度之外通常還表現出對基材良好的粘附性(涂層和基材之間的強結合)并且一般是高質量的,特別是在物理、結構和摩擦學性能方面。這些涂層現在還表現出高硬度和非常良好的切割性能。

使用AIP技術的另一重要的優點是與其他競爭的PVD技術,如磁控濺射離子鍍(MSIP)涂層沉積,相比實現了高的涂層沉積速度。

然而電弧蒸發工藝的一個缺點是,如果陰極輝點長時間呆在一個蒸發點,則其可能逐出大量大顆粒或液滴。由于其差的粘附并且可能貫穿涂層,這些液滴對涂層的性能是有害的。通過不使陰極輝點保持在一個靶位太長時間,可以減少涂層膜中的液滴數量。因此使用磁場來控制電弧的移動。

因為通過涂覆過程達到的相對高的基材溫度(高于300℃),AIP工藝往往不用來涂覆溫度敏感的基材,如塑料和不銹鋼。

根據現有工藝,通過如下改良一些涂覆工藝參數或涂覆條件能夠在低溫(于300℃或更低的溫度)下完成電弧離子鍍工藝:

·在涂覆過程中,減小靶上的電弧電流或操作更低數量的靶。該措施涉及相關的和不可避免的涂層的沉積速度的降低,這是不利的。

·在涂覆過程中,在基材上不施加偏壓或施加減小的偏壓。該措施也是不利的,因為產生的涂層表現較低的密度和通常低劣的機械性能。

·在涂覆過程中,不斷地從基材中去除熱能。在這種情況下,必須在涂覆機器中安裝主動冷卻系統用于在涂覆過程中在冷卻劑和基材之間進行必要的熱傳遞,以從基材中提取過量的熱能或不期望的熱能。該措施可能會非常復雜和昂貴。

·不使用磁場或使用弱磁場或相當低的磁場強度。以這種方式,可以使用較冷的涂覆等離子體來執行涂覆過程,該較冷的涂覆等離子體的特征在于較低的電勢和與等價的較熱涂覆等離子體相同的電流,并由此具有較低的電功率。這有助于在涂覆過程中減少基材中熱能的產生。該措施的缺點為,陰極輝點在靶表面上移動較慢,因此在每個蒸發點上保持很長時間,其導致排出更大量的大顆粒或液滴。

發明內容

本發明的目的在于提供用于涂覆溫度敏感的基材的低溫電弧離子鍍沉積方法,其克服了現有技術的上述缺點。具體地,該低溫電弧離子鍍沉積方法應當使得在涂覆過程中基材溫度能夠保持在350℃之下,優選300℃之下,甚至在必要時在100℃和300℃之間或更低。此外,通過根據本發明的低溫電弧離子鍍涂層方法生成的薄膜應當表現出光滑表面和優良的機械性能或與在更高的基材溫度下沉積的等價薄膜類似的涂層質量。此外,根據本發明的涂覆方法應當允許與通過較高的基材溫度沉積的等價涂層膜獲得的那些相等的涂層沉積速度。

詳細說明

本發明涉及下述電弧離子鍍層沉積方法:用于在真空室中電弧涂覆或電弧離子鍍涂覆基材的涂覆方法,其中使用電弧蒸發器蒸發充當陰極的固體材料,在電弧蒸發過程中,使用磁場加速陰極輝點在固體材料表面上的移動來避免從固體材料表面逐出大量的大顆粒或液滴,由電弧蒸發產生的帶負電荷的顆粒從陰極流向陽極,特征在于帶負電荷的顆粒從陰極到陽極的移動不引起陰極和陽極之間的電勢差的絕對值的額外增大,使得在涂覆過程中實現更小的基材溫度升高。

隨后將更詳細地解釋本發明:

首先,為了更好地理解本發明將再次分析現有技術的情況。

通常通過使用更大的電弧電流和/或通過涂覆工藝操作更大量的靶來獲得更高的涂層沉積速度,但如上面已經解釋的,較高的電弧電流必然與較高的等離子體電功率相關聯,且因此與較高的基材溫度相關聯。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于歐瑞康表面解決方案股份公司;普費菲孔,未經歐瑞康表面解決方案股份公司;普費菲孔許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201280070072.2/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 国产精品久久久久久久四虎电影| 国产高清精品一区| 91一区二区三区久久国产乱 | 91精品一区二区在线观看 | 国产精品视频tv| 日本精品99| 精品一区二区三区自拍图片区| 偷拍久久精品视频| 一区二区三区国产精品| 99久久国产综合精品女不卡| 99久久国产免费| 狠狠色噜噜综合社区| 一区二区中文字幕在线观看| 理论片高清免费理伦片| xxxxhdvideosex| 国产欧美一区二区精品久久久| 免费观看xxxx9999片| 男女视频一区二区三区| 国产一区二区三区午夜| 中文字幕一区二区三区免费| 亚洲码在线| 日韩av一区不卡| 国产欧美日韩在线观看| 国内久久精品视频| 久久99精品国产一区二区三区| 国产88av| 狠狠色噜噜狼狼狼色综合久| 国产日韩欧美另类| 亚洲乱玛2021| 99国产精品一区二区| 伊人久久婷婷色综合98网| 国产一二三区免费| 久久99精品一区二区三区| 999久久久国产精品| 夜夜躁人人爽天天天天大学生 | 日本神影院一区二区三区| 国产乱人乱精一区二视频国产精品| 欧美在线视频精品| 中文字幕欧美一区二区三区 | 欧美一级免费在线视频| 欧美一区视频观看| 欧美日韩久久一区| 欧美日韩中文字幕三区| 91精品视频一区二区三区| 91麻豆精品国产91久久| 久久噜噜少妇网站| 国产91热爆ts人妖在线| 欧美国产精品久久| 久久夜色精品国产噜噜麻豆| 亚洲日本国产精品| 午夜剧场伦理| 欧美精品一区二区三区在线四季| 91午夜在线观看| 国产精品理人伦一区二区三区| 色一情一交一乱一区二区三区| 91狠狠操| 午夜看片网站| 国产精品一区二区在线观看免费| 欧美一级特黄乱妇高清视频| 国产欧美一区二区三区不卡高清| 国产欧美久久一区二区三区| 强行挺进女警紧窄湿润| 丰满岳乱妇bd在线观看k8| 国产www亚洲а∨天堂| 欧美精品粉嫩高潮一区二区 | 日韩精品免费一区二区夜夜嗨| 国产午夜精品免费一区二区三区视频 | 国产亚洲精品精品国产亚洲综合| 欧美午夜一区二区三区精美视频| 国产精品精品国内自产拍下载| av国产精品毛片一区二区小说| 欧美一区二三区人人喊爽| 精品国产免费久久| 国产乱人乱精一区二视频国产精品| 日本一区二区三区免费视频 | 性生交大片免费看潘金莲| 国产又色又爽无遮挡免费动态图| xxxxhdvideosex| 欧美一级免费在线视频| 26uuu亚洲电影在线观看| 国产一区二区三区伦理| 色综合久久网| 91精品视频在线观看免费| 久久精品国语| 日本一区免费视频| 色一情一乱一乱一区99av白浆| 国产日韩欧美91| 一区二区三区电影在线观看| 久久99精品国产| 国产91高清| 中文字幕久久精品一区| 天摸夜夜添久久精品亚洲人成 | 久久激情网站| 欧美在线观看视频一区二区| 狠狠躁夜夜躁xxxxaaaa| 国产一级不卡毛片| 99精品少妇| 19videosex性欧美69| 国产在线播放一区二区| 国产欧美日韩另类| 国产日韩一区在线| 91精品第一页| 亚洲w码欧洲s码免费| bbbbb女女女女女bbbbb国产| 91狠狠操| 热久久国产| 久久久久久亚洲精品| 国产精品一级在线| 狠狠色噜噜狠狠狠狠黑人| 亚洲影院久久| 国产精品国产三级国产专区52| 夜夜夜夜曰天天天天拍国产| 狠狠色丁香久久婷婷综| 真实的国产乱xxxx在线91| 狠狠色噜噜综合社区| 国产无套精品久久久久久| 国产精品99999999| 天天干狠狠插| 日本一区二区电影在线观看| 韩日av一区二区| 亚洲欧美日韩视频一区| 日韩av在线影视| 亚洲欧美另类国产| 精品久久二区| 国产一区二区精品在线| 欧美高清性xxxxhd| 91视频国产一区| 国产精品一区不卡| 国产一区二区三区在线电影| 午夜影院激情| 99久久精品国| 国产精品久久国产三级国电话系列 | 久久精品99国产精品亚洲最刺激| 91人人精品| 亚洲伊人久久影院| 欧美大片一区二区三区| 国产欧美日韩精品一区二区三区 | 国产精品久久久久久久久久久久久久久久| 日韩美一区二区三区| 亚洲视频h| 香蕉视频在线观看一区二区| 精品国产一区二区三区四区四| 亚洲精品久久久久999中文字幕 | 性生交大片免费看潘金莲| 日韩精品久久久久久久电影99爱| 91人人爽人人爽人人精88v | 丝袜脚交一区二区| 国产一区欧美一区| 艳妇荡乳欲伦2| 亚洲国产一区二| 午夜一级电影| 日本免费电影一区二区三区| 欧美系列一区| 日韩av三区| 国产偷国产偷亚洲清高| 91国产一区二区| 欧美日韩国产精品一区二区 | 91精品啪在线观看国产| 午夜黄色大片| 久久国产精久久精产国| 91视频国产九色| 国产精品视频久久久久久久| 91麻豆精品国产91久久久更新资源速度超快 | 欧美日本一二三区| 国产精品高潮呻吟视频| 欧美午夜精品一区二区三区| 久久精品手机视频| 年轻bbwbbw高潮| 国产二区免费视频| 国产精品视频一区二区在线观看 | 国产视频二区在线观看| 男女视频一区二区三区| 日韩av三区| 国产精品96久久久久久又黄又硬| 午夜亚洲影院| 色噜噜狠狠色综合中文字幕 | 国产一区在线视频播放| 午夜天堂在线| 玖玖爱国产精品| sb少妇高潮二区久久久久| 91精品美女| 日韩国产精品久久| 国产一区在线视频播放| 国产1区2区3区| 7799国产精品久久99| 日本精品一区二区三区在线观看视频 | 久久综合伊人77777麻豆最新章节 一区二区久久精品66国产精品 | 91精品夜夜| 午夜影院黄色片| 国产第一区二区| 91社区国产高清| 美日韩一区| 亚洲第一区国产精品| 中文字幕精品一区二区三区在线| 国产视频一区二区视频| 国产1区2区视频| 国产专区一区二区| 亚洲区在线| 狠狠色狠狠色综合婷婷tag| 久99久视频| 99精品一级欧美片免费播放| 亚洲欧美另类久久久精品2019| 欧美一区二区三区白人| 国产白丝一区二区三区| 精品久久小视频| 91国产在线看| 国产精品自拍不卡| 欧美精品九九| 色综合久久精品| 亚洲精品国产一区| 99精品国产一区二区三区麻豆| 欧美乱大交xxxxx古装| 久久久久国产精品免费免费搜索 | 欧美系列一区二区| 性国产日韩欧美一区二区在线| 午夜特片网| 国产99久久久精品视频| 亚洲精品日韩色噜噜久久五月| 99视频国产在线| 国产精品视频久久久久久| 亚洲欧美日韩三区| 野花国产精品入口| 海量av在线| 欧美精品一区二区三区在线四季| 欧美一区二区三区久久久| 午夜看片网| 国产精品午夜一区二区| 欧美一区二区三区另类| 日韩欧美多p乱免费视频| 最新av中文字幕| 日韩一区免费| 久久久精品二区| 久久国产精品99国产精| 日本免费电影一区二区| 欧美日韩一二三四区| 在线观看国产91| 国产精华一区二区精华| 精品国产区| 欧美69精品久久久久久不卡| 6080日韩午夜伦伦午夜伦| 国产欧美日韩一级| 国语对白一区二区| 久久久久久久久久国产精品| 国产一区二区手机在线观看| 香蕉av一区二区| 麻豆精品久久久|