[發(fā)明專利]靜電夾頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280068046.6
• 申請日: 2012-06-27
• 公開（公告）號: CN104067382B
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發(fā)明（設計）人: 小野浩司
• 申請（專利權）人: 京瓷株式會社
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;B23Q3/15;H02N13/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 樊建中

1.一種靜電夾頭，其特征在于，包括：

陶瓷基體，其含有Mn；和

吸著用電極，其設置于該陶瓷基體的內部或下表面，

在所述陶瓷基體的自上表面至所述吸著用電極的區(qū)域中具有Mn的含量小于1×10^-4質量％的部分。

2.根據(jù)權利要求1所述的靜電夾頭，其特征在于，

所述吸著用電極設置于所述陶瓷基體的內部，自所述上表面至所述吸著用電極的區(qū)域的Mn的含量小于1×10^-4質量％。

3.根據(jù)權利要求1所述的靜電夾頭，其特征在于，

所述吸著用電極設置于所述陶瓷基體的內部，自所述上表面至所述吸著用電極的下表面附近的區(qū)域的Mn的含量小于1×10^-4質量％。

4.根據(jù)權利要求1～3中任一項所述的靜電夾頭，其特征在于，

所述陶瓷基體由多晶體構成。

5.根據(jù)權利要求4所述的靜電夾頭，其特征在于，

所述陶瓷基體的晶界相的Mn含量小于1×10^-4質量％。

6.根據(jù)權利要求1～3中任一項所述的靜電夾頭，其特征在于，

在所述陶瓷基體的上表面設置有多個凸部。