[發明專利]帶電粒子線裝置以及傾斜觀察圖像顯示方法

有效

• 申請號: 201280065865.5
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN104040676A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 小竹航;川俁茂;伊東祐博
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/147
• 分類號: H01J37/147;H01J37/21;H01J37/22;H01J37/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張莉

技術領域

本發明涉及對樣品照射傾斜的一次帶電粒子線來獲取并顯示傾斜觀察圖像的帶電粒子線裝置以及傾斜觀察圖像顯示方法。

背景技術

以往，在掃描電子顯微鏡所代表的帶電粒子線裝置中，例如，使樣品臺向左右傾斜，獲取左眼用的傾斜圖像和右眼用的傾斜圖像，基于交叉法、平行法、使用了紅綠眼鏡的彩色立體圖法等來顯示3D(立體)觀察圖像。此外，當獲取成為3D觀察圖像的來源的左右的傾斜觀察圖像時，取代使樣品臺傾斜的機構性的控制，而通過電磁控制來使入射至樣品的帶電粒子線傾斜。

例如，在專利文獻1、2中，記載了使帶電粒子線傾斜來獲取角度不同的觀察圖像的技術。即，帶電粒子線被控制為入射至物鏡的軸外，利用物鏡的會聚作用而使其傾斜。

此外，在專利文獻3、4中，公開了在使帶電粒子線傾斜的情況下用于適當調整光學系統的調整部件。例如，在專利文獻3中，獲取無傾斜觀察圖像(Top-down像)，對其模板化，在之后的傾斜觀察圖像的獲取時，通過將該傾斜觀察圖像與模板進行模式匹配，來進行視野偏差或像散校正、焦點校正等操作。此外，在專利文獻4中，公開有以下技術，按解析方法來分解在多個透鏡的組合和物鏡的軸外入射時的帶電粒子線的舉動，在使帶電粒子線傾斜入射至樣品上的情況下產生的像差由光學系統構成要素被綜合地取消。

進一步地，在專利文獻5中，公開了以下技術：通過按電磁方式以1行作為單位來控制帶電粒子線的傾斜，從而同時獲取左右的傾斜圖像，并將獲取到的左右的傾斜圖像顯示在3D顯示裝置上進行3D觀察。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：JP實開昭55-48610號公報

專利文獻2：JP特開平2-33843號公報

專利文獻3：JP特開2005-310602號公報

專利文獻4：JP特開200612664號公報

專利文獻5：JP特開20109907號公報

發明的概要

發明要解決的課題

在現有的掃描電子顯微鏡等中，一般在顯示裝置中設置1個或者2個觀察圖像的顯示區域。由此，以往，在顯示區域為2個的情況下，在該2個顯示區域中，或者顯示左或右傾斜觀察圖像的每一個，或者顯示將左右中的一方的傾斜觀察圖像與左或右的傾斜觀察圖像合成后得到的3D觀察圖像(例如，彩色立體圖像)。此外，當然，在顯示區域為1個的情況下，僅僅顯示左傾斜觀察圖像、右傾斜觀察圖像、或者左或右的傾斜觀察圖像的3D觀察圖像之一。

但是，在專利文獻1-5等中，針對如何將左或右的傾斜觀察圖像、和左或右的傾斜觀察圖像的3D觀察圖像組合起來進行顯示，并沒有詳細記載。并且，不限于專利文獻1-5，在現有技術中，至少不能同時獲取左或右的傾斜觀察圖像和無傾斜觀察圖像并同時對其進行顯示。

一般，先獲取并顯示無傾斜觀察圖像，之后，顯示左或右的傾斜觀察圖像和該3D觀察圖像較為容易。但是，以往，如果同時獲取并同時顯示無傾斜觀察圖像和左或右的傾斜觀察圖像，則由于兩者焦點位置不同，存在不能同時獲取對兩者對焦的觀察圖像這樣的問題。另外，這里所說的“同時”是指，進行觀察的人的感覺上“同時”的意思，例如，1秒左右的時間差異被視為“同時”。

發明內容

鑒于這些現有技術的問題，本發明的目的在于，提供一種能夠大致同時獲取并同時顯示對焦的無傾斜觀察圖像和對焦的傾斜觀察圖像的帶電粒子線裝置以及傾斜觀察圖像顯示方法。

用于解決課題的手段

本發明涉及的帶電粒子線裝置具備：帶電粒子源；多個電子透鏡，其使從上述帶電粒子源射出的一次帶電粒子線會聚；帶電粒子線掃描控制部件，其對上述一次帶電粒子線進行偏轉控制，使得在上述會聚后的一次帶電粒子線照射至樣品的表面時，該照射點對上述樣品的表面上進行二維掃描；照射軸傾斜部件，其使上述一次帶電粒子線照射至上述樣品時的上述一次帶電粒子線的照射軸傾斜；焦點位置調整部件，其將通過上述照射軸傾斜部件使上述一次帶電粒子線的照射軸傾斜的情況下的焦點位置、和未使上述一次帶電粒子線的照射軸傾斜的情況下的焦點位置調整為相同的位置；帶電粒子檢測器，其在上述一次帶電粒子線照射至上述樣品時，檢測從上述樣品射出的帶電粒子；和控制裝置，其基于由上述帶電粒子檢測器檢測到的信號，生成上述樣品的表面的觀察圖像。