[發明專利]帶電粒子線裝置以及傾斜觀察圖像顯示方法

有效

• 申請號: 201280065865.5
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN104040676A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 小竹航;川俁茂;伊東祐博
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/147
• 分類號: H01J37/147;H01J37/21;H01J37/22;H01J37/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張莉

1.一種帶電粒子線裝置，其特征在于，具備：

帶電粒子源；

多個電子透鏡，其使從上述帶電粒子源射出的一次帶電粒子線會聚；

帶電粒子線掃描控制部件，其對上述一次帶電粒子線進行偏轉控制，使得在會聚后的上述一次帶電粒子線照射至樣品的表面時，該一次帶電粒子線的照射點對上述樣品的表面上進行二維掃描；

照射軸傾斜部件，其使上述一次帶電粒子線照射至上述樣品時的上述一次帶電粒子線的照射軸傾斜；

焦點位置調整部件，其將通過上述照射軸傾斜部件使上述一次帶電粒子線的照射軸傾斜的情況下的焦點位置、和未使上述一次帶電粒子線的照射軸傾斜的情況下的焦點位置調整為相同的位置；

帶電粒子檢測器，其在上述一次帶電粒子線照射至上述樣品時，檢測從上述樣品射出的帶電粒子；和

控制裝置，其基于由上述帶電粒子檢測器檢測到的信號，生成上述樣品的表面的觀察圖像，

上述控制裝置，

在每次經由上述帶電粒子線掃描控制部件使上述一次帶電粒子線對上述樣品的表面進行1行份的掃描線的掃描時，經由上述照射軸傾斜部件使上述一次帶電粒子線的照射軸左傾斜、無傾斜、或者右傾斜，并且在變更了上述照射軸時，經由上述焦點位置調整部件按照上述照射軸的傾斜狀態來調整上述一次帶電粒子線的焦點位置，獲取上述1行份的掃描線的上述樣品的表面的左傾斜觀察圖像、無傾斜觀察圖像、或者右傾斜觀察圖像，將到此時為止獲取到的與掃描線相關的上述左傾斜觀察圖像、上述無傾斜觀察圖像、和上述右傾斜觀察圖像同時顯示在相同的顯示裝置中。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子線裝置，其特征在于，

上述控制裝置，

經由上述一次帶電粒子線掃描控制部件控制使得對上述樣品的表面的相同的1行掃描線進行3次掃描，在該3次掃描的每一次掃描中，依次使上述一次帶電粒子線的照射軸左傾斜、無傾斜、或者右傾斜。

3.根據權利要求1所述的帶電粒子線裝置，其特征在于，

上述控制裝置，進一步地，

根據上述左傾斜觀察圖像和上述右傾斜觀察圖像生成3D觀察圖像，將所生成的該3D觀察圖像、上述左傾斜觀察圖像、上述右傾斜觀察圖像、和上述無傾斜觀察圖像同時顯示在相同的顯示裝置中。

4.根據權利要求1所述的帶電粒子線裝置，其特征在于，

上述焦點位置調整部件，由不具有磁性體的金屬芯的線圈構成。

5.一種帶電粒子線裝置，其特征在于，具備：

帶電粒子源；

多個電子透鏡，其使從上述帶電粒子源射出的一次帶電粒子線會聚；

帶電粒子線掃描控制部件，其對上述一次帶電粒子線進行偏轉控制，使得在會聚后的上述一次帶電粒子線照射至樣品的表面時，該一次帶電粒子線的照射點對上述樣品的表面上進行二維掃描；

照射軸傾斜部件，其使上述一次帶電粒子線照射至上述樣品時的上述一次帶電粒子線的照射軸傾斜；

焦點位置調整部件，其將通過上述照射軸傾斜部件使上述一次帶電粒子線的照射軸傾斜的情況下的焦點位置、和未使上述一次帶電粒子線的照射軸傾斜的情況下的焦點位置調整為相同的位置；

帶電粒子檢測器，其在上述一次帶電粒子線照射至上述樣品時，檢測從上述樣品射出的帶電粒子；和

控制裝置，其基于由上述帶電粒子檢測器檢測到的信號，生成上述樣品的表面的觀察圖像，

上述控制裝置，進一步地，

在每次經由上述帶電粒子線掃描控制部件使上述一次帶電粒子線對上述樣品的表面進行1幀份的掃描線的掃描時，經由上述照射軸傾斜部件使上述一次帶電粒子線的照射軸左傾斜、無傾斜、或者右傾斜，并且在變更了上述照射軸時，經由上述焦點位置調整部件按照上述照射軸的傾斜狀態來調整上述一次帶電粒子線的焦點位置，獲取上述1幀份的掃描線的上述樣品的表面的左傾斜觀察圖像、無傾斜觀察圖像、或者右傾斜觀察圖像，將到此時為止獲取到的與幀相關的上述左傾斜觀察圖像、上述無傾斜觀察圖像、和上述右傾斜觀察圖像同時顯示在相同的顯示裝置中。