[發明專利]自動外觀檢查裝置

有效

• 申請號: 201280065039.0
• 申請日: 2012-11-09
• 公開（公告）號: CN104024835A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 大久保憲治;山本比佐史
• 申請（專利權）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;H01L21/66
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;于靖帥

技術領域

本發明涉及自動檢查在玻璃和半導體晶片等檢查對象物上形成的電路圖案等的缺陷的技術。

背景技術

半導體設備例如是在一枚晶片上排列/形成多個電路圖案后切割成單片而制造的。各個電路圖案在進行幾重布線和成膜之后被形成為層狀，但是對是否存在布線短路或斷線、混入異物等缺陷，在進行了各層的電路構圖之后進行全數檢查(例如專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2008-224303號公報

發明內容

發明要解決的課題

為了增加半導體設備等在每單位時間內的制造數量，也要求檢查裝置有很高的處理能力。因此，為了縮短每一枚基板花費的檢查時間，考慮了移動臺的高速化或配置多個攝像部的方式。然而，即使實現移動臺的高速化，在取得圖像后，到能夠取得下一個圖像之前的時間也會成為瓶頸，高速化存在界限。

圖10是以往技術的時序圖，按照時間序列示出了根據攝像指示由攝像機進行攝像并傳送數據的情況。對攝像機進行了攝像指示后，攝像機成為可攝像狀態(圖中記載為“攝像開”)，其間使閃光燈照明發光(圖中記載為“開”)。攝像機攝像終止時(圖中為變成“攝像關”時)，從攝像機向外部設備或緩沖存儲器等傳送圖像數據。攝像機可以很好地使用一般普及的應用性高的攝像機，但是這種攝像機不具有蓄積所拍攝的圖像的功能、或是在圖像數據的傳送過程中，僅能存儲一張下一個圖像的程度。因此，按照能夠連續傳送圖像數據的時間間隔Td，以相同程度的時間間隔T1進行了逐次攝像。因此，在連續攝像時，時間間隔T1成為縮短時間的瓶頸。

另一方面，為了縮短檢查時間，也提出了配置多個攝像部的方式(例如用兩臺攝像機同時取得兩個電路圖案)，但是在檢查對象物很小，不能使攝像部互相之間的間隔縮短的情況下，不能同時拍攝多個電路，因而不能按照期望縮短時間。

進而，在為了對應多個品種而備有多個攝像倍率不同的物鏡的情況下，也存在以下的課題：由于鏡頭個數增加，成為成本提高的因素；以及為了使檢查質量一致，需要校正多個攝像部的功能差異，成為進一步提高成本的因素。

這里，本發明的目的在于提供一種能夠不受攝像機處理能力的制約而縮短檢查時間的自動外觀檢查裝置。

用于解決問題的手段

為了解決以上問題，權利要求1所述的發明是

一種自動外觀檢查裝置，該自動外觀檢查裝置是對形成在檢查對象物上的圖案的缺陷進行檢測的檢查對象物檢查裝置，其特征在于，具有：

載臺部，其載置所述檢查對象物；

掃描臺部，其使所述載臺部在規定的方向上掃描移動；

照明部，其朝向所述檢查對象物照射照明光；

鏡筒部，其將從所述照明部照射并被所述檢查對象物反射的光或者透射過所述檢查對象物的光作為觀察光進行引導；

攝像部，其安裝在所述鏡筒部上，對所述觀察光進行攝像；

控制部，其一邊使所述掃描臺部移動，一邊使所述照明部發光，進行所述觀察光的攝像；以及

檢查部，其根據預先登記的檢查條件，判斷所述攝像的所述檢查對象物的圖像是否良好，

所述掃描臺部具有測量所述載臺部的當前位置的位置測量單元，

所述鏡筒部具有光分支單元，該光分支單元使所述觀察光的一部分透射，并且使一部分改變角度而反射，

所述鏡筒部安裝有多個所述攝像部，使得能夠分別對所述光分支單元所分支的光進行攝像，

所述控制部具有對于每次所述攝像逐次切換用于所述攝像的所述攝像部來進行攝像的功能。

由于使用上述發明的裝置，能夠使觀察光分支而由多個攝像部同時進行攝像，通過與閃光燈發光聯動，多個攝像部中的一個在處理中即使處于不能進行下一次攝像的狀態，也能夠由其他攝像部進行攝像。

權利要求2所述的發明是

一種自動外觀檢查裝置，該自動外觀檢查裝置是對形成在檢查對象物上的圖案的缺陷進行檢測的檢查對象物檢查裝置，其特征在于，具有：

載臺部，其載置所述檢查對象物；

掃描臺部，其使所述載臺部在規定的方向上掃描移動；

照明部，其朝向所述檢查對象物照射照明光；

鏡筒部，其將從所述照明部照射并被所述檢查對象物反射的光或者透射過所述檢查對象物的光作為觀察光進行引導；

攝像部，其安裝在所述鏡筒部上，對所述觀察光進行攝像；

控制部，其一邊使所述掃描臺部移動，一邊使所述照明部發光，進行所述觀察光的攝像；以及