[發明專利]自動外觀檢查裝置

有效

• 申請號: 201280065039.0
• 申請日: 2012-11-09
• 公開（公告）號: CN104024835A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 大久保憲治;山本比佐史
• 申請（專利權）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;H01L21/66
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;于靖帥

1.一種自動外觀檢查裝置，該自動外觀檢查裝置是對形成在檢查對象物上的圖案的缺陷進行檢測的檢查對象物檢查裝置，其特征在于，具有：

載臺部，其載置所述檢查對象物；

掃描臺部，其使所述載臺部在規定的方向上掃描移動；

照明部，其朝向所述檢查對象物照射照明光；

鏡筒部，其將從所述照明部照射并被所述檢查對象物反射的光或者透射過所述檢查對象物的光作為觀察光進行引導；

攝像部，其安裝在所述鏡筒部上，對所述觀察光進行攝像；

控制部，其一邊使所述掃描臺部移動，一邊使所述照明部發光，進行所述觀察光的攝像；以及

檢查部，其根據預先登記的檢查條件，判斷所述攝像的所述檢查對象物的圖像是否良好，

所述掃描臺部具有測量所述載臺部的當前位置的位置測量單元，

所述鏡筒部具有光分支單元，該光分支單元使所述觀察光的一部分透射，并且使一部分改變角度而反射，

所述鏡筒部安裝有多個所述攝像部，使得能夠分別對所述光分支單元所分支的光進行攝像，

所述控制部具有對于每次所述攝像逐次切換用于所述攝像的所述攝像部來進行攝像的功能。

2.一種自動外觀檢查裝置，該自動外觀檢查裝置是對形成在檢查對象物上的圖案的缺陷進行檢測的檢查對象物檢查裝置，其特征在于，具有：

載臺部，其載置所述檢查對象物；

掃描臺部，其使所述載臺部在規定的方向上掃描移動；

照明部，其朝向所述檢查對象物照射照明光；

鏡筒部，其將從所述照明部照射并被所述檢查對象物反射的光或者透射過所述檢查對象物的光作為觀察光進行引導；

攝像部，其安裝在所述鏡筒部上，對所述觀察光進行攝像；

控制部，其一邊使所述掃描臺部移動，一邊使所述照明部發光，進行所述觀察光的攝像；以及

檢查部，其根據預先登記的檢查條件，判斷所述攝像的所述檢查對象物的圖像是否良好，

所述掃描臺部具有測量所述載臺部的當前位置的位置測量單元，

所述鏡筒部具有改變所述觀察光的角度或方向來進行反射的光反射單元，

所述鏡筒部安裝有多個所述攝像部，使得能夠分別對所述光反射單元所反射的光進行攝像，

所述控制部具有對于每次所述攝像與所述攝像聯動地變更所述光反射單元的反射方向并且逐次切換用于所述攝像的所述攝像部來進行攝像的功能。

3.根據權利要求2所述的自動外觀檢查裝置，其特征在于，

所述鏡筒部還安裝有致動部，該致動部變更所述光反射單元的位置或者角度，

所述控制部與所述攝像聯動地驅動致動部，進行所述攝像。

4.根據權利要求3所述的自動外觀檢查裝置，其特征在于，

所述致動部在所述攝像過程中也使所述光反射單元的位置或者角度處于移動狀態。

5.根據權利要求4所述的自動外觀檢查裝置，其特征在于，

所述攝像過程中的致動部的移動速度比非攝像時的該移動速度慢。

6.根據權利要求3～5中的任意一項所述的自動外觀檢查裝置，其特征在于，

所述致動部或者所述光反射單元安裝有檢測當前位置的位置檢測器或者檢測當前角度的角度檢測器，

根據該位置檢測器或者該角度檢測器的信息進行所述攝像。

7.根據權利要求1～6中任意一項所述的自動外觀檢查裝置，其特征在于，

照射所述照明光的照明部是照射閃光燈照明的閃光燈照明部，

通過閃光燈照明的發光進行所述攝像。