[發明專利]用于保護玻璃板的氣相沉積方法

有效

• 申請號: 201280056924.2
• 申請日: 2012-11-14
• 公開（公告）號: CN104081456B
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: R·A·邦德洛;D·G·恩尼克斯;C·A·保爾森;G·R·特羅托
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: G11B5/706
• 分類號: G11B5/706
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 李玲

提供一種在拉制工藝中使用大氣氣相沉積對玻璃帶的表面進行涂敷的方法。該方法包括形成粘彈性狀態的玻璃帶，理想地通過熔化拉制形成。玻璃帶在粘彈性狀態下被拉制。玻璃帶在粘彈性狀態下冷卻至彈性狀態。玻璃帶被引入反應器的開口端。該反應器包括多個通道。第一通道引導第一反應劑氣體，第二通道引導第二反應劑氣體，并且一個或多個第三通道抽取過量的反應劑或用惰性氣體流洗滌它或兩者兼有。

本申請根據35U.S.C.§119要求2011年11月23日提交申請的美國臨時專利申請61/563,116的優先權益，且基于其內容并通過引用將其內容整體援引包含于此。

技術領域

本說明書總地涉及對薄的柔性玻璃襯底或玻璃板的保護，所述玻璃襯底或玻璃板可用于構建諸如顯示器、區域照明、光伏板這樣的電子設備或諸如蒸氣阻擋、輕量透明板這樣的無源結構、用于盛裝、保護或展示其它產品的商業包裝件或能夠忍受比通常對于塑料發現的更高溫度的材料。

背景技術

薄的柔性玻璃在透明性、氣密性、尺寸穩定性、表面光潔性、對刮痕和起皺的耐受性等領域內具有優于塑料的優勢。柔性玻璃的主要難題在于，如果在其表面或邊緣處存在小的瑕疵，則它可能作為裂紋的起源，這可能造成斷裂。玻璃具有高耐壓強度，但在存在缺陷時具有低抗拉強度。

已知由玻璃制成的光纖可具有高抗拉強度，只要在制造光纖之后迅速對玻璃表面施加涂層和保護。通過在當加熱較厚玻璃棒時在其端部上作拉伸，將其下拉至非常小的直徑(125微米數量級)、用多層涂敷它并隨后將其纏繞在線軸上，制成光纖。這個工藝的關鍵部分被認為是在對光纖執行任何其它處理之前在光纖成形之后立即對光纖進行涂敷。一旦簡單暴露于大氣，光纖的斷裂強度急劇地下降。氧和濕氣可能侵襲玻璃表面并形成微觀缺陷，該微觀缺陷可能引起傳播的裂紋。

制造玻璃的一種方法是通過拉制工藝。拉制的兩個例子是再拉制和熔化拉制。通過再拉制，例如用于制造光纖，存在玻璃的起始工件，它處于與產品中要求的形狀類似但橫截面積更大的形狀。端部被加熱并以受控制的方式像太妃糖那樣被拉伸并延伸至極長的尺寸。相反，熔化拉制一般用來通過使看上去像雨水排水溝的槽溢流而制造玻璃板。在被拉伸通過時，玻璃在兩側溢流并匯合到一起以在槽下方形成玻璃板。玻璃可從槽底部被拉出，由此得到非常薄的玻璃，該玻璃可隨后被折彎并纏繞在線軸上。

數個涂層可用來保護玻璃表面以防止引起裂紋，這可以接下來防止裂紋傳播。特別感興趣的是無機涂層，它保護玻璃并同時仍然允許玻璃用于塑料可能失效的高溫下的工藝。

發明內容

各實施例可包括下列特征中的一個或多個。在玻璃剛從玻璃拉制中完工并保持新鮮(在玻璃與任何類型的固體表面接觸之前)的同時用無機涂層對玻璃帶或玻璃板進行涂敷的大氣技術，與在涂敷期間支持玻璃而不通過任何其它固體材料接觸玻璃表面的技術結合，例如通過在反應器頭和玻璃之間使用氣體壓力以浮起和控制原玻璃，使其在其它非垂直結構高于水平面內的反應器頭的下部或在垂直結構中的反應器頭的兩個部分之間。氣體壓力是通過使過濾的氣體朝向玻璃表面流動而形成，由此形成用于沉積工藝的無微粒區。這是能夠幫助在拉制之后直接維持未經接觸的玻璃的無缺陷狀態。

在另一合需的方面，以帶形狀出現的非常薄的玻璃可與氣相沉積工藝一起使用以沉積無機涂層。薄帶允許在工廠安裝中在輥子上彎曲或圍繞在小轉彎周圍，由此實現連續涂層裝置和/或連續涂層操作。足夠薄以容易彎曲的玻璃有利于符合由反應器頭提供的空氣軸承。非常薄的玻璃帶狀玻璃也碰巧是最能從非接觸、剛好從拉制完工的涂層裝置和工藝中獲益的玻璃材料，因為非常薄的玻璃的機械強度有相對更大的比例是由其表面的狀態確定的，并且本公開的涂敷方法和裝置保留了該表面原生的理想的化學和物理性質。