[發(fā)明專利]用于保護(hù)玻璃板的氣相沉積方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280056924.2
• 申請(qǐng)日: 2012-11-14
• 公開（公告）號(hào): CN104081456B
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: R·A·邦德洛;D·G·恩尼克斯;C·A·保爾森;G·R·特羅托
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號(hào): G11B5/706
• 分類號(hào): G11B5/706
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 李玲

提供一種在拉制工藝中使用大氣氣相沉積對(duì)玻璃帶的表面進(jìn)行涂敷的方法。該方法包括形成粘彈性狀態(tài)的玻璃帶，理想地通過熔化拉制形成。玻璃帶在粘彈性狀態(tài)下被拉制。玻璃帶在粘彈性狀態(tài)下冷卻至彈性狀態(tài)。玻璃帶被引入反應(yīng)器的開口端。該反應(yīng)器包括多個(gè)通道。第一通道引導(dǎo)第一反應(yīng)劑氣體，第二通道引導(dǎo)第二反應(yīng)劑氣體，并且一個(gè)或多個(gè)第三通道抽取過量的反應(yīng)劑或用惰性氣體流洗滌它或兩者兼有。

本申請(qǐng)根據(jù)35U.S.C.§119要求2011年11月23日提交申請(qǐng)的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)61/563,116的優(yōu)先權(quán)益，且基于其內(nèi)容并通過引用將其內(nèi)容整體援引包含于此。

技術(shù)領(lǐng)域

本說明書總地涉及對(duì)薄的柔性玻璃襯底或玻璃板的保護(hù)，所述玻璃襯底或玻璃板可用于構(gòu)建諸如顯示器、區(qū)域照明、光伏板這樣的電子設(shè)備或諸如蒸氣阻擋、輕量透明板這樣的無源結(jié)構(gòu)、用于盛裝、保護(hù)或展示其它產(chǎn)品的商業(yè)包裝件或能夠忍受比通常對(duì)于塑料發(fā)現(xiàn)的更高溫度的材料。

背景技術(shù)

薄的柔性玻璃在透明性、氣密性、尺寸穩(wěn)定性、表面光潔性、對(duì)刮痕和起皺的耐受性等領(lǐng)域內(nèi)具有優(yōu)于塑料的優(yōu)勢(shì)。柔性玻璃的主要難題在于，如果在其表面或邊緣處存在小的瑕疵，則它可能作為裂紋的起源，這可能造成斷裂。玻璃具有高耐壓強(qiáng)度，但在存在缺陷時(shí)具有低抗拉強(qiáng)度。

已知由玻璃制成的光纖可具有高抗拉強(qiáng)度，只要在制造光纖之后迅速對(duì)玻璃表面施加涂層和保護(hù)。通過在當(dāng)加熱較厚玻璃棒時(shí)在其端部上作拉伸，將其下拉至非常小的直徑(125微米數(shù)量級(jí))、用多層涂敷它并隨后將其纏繞在線軸上，制成光纖。這個(gè)工藝的關(guān)鍵部分被認(rèn)為是在對(duì)光纖執(zhí)行任何其它處理之前在光纖成形之后立即對(duì)光纖進(jìn)行涂敷。一旦簡(jiǎn)單暴露于大氣，光纖的斷裂強(qiáng)度急劇地下降。氧和濕氣可能侵襲玻璃表面并形成微觀缺陷，該微觀缺陷可能引起傳播的裂紋。

制造玻璃的一種方法是通過拉制工藝。拉制的兩個(gè)例子是再拉制和熔化拉制。通過再拉制，例如用于制造光纖，存在玻璃的起始工件，它處于與產(chǎn)品中要求的形狀類似但橫截面積更大的形狀。端部被加熱并以受控制的方式像太妃糖那樣被拉伸并延伸至極長(zhǎng)的尺寸。相反，熔化拉制一般用來通過使看上去像雨水排水溝的槽溢流而制造玻璃板。在被拉伸通過時(shí)，玻璃在兩側(cè)溢流并匯合到一起以在槽下方形成玻璃板。玻璃可從槽底部被拉出，由此得到非常薄的玻璃，該玻璃可隨后被折彎并纏繞在線軸上。

數(shù)個(gè)涂層可用來保護(hù)玻璃表面以防止引起裂紋，這可以接下來防止裂紋傳播。特別感興趣的是無機(jī)涂層，它保護(hù)玻璃并同時(shí)仍然允許玻璃用于塑料可能失效的高溫下的工藝。

發(fā)明內(nèi)容

各實(shí)施例可包括下列特征中的一個(gè)或多個(gè)。在玻璃剛從玻璃拉制中完工并保持新鮮(在玻璃與任何類型的固體表面接觸之前)的同時(shí)用無機(jī)涂層對(duì)玻璃帶或玻璃板進(jìn)行涂敷的大氣技術(shù)，與在涂敷期間支持玻璃而不通過任何其它固體材料接觸玻璃表面的技術(shù)結(jié)合，例如通過在反應(yīng)器頭和玻璃之間使用氣體壓力以浮起和控制原玻璃，使其在其它非垂直結(jié)構(gòu)高于水平面內(nèi)的反應(yīng)器頭的下部或在垂直結(jié)構(gòu)中的反應(yīng)器頭的兩個(gè)部分之間。氣體壓力是通過使過濾的氣體朝向玻璃表面流動(dòng)而形成，由此形成用于沉積工藝的無微粒區(qū)。這是能夠幫助在拉制之后直接維持未經(jīng)接觸的玻璃的無缺陷狀態(tài)。

在另一合需的方面，以帶形狀出現(xiàn)的非常薄的玻璃可與氣相沉積工藝一起使用以沉積無機(jī)涂層。薄帶允許在工廠安裝中在輥?zhàn)由蠌澢驀@在小轉(zhuǎn)彎周圍，由此實(shí)現(xiàn)連續(xù)涂層裝置和/或連續(xù)涂層操作。足夠薄以容易彎曲的玻璃有利于符合由反應(yīng)器頭提供的空氣軸承。非常薄的玻璃帶狀玻璃也碰巧是最能從非接觸、剛好從拉制完工的涂層裝置和工藝中獲益的玻璃材料，因?yàn)榉浅１〉牟ＡУ臋C(jī)械強(qiáng)度有相對(duì)更大的比例是由其表面的狀態(tài)確定的，并且本公開的涂敷方法和裝置保留了該表面原生的理想的化學(xué)和物理性質(zhì)。