[發明專利]用于保護玻璃板的氣相沉積方法有效
| 申請號： | 201280056924.2 | 申請日： | 2012-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN104081456B | 公開（公告）日： | 2018-07-03 |
| 發明（設計）人： | R·A·邦德洛;D·G·恩尼克斯;C·A·保爾森;G·R·特羅托 | 申請（專利權）人： | 康寧股份有限公司 |
| 主分類號： | G11B5/706 | 分類號： | G11B5/706 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 玻璃帶 粘彈性狀態 拉制 反應劑氣體 氣相沉積 反應器 玻璃板 熔化 惰性氣體流 彈性狀態 反應劑 開口端 涂敷 洗滌 抽取 過量 冷卻 引入 | ||
1.一種在拉制工藝中使用氣相沉積對玻璃帶的表面進行涂敷的方法，所述方法包括：
形成處于粘彈性狀態下的玻璃帶；
拉制在粘彈性狀態下的玻璃帶；
將所述粘彈性狀態下的玻璃帶冷卻至彈性狀態；
將所述玻璃帶引入反應器的開口端，所述反應器包括多個通道，其中至少第一通道引導第一反應劑氣體，至少第二通道引導第二反應劑氣體，并且至少第三通道引導惰性氣體流或抽真空；
將所述第一反應劑氣體從所述第一通道引導到所述反應器內的玻璃帶上；
將所述第二反應劑氣體從所述第二通道引導到所述反應器內的玻璃帶上；
通過在位于所述玻璃帶兩側的相反的氣體流之間平衡所述玻璃帶，控制所述玻璃帶在所述反應器中的位置；以及
通過來自所述反應器內的第三通道的惰性氣體流，或通過所述反應器內的第三通道抽走過量的反應劑，將所述過量的反應劑從所述玻璃帶清洗掉。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：在所述玻璃帶的表面上形成氧化物涂層，所述氧化物涂層從包括Al2O3、SnO2和ZrO2的組中選取。
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一反應劑氣體是TMAl。
4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二反應劑氣體是水。
5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括如下步驟：提供一反應器，所述反應器具有其寬度等于所述玻璃帶的寬度的可拆卸部分。
6.如權利要求1-5中任一項所述的方法，其特征在于，還包括：當所述玻璃帶在所述反應器中時，避免所述玻璃帶的表面與任何固體對象接觸。
7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，包括通過惰性氣體流將過量的反應劑從玻璃帶清洗掉的步驟以及通過抽走過量的反應劑而清洗掉過量的反應劑的步驟這兩者。
8.如權利要求6所述的方法，其特征在于，形成處于粘彈性狀態下的玻璃帶的步驟包括：采用熔化拉制。
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