[發明專利]太陽能電池的制造方法以及太陽能電池

有效

• 申請號: 201280054056.4
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN103907208A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 酒田現示;橫尾秀和;富田真人;鈴木英夫
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/068
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 張路;王琦

1.一種太陽能電池的制造方法，所述太陽能電池具有在實質上為矩形的硅基板上設置的雜質區域以及與所述雜質區域重疊設置的電極，其特征在于，所述太陽能電池的制造方法具有：

雜質注入工序，形成所述雜質區域；

電極形成工序，形成所述電極；

第一中心對準工序，設定所述基板的中心位置作為相對于所述雜質注入工序的處理的基準位置；以及

第二中心對準工序，設定所述基板的中心位置作為相對于所述電極形成工序的處理的基準位置。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

在所述第一中心對準工序中，根據通過位于與所述基板的被處理面相反側的拍攝單元對基板外形進行拍攝而得到的圖像，計算基板中心位置。

3.根據權利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

在所述第二中心對準工序中，根據通過位于與所述基板的被處理面側的拍攝單元對基板外形進行拍攝而得到的圖像，計算基板中心位置。

4.根據權利要求2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

在所述雜質注入工序中，通過離子注入來注入雜質。

5.根據權利要求3所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

在所述電極形成工序中，通過印刷法來形成所述電極。

6.根據權利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

在所述第一或第二中心對準工序中，將所述基板外形的相鄰兩邊的規定部分延長并求出頂點，并且同樣地求出其對角位置的頂點，將作為連結這兩個頂點的直線的對角線的中點確定為基板中心位置。

7.根據權利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

在所述第一或第二中心對準工序中，求出將所述基板外形的相鄰兩邊的規定部分延長后的頂點，同樣地求出與該頂點相鄰的頂點，確定連結這些相鄰的兩個頂點的中點，并且也根據剩余的兩個頂點，與所述中點對應地求出相對邊的中點，另外，同樣地，求出剩余的相對兩邊的中點，將連結成為這些相對兩邊的中點的兩個點的直線之間的交叉點確定為基板的中心位置。

8.根據權利要求6所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

在所述第一或第二中心對準工序中，將所述基板外形的相鄰兩邊與所述對角線交叉的角度視為45°。

9.根據權利要求8所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

在所述第一中心對準工序中，經由貫穿用于載置所述基板的支撐臺的拍攝孔，對所述基板外形進行拍攝。

10.一種太陽能電池，其特征在于，

根據權利要求1所述的方法制造。