[發明專利]改進的復合吸氣劑

有效

• 申請號: 201280050593.1
• 申請日: 2012-10-25
• 公開（公告）號: CN103930966A
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: A·伯納希;P·瓦卡
• 申請（專利權）人: 工程吸氣公司
• 主分類號: H01J7/18
• 分類號: H01J7/18;H01L23/26
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 任宗華

本發明涉及改進的復合吸氣劑體系和使用這種復合吸氣劑體系的裝置。

吸氣劑是能除去氣體雜質到非常低水平的材料，在最苛求的應用中，甚至降低到十億分之幾份的分數，且具有各種應用和用途。在本發明的上下文中，每次使用術語吸氣劑，要解釋為不可蒸發吸氣劑的技術含義，即在其操作溫度下，以及在其活化或再活化工藝所使用的高得多的溫度下，也是保持其固態的材料。

關于在具有NEG首字母縮寫詞的技術領域中已知的不可蒸發吸氣劑的合金，它們的應用范圍從用于半導體工業的氣體純化(例如以申請人名字申請的美國專利No.5,556,603中描述的)，到在工藝腔室內借助吸氣劑泵控制真空度(這例如以申請人名字申請的美國專利No.5,324,172中描述的)，到在密封的裝置內控制真空度或者氣氛的純度(例如以申請人名字申請的歐洲專利No.869,195中描述的)。

即使在這些應用中使用吸氣劑材料被很好地確定，但仍存在繼續的需求和要求，以改進該材料的特征或者它們被整合到體系內的方式，參見例如以申請人名字申請的國際專利申請公布WO2010/105944中公開的關于預計使用吸氣劑泵的改進的泵送體系的內容，或者以申請人名字申請的國際公布WO2010/105945中公開的關于尤其適合于吸附氫的改進的吸氣劑合金的內容。

正如所提及的，持續需要例如通過賦予它們能在新的應用中成功地使用的輔助的性能或特征，從而改進吸氣劑材料的特征與特性。

關于這一點，美國專利No.7,589,465示出了雜化的吸氣劑，它由與聚酰亞胺樹脂混合的吸氣劑材料組成，其有利的特征是它能容易地采用標準技術，例如篩網印刷或噴墨印刷分配，同時在美國專利No.7,589,465中解決了吸氣劑材料和電子器件的其他組件，例如傳導線等中之間的相容性問題，該專利公開了使用吸氣劑保護層作為在裝置組件和吸氣劑材料之間的中間元件。美國專利4,630,095公開了在增加器件保護的目的下，與半導體芯片，與置于它之上的吸氣劑材料層直接接觸的具有厚的有機層(數量級為數十微米)的吸氣劑材料的用途。

在以申請人名字申請的國際專利申請WO2007/080614中描述了與電解環境相容的吸氣劑體系。在這一情況下，提供聚合物基容器的用途，以便避免吸氣劑材料和電解質之間接觸。

在任何前面引證的現有技術文獻中沒有解決的額外的性能是對于一定量的時間來說，吸氣劑材料耐受暴露于空氣下且沒有顯著損害其吸收性能的能力。

這一性能例如允許在其中沒有暴露于清潔環境和其中再活化工藝(所述再活化工藝典型地包括在高溫下加熱吸氣劑材料)與器件不相容，或者替代地允許簡化器件的制造工藝，同時避免需要再活化吸氣劑材料的工藝中使用吸氣劑材料。

其中吸氣劑再活化擁有嚴重缺點的工藝例如是牽涉玻璃對玻璃密封的工藝(在結構體內的機械應力)，同時例舉的器件是有機基器件(有機材料的高溫相容性問題)。

而且，在一些情況下，感興趣的另一額外特征是在密封的氮氣環境內使用吸氣劑基溶液，以除去其他氣體雜質，例如氧氣，但其能力沒有受到氮氣存在損害，這是因為吸氣劑材料可顯示出與這一氣體強烈的相互作用；參見例如以申請人的名字提交的歐洲專利EP1,285,100中公開的內容。

采用本發明，獲得了這些優點，其中在本發明的第一方面中，它在于復合吸氣劑體系，所述復合吸氣劑體系包括一種或更多種NEG材料，和一種或更多種聚酰亞胺或聚酰胺基化合物，其特征在于至少80%面向環境的NEG材料表面用所述聚酰亞胺或聚酰胺基化合物涂布，和所述涂層的厚度包括0.1至1mm。在優選的實施方案中，聚酰亞胺或聚酰胺基化合物涂層的厚度包括0.2至0.5mm。

附圖說明

在附圖的輔助下，進一步闡述本發明，其中：

　圖1示出了根據本發明的吸氣劑體系的第一實施方案的正面視圖；

　圖2示出了根據本發明的吸氣劑體系的第二實施方案的正面視圖；和

　圖3示出了根據本發明的吸氣劑體系的第三實施方案的透視圖。

在附圖中，涉及本文描述的元件的尺寸和尺寸比例，以及圖2中提到層厚的特別和非排他性的參考標記(reference)可能不是恰當的，和在一些情況下被改變，以便改進附圖的理解。

術語環境擬指圍繞吸氣劑體系的空的周圍環境，典型地一旦本發明的復合吸氣劑體系被原地置于器件內時。這是在真空下密閉且約束的空間或者在惰性氣體氛圍內密封，同時在器件制造階段，它可被視為周圍環境的空氣。