[發明專利]有機電致發光元件的制造方法

無效

• 申請號: 201280050105.7
• 申請日: 2012-08-24
• 公開（公告）號: CN103875310A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 垣內良平;肥田加奈子;森田成紀
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: H05B33/10
• 分類號: H05B33/10;H01L51/50
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

技術領域

本發明涉及有機電致發光元件的制造方法。

背景技術

有機電致發光元件具有陽極、陰極、和在陽極與陰極之間設置的包含發光層的有機電致發光層。以下，將有機電致發光記為“有機EL”。

有機EL元件中，通過自電極注入到發光層的電子和空穴再結合，從而產生激子(exciton)。該激子恢復至基態時發光。

前述有機EL層具有：例如，在陽極側設置的空穴注入層和空穴輸送層、在陰極側設置的電子注入層和電子輸送層、和在空穴輸送層與電子輸送層之間設置的發光層。前述空穴輸送層具有將空穴注入到發光層的功能，前述電子輸送層具有將電子注入到發光層的功能。

專利文獻1中公開了，為了使空穴和電子順利地移動到發光層而在空穴輸送層與發光層之間、或發光層與電子輸送層之間中的至少任一者之間形成有混合兩個層的形成材料而成的混合層的有機EL元件。

這樣的有機EL元件例如可以如下制造：使用第1蒸鍍裝置在具有電極的基板的電極面上蒸鍍空穴輸送層，接著使用第2蒸鍍裝置在空穴輸送層的表面上共蒸鍍混合層，進而使用第3蒸鍍裝置在混合層的表面上蒸鍍發光層，從而制造。

然而，在上述制造方法中，為了形成具有混合層的有機EL層，需要獨立的3個蒸鍍裝置(也就是說，獨立的3個蒸鍍腔室)。

因此，用于制造有機EL層的設備成本上升，結果不能實現有機EL元件的成本降低。

此外，必須使基板在獨立的3個蒸鍍腔室間移動，蒸鍍處理需要較多的時間。特別是以輥對輥方式在基板上形成有機EL層時，制造效率惡化。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平3-190088號公報

發明內容

發明要解決的問題

本發明的目的在于提供能夠較廉價地制造電特性優異的有機EL元件的方法。

用于解決問題的方案

本發明人等鑒于上述問題，關注用1個蒸鍍裝置在2個有機層之間形成混合這兩個層的形成材料而成的混合層。

具體而言，為如下方法：在1個蒸鍍裝置的腔室內并列設置分別容納2個有機層的形成材料的2個蒸鍍源，將1個有機層的形成材料蒸鍍到基板上形成蒸鍍膜，然后，在該蒸鍍膜的表面上蒸鍍另1個有機層的形成材料。

然而，即便單純地依次蒸鍍2個有機層的形成材料，也不能在2個有機層之間形成混合層，或者即便形成了混合層，也僅得到電特性劣化的有機EL元件。

本發明人等進一步反復試驗，進行深入研究，結果創造了本發明。

本發明為一種有機電致發光元件的制造方法，其中，所述有機電致發光元件具有：第1有機層和第2有機層這至少2個有機層、和在前述第1有機層和第2有機層之間的這兩個層的形成材料混合而成的混合層，所述制造方法中，使用具備包含前述第1有機層的形成材料的第1蒸鍍源、和包含前述第2有機層的形成材料的第2蒸鍍源的蒸鍍裝置，使自前述第1蒸鍍源氣化的第1有機層的形成材料撞擊于基板的被處理面而在前述基板的被處理面上形成第1有機層，然后，在前述第1有機層的形成材料處于遷移狀態中時，使自前述第2蒸鍍源氣化的第2有機層的形成材料向前述第1有機層撞擊而形成混合層。

對于本發明的優選制造方法，前述第2蒸鍍源具備作為氣化的第2有機層的形成材料的出口的噴出口，前述第2蒸鍍源的噴出口與前述基板的被處理面的間隔為0.1mm～5.0mm。

對于本發明的優選制造方法，前述第1蒸鍍源具備作為氣化的第1有機層的形成材料的出口的噴出口，前述第1蒸鍍源的噴出口與前述基板的被處理面的間隔為0.1mm～5.0mm。

對于本發明的優選制造方法，在形成前述第1有機層之后，在0.3秒～3.0秒的期間內使前述氣化的第2有機層的形成材料撞擊于前述第1有機層。

對于本發明的優選制造方法，前述第2有機層的形成材料的蒸鍍速度為40nm/秒～500nm/秒。

對于本發明的優選制造方法，一邊使前述第1蒸鍍源和第2蒸鍍源與前述基板進行相對移動，一邊使前述第1有機層的形成材料和第2有機層的形成材料依次撞擊。

對于本發明的優選制造方法，前述第1蒸鍍源和第2蒸鍍源并列設置于蒸鍍裝置的1個腔室內，在前述腔室內，一邊以輥對輥方式使片狀的基板移動，一邊使前述第1有機層的形成材料和第2有機層的形成材料依次撞擊。

發明的效果