[發明專利]有機電致發光元件的制造方法

無效

• 申請號: 201280050105.7
• 申請日: 2012-08-24
• 公開（公告）號: CN103875310A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 垣內良平;肥田加奈子;森田成紀
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: H05B33/10
• 分類號: H05B33/10;H01L51/50
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種有機電致發光元件的制造方法，其中，所述有機電致發光元件具有：第1有機層和第2有機層這至少2個有機層、和在所述第1有機層和第2有機層之間的這兩個層的形成材料混合而成的混合層，所述制造方法中，

使用具備包含所述第1有機層的形成材料的第1蒸鍍源、和包含所述第2有機層的形成材料的第2蒸鍍源的蒸鍍裝置，

使自所述第1蒸鍍源氣化的第1有機層的形成材料撞擊于基板的被處理面而在所述基板的被處理面上形成第1有機層，然后，

在所述第1有機層的形成材料處于遷移狀態中時，使自所述第2蒸鍍源氣化的第2有機層的形成材料向所述第1有機層撞擊而形成混合層。

2.根據權利要求1所述的有機電致發光元件的制造方法，其中，所述第2蒸鍍源具備作為氣化的第2有機層的形成材料的出口的噴出口，

所述第2蒸鍍源的噴出口與所述基板的被處理面的間隔為0.1mm～5.0mm。

3.根據權利要求2所述的有機電致發光元件的制造方法，其中，所述第1蒸鍍源具備作為氣化的第1有機層的形成材料的出口的噴出口，

所述第1蒸鍍源的噴出口與所述基板的被處理面的間隔為0.1mm～5.0mm。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的有機電致發光元件的制造方法，其中，在形成所述第1有機層之后，在0.3秒～3.0秒的期間內使所述氣化的第2有機層的形成材料撞擊于所述第1有機層。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的有機電致發光元件的制造方法，其中，所述第2有機層的形成材料的蒸鍍速度為40nm/秒～500nm/秒。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的有機電致發光元件的制造方法，其中，一邊使所述第1蒸鍍源和第2蒸鍍源與所述基板進行相對移動，一邊使所述第1有機層的形成材料和第2有機層的形成材料依次撞擊。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的有機電致發光元件的制造方法，其中，所述第1蒸鍍源和第2蒸鍍源并列設置于蒸鍍裝置的1個腔室內，

在所述腔室內，一邊以輥對輥方式使片狀的基板移動，一邊使所述第1有機層的形成材料和第2有機層的形成材料依次撞擊。