[發(fā)明專利]具有帶間隙的肋條的機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280048218.3
• 申請(qǐng)日: 2012-08-23
• 公開（公告）號(hào): CN103842886A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬克·B·安德森;喬伊斯·吳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 皮克斯特隆尼斯有限公司
• 主分類號(hào): G02B26/02
• 分類號(hào): G02B26/02;H04N5/74
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 林斯凱

相關(guān)申請(qǐng)案的交叉參考

本專利申請(qǐng)案主張于2011年8月26日申請(qǐng)的標(biāo)題為“微機(jī)電裝置及其制造方法(Micro-electromechanical?Device?and?Method?of?Manufacturing)”的第61／527,843號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)案號(hào)及2012年8月22日申請(qǐng)的標(biāo)題為“具有帶間隙的肋條的機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)(Electromechanical?System?Structures?with?Ribs?Having?Gaps)”的第13／591,842號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)案的權(quán)益。所述先前申請(qǐng)案的揭示內(nèi)容被視為本專利申請(qǐng)案的一部分且其全文為以引用方式并入本專利申請(qǐng)案中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及機(jī)電系統(tǒng)(EMS)。特定來(lái)說(shuō)，本發(fā)明涉及具有具間隙的肋條以提供應(yīng)力消除及局部變形的EMS結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

某些顯示器經(jīng)設(shè)計(jì)以通過(guò)使用光閘對(duì)光進(jìn)行調(diào)制而產(chǎn)生圖像。這些光閘由光閘組合件支撐且致動(dòng)，所述光閘組合件不僅包含光閘，其還包含用于致動(dòng)所述光閘的致動(dòng)器及用于將所述光閘支撐于襯底上的錨固件。此類光閘存在變形而失去其所要配置的趨勢(shì)。可通過(guò)包含跨光閘延伸的肋條來(lái)消除此趨勢(shì)。盡管包含肋條賦予光閘更大剛性，但施加于所述更剛性的光閘上的應(yīng)力可造成所述整個(gè)光閘發(fā)生面外變形。此全局變形負(fù)面地影響光閘組合件的可制造性，且負(fù)面地影響所述光閘組合件適當(dāng)?shù)匕l(fā)揮功能。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的系統(tǒng)、方法及裝置各自具有若干創(chuàng)新方面，其中無(wú)單一者單獨(dú)負(fù)責(zé)實(shí)現(xiàn)本文所揭示的希望的屬性。

本發(fā)明中所述的標(biāo)的物的一個(gè)創(chuàng)新方面可在EMS組合件中實(shí)施，EMS組合件包含襯底、安置于所述襯底上的錨固件及由所述錨固件支撐于所述襯底上的懸置平面本體。所述懸置平面本體包含從所述懸置平面本體的平面延伸出且朝向所述襯底突出的至少一個(gè)凹部。所述懸置平面本體還包含對(duì)應(yīng)于所述至少一個(gè)凹部中的間隙的實(shí)質(zhì)上水平部分。所述實(shí)質(zhì)上水平部分從所述懸置平面本體的第一邊緣沿所述懸置平面本體的所述平面延伸到所述懸置平面本體的相對(duì)的第二邊緣，且所述間隙的范圍達(dá)所述懸置平面本體的長(zhǎng)度的20％。

在一些實(shí)施方案中，所述第一邊緣及所述第二邊緣實(shí)質(zhì)上垂直于所述懸置平面本體的運(yùn)動(dòng)方向。在一些實(shí)施方案中，所述懸置平面本體在所述第一邊緣處的厚度實(shí)質(zhì)上相同于所述懸置平面本體在所述第二邊緣處的厚度。在一些實(shí)施方案中，所述懸置平面本體形成有孔隙，所述第一邊緣形成所述懸置平面本體的外圍的至少一部分，且所述第二邊緣形成所述孔隙的周邊的至少一部分。

在一些實(shí)施方案中，所述實(shí)質(zhì)上水平部分背向所述襯底。在一些實(shí)施方案中，所述實(shí)質(zhì)上水平部分安置于單一連續(xù)凹部的若干部分之間。在其它實(shí)施方案中，所述實(shí)質(zhì)上水平部分安置于多個(gè)相異的凹部之間。在一些實(shí)施方案中，所述懸置平面本體為基于光閘的光調(diào)制器的光閘。

本發(fā)明中所述的標(biāo)的物的另一創(chuàng)新方面可在EMS組合件中實(shí)施，EMS組合件包含襯底、安置于所述襯底上的錨固件及由所述錨固件支撐于所述襯底上的懸置平面本體。所述懸置平面本體界定第一孔隙及第二孔隙且包含從所述懸置平面本體的平面延伸出的至少一個(gè)凹部。所述懸置平面本體還包含對(duì)應(yīng)于所述至少一個(gè)凹部中的間隙的實(shí)質(zhì)上水平部分。所述實(shí)質(zhì)上水平部分從所述懸置平面本體的第一邊緣沿所述懸置平面本體的所述平面延伸到所述懸置平面本體的相對(duì)第二邊緣，所述第一邊緣形成所述第一孔隙的周邊的至少一部分，且所述第二邊緣形成所述第二孔隙的周邊的至少一部分。

在一些實(shí)施方案中，所述間隙的范圍小于所述至少一個(gè)凹部的寬度。在一些實(shí)施方案中，所述實(shí)質(zhì)上水平部分重疊于所述懸置平面本體的幾何中心。在一些實(shí)施方案中，所述第一邊緣及所述第二邊緣實(shí)質(zhì)上垂直于所述懸置平面本體的運(yùn)動(dòng)方向。

本發(fā)明中所述的標(biāo)的物的另一創(chuàng)新方面可在一種EMS組合件中實(shí)施，EMS組合件包含襯底、安置于所述襯底上的錨固件及由所述錨固件支撐于所述襯底上的懸置平面本體。所述懸置平面本體包含從所述懸置平面本體的平面延伸出的至少一個(gè)凹部。所述懸置平面本體還包含對(duì)應(yīng)于所述至少一個(gè)凹部中的間隙的實(shí)質(zhì)上水平部分。所述實(shí)質(zhì)上水平部分從所述懸置平面本體的第一邊緣沿所述懸置平面本體的所述平面延伸到所述懸置平面本體的相對(duì)第二邊緣。所述第一邊緣及所述第二邊緣中的至少一者實(shí)質(zhì)上垂直于所述懸置平面本體的長(zhǎng)度，且所述間隙的范圍達(dá)所述懸置平面本體的所述長(zhǎng)度的20％。