[發(fā)明專利]具有帶間隙的肋條的機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280048218.3
• 申請(qǐng)日: 2012-08-23
• 公開（公告）號(hào): CN103842886A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬克·B·安德森;喬伊斯·吳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 皮克斯特隆尼斯有限公司
• 主分類號(hào): G02B26/02
• 分類號(hào): G02B26/02;H04N5/74
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 林斯凱

1.一種機(jī)電系統(tǒng)EMS組合件，其包括：

襯底；

錨固件，其安置于所述襯底上；及

懸置平面本體，其由所述錨固件支撐于所述襯底上，其中所述懸置平面本體包含：

至少一個(gè)凹部，其從所述懸置平面本體的平面延伸出且朝向所述襯底突出，及

實(shí)質(zhì)上水平部分，其對(duì)應(yīng)于所述至少一個(gè)凹部中的間隙，其中所述實(shí)質(zhì)上水平部分從所述懸置平面本體的第一邊緣沿所述懸置平面本體的所述平面延伸到所述懸置平面本體的相對(duì)的第二邊緣，且所述間隙的范圍達(dá)所述懸置平面本體的長(zhǎng)度的20％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的EMS組合件，其中所述第一邊緣及所述第二邊緣實(shí)質(zhì)上垂直于所述懸置平面本體的運(yùn)動(dòng)方向。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的EMS組合件，其中所述懸置平面本體在所述第一邊緣處的厚度實(shí)質(zhì)上相同于所述懸置平面本體在所述第二邊緣處的厚度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的EMS組合件，其中所述懸置平面本體形成有孔隙，所述第一邊緣形成所述懸置平面本體的外圍的至少一部分，且所述第二邊緣形成所述孔隙的周邊的至少一部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的EMS組合件，其中所述實(shí)質(zhì)上水平部分背向所述襯底。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的EMS組合件，其中所述實(shí)質(zhì)上水平部分安置于單一連續(xù)凹部的若干部分之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的EMS組合件，其中所述實(shí)質(zhì)上水平部分安置于多個(gè)相異的凹部之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的EMS組合件，其中所述懸置平面本體為基于光閘的光調(diào)制器的光閘。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的EMS組合件，其進(jìn)一步包括：

梁，其具有第一端及第二端，其中所述梁在所述第一端連接到所述錨固件，所述懸置平面本體在梁附接位置連接到所述梁的所述第二端，且所述實(shí)質(zhì)上水平部分鄰近于所述梁附接位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的EMS組合件，其中所述梁的所述第一端連接到所述錨固件的面向所述懸置平面本體的一側(cè)。

11.一種機(jī)電系統(tǒng)EMS組合件，其包括：

襯底；

錨固件，其安置于所述襯底上；及

懸置平面本體，其由所述錨固件支撐于所述襯底上，其中所述懸置平面本體界定第一孔隙及第二孔隙且包含：

至少一個(gè)凹部，其從所述懸置平面本體的平面延伸出；及

實(shí)質(zhì)上水平部分，其對(duì)應(yīng)于所述至少一個(gè)凹部中的間隙，其中所述實(shí)質(zhì)上水平部分從所述懸置平面本體的第一邊緣沿所述懸置平面本體的所述平面延伸到所述懸置平面本體的相對(duì)第二邊緣，所述第一邊緣形成所述第一孔隙的周邊的至少一部分，且所述第二邊緣形成所述第二孔隙的周邊的至少一部分。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的EMS組合件，其中所述間隙的范圍小于所述至少一個(gè)凹部的寬度。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的EMS組合件，其中所述實(shí)質(zhì)上水平部分重疊于所述懸置平面本體的幾何中心。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的EMS組合件，其中所述第一邊緣及所述第二邊緣實(shí)質(zhì)上垂直于所述懸置平面本體的運(yùn)動(dòng)方向。

15.一種機(jī)電系統(tǒng)EMS組合件，其包括：

襯底；

錨固件，其安置于所述襯底上；及

懸置平面本體，其由所述錨固件支撐于所述襯底上，其中所述懸置平面本體包含：

至少一個(gè)凹部，其從所述懸置平面本體的平面延伸出；及

實(shí)質(zhì)上水平部分，其對(duì)應(yīng)于所述至少一個(gè)凹部中的間隙，其中所述實(shí)質(zhì)上水平部分從所述懸置平面本體的第一邊緣沿所述懸置平面本體的所述平面延伸到所述懸置平面本體的相對(duì)第二邊緣，所述第一邊緣及所述第二邊緣中的至少一者實(shí)質(zhì)上垂直于所述懸置平面本體的長(zhǎng)度，且所述間隙的范圍達(dá)所述懸置平面本體的所述長(zhǎng)度的20％。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的EMS組合件，其中所述第一邊緣及所述第二邊緣中的至少一者實(shí)質(zhì)上平行于所述懸置平面本體的運(yùn)動(dòng)方向。

17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的EMS組合件，其中所述間隙的所述范圍達(dá)所述懸置平面本體的所述長(zhǎng)度的10％。