[發(fā)明專利]用于掩膜地蝕刻出一種刺穿元件的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280046413.2
• 申請日: 2012-09-19
• 公開（公告）號: CN103813750A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M.齊普費(fèi)爾;A.洛佩斯姆拉斯
• 申請（專利權(quán)）人: 霍夫曼－拉羅奇有限公司
• 主分類號: A61B5/15
• 分類號: A61B5/15;A61B5/151;B01L3/00;A61B5/157
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 梁冰;譚祐祥

1.用于掩膜蝕刻出一種刺穿元件（14）的方法，所述刺穿元件具有：縱長延伸的桿部（16）；在遠(yuǎn)端伸出的尖端（18）；近端的保持件（20）；以及沿著所述桿部（16）一直伸展到所述尖端（18）的區(qū)域中的、在側(cè)面敞開的、用于體液的收集槽（22），其中將雙側(cè)面的蝕刻掩膜（10）施加到基體（12）的兩個(gè)側(cè)面上，并且在蝕刻劑的作用下作為成形蝕刻件地形成所述刺穿元件（14），其中給所述蝕刻掩膜（10）的槽側(cè)面（28）配備了用于單面地蝕刻出所述收集槽（22）的槽蝕刻縫隙（38），其特征在于，所述槽蝕刻縫隙（38）的、近端的和/或遠(yuǎn)端的端部區(qū)段（40、60）構(gòu)造為朝向縫隙端部變細(xì)的結(jié)構(gòu)。

2.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述槽蝕刻縫隙（38）的端部區(qū)段（40、60）線性地變細(xì)，使得所蝕刻出的收集槽（22）朝向變細(xì)結(jié)構(gòu)的方向以保持相同的或者連續(xù)地減小的橫截面伸展。

3.按權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述槽蝕刻縫隙（38）如此定位在所述蝕刻掩膜（10）的、近端的部分（58）中，使得所蝕刻出的收集槽（22）在端面敞開地匯入在所述保持件（20）上。

4.按權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，給所述蝕刻掩膜（10）配備了朝近端的方向連接到所述槽蝕刻縫隙（38）上的法蘭形成區(qū)域（62），并且通過對于所述法蘭形成區(qū)域（62）的掏蝕來產(chǎn)生一種形成了所述收集槽（22）匯入處的、優(yōu)選筆直的、尤其是用于用法蘭將測試元件（24）連接在所述保持件（20）上的法蘭邊緣（68）。

5.按權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述法蘭形成區(qū)域（62）具有橫向于所述槽蝕刻縫隙（38）地越過其近端的縫隙端部伸展的掩膜橋。

6.按權(quán)利要求1到5中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，給所述蝕刻掩膜（10）配備了一種以近端的間距布置在所述槽蝕刻縫隙（38）后面的、用于在所述收集槽（22）的匯入?yún)^(qū)域中將蝕刻劑作用遮蔽住的犧牲性突緣（66）。

7.按權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，在背向所述槽蝕刻縫隙（38）近端縫隙端部（60）的邊沿區(qū)域中弓形地、尤其是圓弧形地限制所述在掩膜邊緣上自由地伸出的犧牲性突緣（66）。

8.按權(quán)利要求6或7所述的方法，其特征在于，使所述犧牲性突緣（66）的尺寸如此與所述蝕刻劑的掏蝕寬度相匹配，從而完全地蝕刻除去所述犧牲性突緣（66）直到其近端的基礎(chǔ)。

9.按權(quán)利要求1到8中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在兩個(gè)基體側(cè)面上給所述蝕刻掩膜（10）配備了用于構(gòu)成尖端輪廓的尖端形成區(qū)域（32、32’），其中所述槽側(cè)面的尖端形成區(qū)域（32）在遠(yuǎn)端布置在所述處于相反側(cè)面上的尖端形成區(qū)域（32’）的前面。

10.按權(quán)利要求1到9中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述蝕刻掩膜（10）在其背向槽蝕刻縫隙（38）的相反側(cè)面（46）上具有尤其是用于在所述尖端（18）的區(qū)域中避免側(cè)凹的邊緣的輔助開口（50）。

11.按權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述輔助開口（50）相對于掩膜邊緣以側(cè)向的間距布置在所述蝕刻掩膜（10）的尖端形成區(qū)域（32’）中。

12.按權(quán)利要求10或11所述的方法，其特征在于，所述輔助開口（50）具有兩個(gè)朝遠(yuǎn)端的方向V形地朝彼此靠近的輔助開口側(cè)腿（50’）。

13.按權(quán)利要求10到12中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述輔助開口（50）具有朝遠(yuǎn)端的方向延伸的、優(yōu)選構(gòu)造為縫隙或者系列孔的、遠(yuǎn)端的輔助開口突緣（50’’）。

14.按權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于，所述輔助開口突緣（50’’）的近端的端部朝近端的方向看布置在有待形成的尖端（18）的、遠(yuǎn)端的端部（44）之后。

15.按權(quán)利要求10到14中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述輔助開口（50）構(gòu)造為Y形，其中所述朝彼此靠近的開口側(cè)腿的連接點(diǎn)（56）離開所述槽相反側(cè)面（46）的、有待形成的尖端輪廓（52）以一種遠(yuǎn)端的間距來布置。