[發明專利]用于檢查平板的方法

有效

• 申請號: 201280045201.2
• 申請日: 2012-09-13
• 公開（公告）號: CN103858001B
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 孫載鎬;李賢玟;姜珉求;李相允;林雙根
• 申請（專利權）人: 英泰克普拉斯有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01B11/30;G02F1/13
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 陳煒,李德山

技術領域

下面的描述涉及一種用于檢查平板的方法，并且更特別地涉及一種用于檢查像素電路圖案的方法。

背景技術

作為一種平板類型的液晶顯示器（LCD）具有以低功耗在低電壓下工作以及以緊湊尺寸顯示全部色彩范圍的特征。LCD已經越來越多地用于更廣泛的應用，這些應用的范圍從手表、計算器、PC監視器和膝上型電腦到電視、用于航空的監視器、個人便攜裝置和移動電話。

這種LCD面板包括形成有濾色片和薄膜晶體管（TFT）的兩個玻璃襯底，以及填充在兩個玻璃襯底之間的液晶。薄膜晶體管調整液晶并且控制像素，其中，薄膜晶體管是將半導體膜形成到玻璃襯底上的電路，而像素是構成圖像的最小單位。通過在玻璃襯底上涂覆紅（R）、綠（G）和藍（B）三種顏色的像素來形成濾色片，并且濾色片用作產生圖像。

在制造這種LCD面板之后進行各種質量檢查，其中一個重要的檢查是對形成在各像素中的電路圖案的測試，例如，通過對尺寸（諸如TFT的信號線和電極線的線寬，或電路圖案寬度）進行測量來檢查任意缺陷。測量線寬是很重要的，這是因為線寬對粘合強度和電阻值有影響，而后者影響了每個像素的性能。

如下所述進行一種測量線寬的常規方法：將諸如照相機的攝影設備移動到LCD面板的測量位置以拍攝像素電路圖案的圖像；以及將所拍攝的圖像輸入到測量控制單元，然后測量控制單元處理所輸入的圖像以測量像素電路圖案。

在LCD面板中，將紅（R）、綠（G）和藍（B）三種顏色的像素組合以產生全色圖像。因為像素取決于其顏色而具有不同的波段，所以出現了下述問題：當一種顏色的像素可以獲得清晰的圖像時，其他顏色的像素的圖像可能較不清晰。此外，由于玻璃襯底中的微小彎曲，導致圖像質量可取決于測量位置而不同。

為此，使用通過將自動聚焦模塊添加到照相機而拍攝圖像的方法，其中針對每種顏色來對像素自動地聚焦。然而，由于自動聚焦模塊的可重復性限制，導致不能容易地獲得每個像素的清晰圖像。另外，隨著LCD面板的分辨率變高并且每個像素的電路圖案被小型化，僅通過使用自動聚焦模塊可能不能準確地測量線寬。關于用于測量線寬的設備，韓國專利公開10-0521016（2003年7月28日公開）公開了這樣一種設備。

發明內容

技術問題

本公開內容的一個目的是提供一種用于檢查平板的方法，該方法提高了確定待測量目標中的缺陷的準確性。

技術方案

根據示例性實施方式，公開了一種用于檢查平板的方法，該方法包括:通過水平地移動所述平板和照相機中的至少一個而在所述平板的測量位置處布置所述照相機；將所述測量位置處的所述照相機自動地聚焦到所述平板的待測量目標上；通過基于所述照相機的當前位置而在設定區域內垂直地移動被聚焦的照相機來獲取所述待測量目標的多個圖像；在多個所獲取的圖像當中選擇具有最高清晰度的圖像以處理所選擇的圖像；以及確定所述待測量目標是否有缺陷。

本發明的效果

在用于檢查平板的方法中，在照相機自動聚焦到待測量目標上之后，通過在設定區域內垂直地移動照相機來獲取圖像，并且在所獲取的圖像當中，僅提取具有最高清晰度的圖像來使用。因此，與通過使用在僅自動聚焦而不移動照相機的情況下捕捉的圖像來確定缺陷的情形相對比，可以進一步提高確定待測量目標中的缺陷的準確性。

附圖說明

圖1是示出了由根據示例性實施方式的用于檢查平板的方法進行操作的檢查裝置的示例的框圖。

圖2是示出了根據圖1中的示例性實施方式的利用在測量位置處的照相機來獲取圖像的示例方法的圖。

具體實施方式

下文中將參照附圖對本發明進行更詳細的描述，在附圖中示出了本發明的示例性實施方式。首先，當對附圖的元件添加附圖標記時，應注意，盡管在不同的附圖中示出相似的元件，如果可能的話也采用相似的附圖標記來表示相似的元件。另外，在本發明的描述中，如果確定關于本發明的常用配置或功能的詳細描述可能會不必要地模糊本發明的主題，那么將省略這種詳細描述。在附圖中，圖中的元件的形狀和大小可能為了清楚起見而被放大。

下文中，將參照附圖來詳細描述用于檢查平板的方法。

圖1是示出了由根據示例性實施方式的用于檢查平板的方法進行操作的檢查裝置的示例的框圖。此外，圖2是示出了根據圖1中的示例性實施方式的利用在測量位置處的照相機來獲取圖像的示例方法的圖。

參照圖1和圖2，如下所述執行根據示例性實施方式的用于檢查平板的方法：