[發(fā)明專利]用于檢查平板的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280045201.2
• 申請(qǐng)日: 2012-09-13
• 公開（公告）號(hào): CN103858001B
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫載鎬;李賢玟;姜珉求;李相允;林雙根
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 英泰克普拉斯有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/956
• 分類號(hào): G01N21/956;G01B11/30;G02F1/13
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 陳煒,李德山

1.一種用于檢查平板的方法，所述方法包括：

通過水平地移動(dòng)所述平板和照相機(jī)中的至少一個(gè)而在所述平板的測(cè)量位置處布置所述照相機(jī)；

在所述測(cè)量位置處通過自動(dòng)聚焦模塊將所述照相機(jī)自動(dòng)地聚焦到所述平板的待測(cè)量目標(biāo)上；

通過基于所述照相機(jī)的當(dāng)前位置而在設(shè)定區(qū)域內(nèi)垂直地移動(dòng)被聚焦的照相機(jī)來獲取所述待測(cè)量目標(biāo)的多個(gè)圖像；

在多個(gè)所獲取的圖像當(dāng)中選擇具有最高清晰度的圖像，以處理所選擇的圖像；以及

確定所述待測(cè)量目標(biāo)是否有缺陷，

其中所述設(shè)定區(qū)域中的拍攝間隔距離寬于所述自動(dòng)聚焦模塊的可重復(fù)性距離，并且在所獲取的多個(gè)圖像之間的拍攝間隔距離窄于所述自動(dòng)聚焦模塊的可重復(fù)性距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述獲取多個(gè)圖像包括通過壓電致動(dòng)器垂直地移動(dòng)所述照相機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述待測(cè)量目標(biāo)是形成在所述平板中的像素電路圖案；以及

所述確定所述待測(cè)量目標(biāo)是否有缺陷包括：對(duì)所選擇的圖像的所述電路圖案的圖案寬度和/或線寬進(jìn)行測(cè)量，以及將所測(cè)量的所述電路圖案的圖案寬度和/或線寬與參考值進(jìn)行比較，以確定所述電路圖案是否有缺陷。