[發明專利]配線檢查方法、配線檢查裝置、配線檢查程序以及記錄介質

有效

• 申請號: 201280040310.5
• 申請日: 2012-07-10
• 公開（公告）號: CN103748455A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 山田榮二
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: G01N25/72
• 分類號: G01N25/72;G01R31/02;G02F1/13;H05K3/00;G01N21/956
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

技術領域

本發明涉及在例如像液晶顯示裝置所使用的有源矩陣基板那樣形成有多個配線的基板中適合于檢測配線的短路缺陷的配線檢查方法、配線檢查裝置、配線檢查程序以及記錄介質。

背景技術

液晶顯示裝置具有：有源矩陣基板，其是形成有多個配線、像素電極以及開關元件等的一方基板構件；以及彩色濾光片基板，其是形成有相對電極、彩色濾光片的另一方基板構件。液晶顯示裝置是空開間隔將上述2個基板貼合，向間隙注入液晶材料來形成液晶層，然后安裝周邊電路部件而制造的。

有源矩陣基板有時在其制造工序中產生基板上的配線的斷線、短路等缺陷。該缺陷成為液晶顯示裝置的顯示缺陷的原因。為了減少液晶顯示裝置的顯示缺陷等不良，需要在上述的注入液晶材料的工序以前，檢測出有源矩陣基板的缺陷進行修復。

圖10是專利文獻1所公開的配線圖案的檢查裝置。專利文獻1的檢查裝置利用通電電極61向形成于基板50上的配線圖案53通電，利用配線圖案53的發熱產生紅外線，用紅外線傳感器63拍攝該紅外線圖像，對拍攝信號進行圖像處理后與規定的基準圖像數據進行對比，從而檢查配線圖案53合格與否。

另外，圖11是專利文獻2所公開的有源矩陣基板的檢查裝置。專利文獻2的檢查裝置向有源矩陣基板的掃描線81～85和信號線91～95之間施加電壓，檢測在掃描線81～85和信號線91～95的交叉點發生的短路缺陷73。

正常的掃描線81～85和信號線91～95之間是絕緣的，因此，即使向掃描線81～85和信號線91～95之間施加電壓，電流也不會流過。另一方面，在存在掃描線81～85和信號線91～95的短路缺陷73的情況下，電流經該短路缺陷73部分而流過，短路部和電流流過的配線發熱而產生紅外線。拍攝紅外線圖像，對拍攝信號進行圖像處理來識別發熱區域。對識別到的發熱區域進一步進行圖像處理來確定發熱配線路徑，檢測短路缺陷部的位置。另外，在無法識別到發熱區域的情況下，判斷為無短路缺陷的合格品基板。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本公開專利公報“特開平11-337454號公報（1999年12月10日公開）”

專利文獻2：日本公開專利公報“特開平6-51011號公報（1994年2月25日公開）”

發明內容

發明要解決的問題

然而，在如專利文獻1和2那樣使短路部和配線發熱的情況下，熱傳導也會導致其附近的溫度上升。因此，識別到的發熱區域包含短路部和配線及其附近區域，從而有如下問題：短路部隱藏于該發熱區域中，無法確定短路部的準確的位置。

本發明的目的在于，對包含短路部的配線的紅外線圖像進行二值化處理，生成細線化后的二值化圖像，準確地確定短路部的位置。

用于解決問題的方案

為了解決上述問題，本發明的配線檢查方法是檢查形成于基板的配線的短路部的有無的配線檢查方法，其特征在于，包含：發熱工序，向配線施加電壓來使短路部發熱；圖像取得工序，取得基板的紅外線圖像；二值化工序，根據紅外線圖像，使用閾值生成二值化圖像；以及位置確定工序，根據二值化圖像確定短路部的位置，在二值化工序中變更閾值來反復進行二值化處理。

另外，本發明的配線檢查裝置是檢查形成于基板的配線的短路部的有無的配線檢查裝置，其特征在于，具備：電壓施加單元，其向上述配線施加電壓來使上述短路部發熱；拍攝單元，其拍攝上述基板的紅外線圖像；以及圖像處理單元，其根據上述紅外線圖像，使用閾值生成二值化圖像來確定短路部的位置，上述圖像處理單元具有變更上述閾值來反復進行二值化處理的二值化圖像形成部。

另外，本發明的配線檢查程序是實現上述配線檢查方法的配線檢查程序，其特征在于，使計算機執行上述各工序。

另外，本發明的計算機可讀取的記錄介質的特征在于，其記錄有上述的配線檢查程序。

發明效果

根據本發明的配線檢查方法、配線檢查裝置、配線檢查程序以及記錄介質，能夠對包含短路部的配線的紅外線圖像進行二值化處理，生成細線化后的二值化圖像，準確地確定短路部的位置。

附圖說明

圖1是示出本發明的檢查裝置的示意圖。

圖2是本發明的檢查裝置的圖像處理部的構成圖。

圖3是示出本發明的檢查方法的檢查流程圖。

圖4是示出發熱前后的紅外線圖像的俯視圖。