[發明專利]配線檢查方法、配線檢查裝置、配線檢查程序以及記錄介質

有效

• 申請號: 201280040310.5
• 申請日: 2012-07-10
• 公開（公告）號: CN103748455A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 山田榮二
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: G01N25/72
• 分類號: G01N25/72;G01R31/02;G02F1/13;H05K3/00;G01N21/956
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

1.一種配線檢查方法，檢查形成于基板的配線的短路部的有無，其特征在于，包含：

發熱工序，向上述配線施加電壓來使上述短路部發熱；

圖像取得工序，取得上述基板的紅外線圖像；

二值化工序，根據上述紅外線圖像，使用閾值生成二值化圖像；以及

位置確定工序，從上述二值化圖像確定上述短路部的位置，

在上述二值化工序中，變更上述閾值來反復進行二值化處理。

2.根據權利要求1所述的配線檢查方法，其特征在于，

在上述二值化工序中，

根據上述二值化圖像預測包含上述短路部的特征區域，

將接下來的二值化處理的閾值變更為上述特征區域的規定的百分位值。

3.根據權利要求2所述的配線檢查方法，其特征在于，

在上述特征區域的規定的百分位值為上次閾值以下時，結束上述二值化處理的反復進行。

4.根據權利要求2所述的配線檢查方法，其特征在于，

上述規定的百分位值是中值。

5.根據權利要求3所述的配線檢查方法，其特征在于，

上述規定的百分位值是中值。

6.根據權利要求2～5中的任一項所述的配線檢查方法，其特征在于，

上述特征區域是規定的圓形或者矩形。

7.一種配線檢查裝置，檢查形成于基板的配線的短路部的有無，其特征在于，具備：

電壓施加單元，其向上述配線施加電壓來使上述短路部發熱；

拍攝單元，其拍攝上述基板的紅外線圖像；以及

圖像處理單元，其根據上述紅外線圖像，使用閾值生成二值化圖像，確定短路部的位置，

上述圖像處理單元具有變更上述閾值來反復進行二值化處理的二值化圖像形成部。

8.一種配線檢查程序，實現權利要求1所述的配線檢查方法，其特征在于，

使計算機執行上述各工序。

9.一種計算機可讀取的記錄介質，其特征在于，

記錄有權利要求8所述的配線檢查程序。