[發明專利]用于潔凈室材料傳輸系統的水平位移機構

有效

• 申請號: 201280032280.3
• 申請日: 2012-04-27
• 公開（公告）號: CN103765570A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發明（設計）人: A.C.伯諾拉
• 申請（專利權）人: 布魯克斯自動化公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;F16H53/00;B65G49/07;B25J18/02;B25J9/06
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 吳艷

背景技術

在半導體制造期間，半導體晶片經歷多個處理步驟，這些步驟每一者由專門的處理工具所執行。傳輸盒（pod）用以將半導體晶片由一個工具運送至另一者。傳輸盒每一者能夠運送數個特定直徑的晶片。傳輸盒設計成維持受保護的內部環境，以使晶片不受到例如該傳輸盒外部空氣中的微粒的污染。業界還已知傳輸盒可用于運送其它類型的基板，例如掩模母版、液晶面板、硬盤機的剛性磁性介質、太陽能電池等。

加載端口傳輸裝置用以對晶片制造生產工具（處理和/或量測工具）提供標準機械式接口，而能夠將傳輸盒裝載進/卸載出晶片制造生產工具，且確保其中的晶片不受污染。圖1示出根據現有技術的傳統加載端口10的連接示意圖，該加載端口10具有窗部12，經由窗部12移動傳輸盒14。該傳統的加載端口10可在Y方向經由窗部12移動傳輸盒14，且可在Z方向移動傳輸盒14。然而，該傳統的加載端口10不能在X方向（即在水平方向）移動傳輸盒14。在此背景下產生本發明。

發明內容

在一個實施例中，公開一種螺旋凸輪裝置。該螺旋凸輪裝置包括螺旋凸輪，其具有由內部腔及外部表面所形成的管狀部。該螺旋凸輪的該外部表面包括凸輪輪廓。該螺旋凸輪裝置還包括線性滑動組件，其具有沿著旋轉軸定義的長度。該線性滑動組件限定成縱向地滑動進入該螺旋凸輪的該內部腔。該線性滑動組件用以使該螺旋凸輪能夠沿著該旋轉軸移動，且防止該螺旋凸輪相對于該線性滑動組件的旋轉。該螺旋凸輪裝置還包括凸輪輥子，其固定于鄰近該螺旋凸輪的該外部表面的位置。該凸輪輥子配置成與該線性滑動組件分離。此外，該凸輪輥子位于該螺旋凸輪的該凸輪輪廓內。該凸輪輥子限定成接合該螺旋凸輪的該凸輪輪廓，以在該線性滑動組件和該螺旋凸輪相對于該凸輪輥子一起繞著該旋轉軸旋轉時，造成該螺旋凸輪沿著該旋轉軸移動。

在另一實施例中，公開一種加載端口。該加載端口包括關節臂。該加載端口還包括可旋轉桿，其配置成穿過該關節臂延伸出去。該可旋轉桿限定成繞第一旋轉軸旋轉。該加載端口還包括線性滑動組件，其剛性連接至該可旋轉桿，以使該線性滑動組件的長度由該關節臂沿著該第一旋轉軸延伸。該加載端口還包括螺旋凸輪，其具有由內部腔和外部表面所形成的管狀部。該螺旋凸輪限定成容納該線性滑動組件于該內部腔內。該線性滑動組件用以使該螺旋凸輪能夠沿著該第一旋轉軸移動，且防止該螺旋凸輪相對于該線性滑動組件的旋轉，以使該螺旋凸輪和該線性滑動組件二者皆隨該可旋轉桿的旋轉一起旋轉。該螺旋凸輪的該外部表面包括凸輪輪廓。該加載端口還包括凸輪輥子，其配置于相對于該關節臂的固定位置且鄰近該螺旋凸輪的該外部表面。該凸輪輥子與該線性滑動組件和該可旋轉桿分開地定位。此外，該凸輪輥子位于該螺旋凸輪的該凸輪輪廓內。該凸輪輥子限定成接合該凸輪輪廓，以在藉由利用該可旋轉桿的該線性滑動組件的旋轉而相對于該凸輪輥子旋轉該螺旋凸輪時，造成該螺旋凸輪沿著該第一旋轉軸的移動。

在另一實施例中，公開一種操作加載端口的方法，以提供目的物的水平位移。該方法包括剛性連接線性滑動組件至可旋轉桿的操作，該可旋轉桿由加載端口的關節臂向外延伸。該可旋轉桿具有定向于水平方向的旋轉軸。該方法還包括將具有由內部腔和外部表面所形成的管狀部的螺旋凸輪置于該線性滑動組件上，以使該線性滑動組件被接收于該螺旋凸輪的該內部腔內的操作。該螺旋凸輪的該內部腔與該線性滑動組件接口，以使該螺旋凸輪沿著該線性滑動組件的長度可自由移動，且防止該螺旋凸輪相對于該線性滑動組件旋轉。該螺旋凸輪的該外部表面包括凸輪輪廓。該方法還包括將凸輪輥子置于相對于該關節臂的固定位置且鄰近該螺旋凸輪的該外部表面以使該凸輪輥子接合該螺旋凸輪的該外部表面的該凸輪輪廓的操作。

在以下通過本發明的示例闡述的、結合了附圖的詳細說明中，本發明的其它方面和優點將變得顯見。

附圖說明

圖1示出根據現有技術的傳統加載端口的連接示意圖，該加載端口具有窗部，經由該窗部移動傳輸盒；

圖2A示出根據本發明一個實施例在開啟狀態的基板隔離容器；

圖2B示出根據本發明一實施例的在關閉狀態的基板隔離容器；

圖3A示出根據本發明一實施例的加載端口；

圖3B示出根據本發明一實施例的加載端口的等軸視圖；

圖4A示出根據本發明一實施例的螺旋凸輪裝置；

圖4B示出根據本發明一個實施例的螺旋凸輪的側視圖；

圖4C示出根據本發明一個實施例的螺旋凸輪裝置的部分組裝圖；

圖4D示出根據本發明一實施例的螺旋凸輪裝置的凸輪輥子組件的部分組裝圖；