[發(fā)明專利]用于潔凈室材料傳輸系統(tǒng)的水平位移機(jī)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201280032280.3 | 申請(qǐng)日: | 2012-04-27 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103765570A | 公開(公告)日: | 2014-04-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | A.C.伯諾拉 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 布魯克斯自動(dòng)化公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;F16H53/00;B65G49/07;B25J18/02;B25J9/06 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人: | 吳艷 |
| 地址: | 美國(guó)馬*** | 國(guó)省代碼: | 美國(guó);US |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 潔凈室 材料 傳輸 系統(tǒng) 水平 位移 機(jī)構(gòu) | ||
1.一種螺旋凸輪裝置,包括:
螺旋凸輪,具有由內(nèi)部腔及外部表面所限定成的管狀部,其中所述外部表面包括凸輪輪廓;
線性滑動(dòng)組件,具有沿著旋轉(zhuǎn)軸定義的長(zhǎng)度,所述線性滑動(dòng)組件限定成縱向地滑動(dòng)進(jìn)入所述螺旋凸輪的所述內(nèi)部腔,所述線性滑動(dòng)組件限定成允許所述螺旋凸輪沿著所述旋轉(zhuǎn)軸移動(dòng),且防止所述螺旋凸輪相對(duì)于所述線性滑動(dòng)組件的旋轉(zhuǎn);及
凸輪輥?zhàn)樱潭ㄓ卩徑雎菪馆喌乃鐾獠勘砻娴奈恢茫鐾馆嗇佔(zhàn)优渲贸膳c所述線性滑動(dòng)組件分離,其中所述凸輪輥?zhàn)游挥谒雎菪馆喌乃鐾馆嗇喞獌?nèi),所述凸輪輥?zhàn)酉薅ǔ山雍纤鐾馆嗇喞栽谒鼍€性滑動(dòng)組件和所述螺旋凸輪相對(duì)于所述凸輪輥?zhàn)右黄鹄@著所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時(shí),造成所述螺旋凸輪沿著所述旋轉(zhuǎn)軸移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的螺旋凸輪裝置,其中所述凸輪輪廓包括平移段和一個(gè)或多個(gè)停留段,其中所述平移段限定成在所述螺旋凸輪相對(duì)于所述凸輪輥?zhàn)永@著所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時(shí),造成所述螺旋凸輪沿著所述旋轉(zhuǎn)軸的移動(dòng),且其中所述一個(gè)或多個(gè)停留段中的每一者限定成在所述螺旋凸輪相對(duì)于所述凸輪輥?zhàn)永@著所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時(shí),維持所述螺旋凸輪沿著所述旋轉(zhuǎn)軸的穩(wěn)定位置。
3.如權(quán)利要求2所述的螺旋凸輪裝置,其中所述凸輪輪廓包括一個(gè)平移段和兩個(gè)停留段,所述一個(gè)平移段位于所述兩個(gè)停留段之間,其中所述一個(gè)平移段和所述兩個(gè)停留段沿著所述凸輪輪廓以連續(xù)的方式連接。
4.如權(quán)利要求2所述的螺旋凸輪裝置,其中在平行于所述旋轉(zhuǎn)軸的方向所測(cè)得的所述平移段的尺寸界定沿著所述旋轉(zhuǎn)軸的所述輪旋凸輪的平移位移。
5.如權(quán)利要求1所述的螺旋凸輪裝置,還包括:
抓取器支撐件,其在所述凸輪輪廓之外的位置剛性連接至所述螺旋凸輪的所述外部表面,所述抓取器支撐件限定成固持用于抓持目的物的抓取器組件。
6.如權(quán)利要求1所述的螺旋凸輪裝置,其中所述線性滑動(dòng)組件包括:線性滑動(dòng)體,限定成縱向延伸穿過所述螺旋凸輪的所述內(nèi)部腔;及線性滑軌,其剛性固定于所述線性滑動(dòng)體,且定向?yàn)樵谄叫杏谒鲂D(zhuǎn)軸的方向縱向延伸。
7.如權(quán)利要求6所述的螺旋凸輪裝置,還包括:
線性滑動(dòng)軸承,剛性連接至所述螺旋凸輪,所述線性滑動(dòng)軸承限定成接合所述線性滑軌,以限制所述線性滑動(dòng)軸承在除了沿著所述線性滑軌的長(zhǎng)度之外的方向上的移動(dòng),其中所述線性滑動(dòng)軸承限定為當(dāng)接合所述線性滑軌時(shí),在平行于所述旋轉(zhuǎn)軸的方向沿著所述線性滑軌的長(zhǎng)度自由地移動(dòng)。
8.如權(quán)利要求7的螺旋凸輪裝置,其中當(dāng)所述線性滑動(dòng)軸承和所述線性滑軌接合在一起時(shí),所述線性滑動(dòng)軸承和所述線性滑軌限定成共同地防止所述螺旋凸輪相對(duì)于所述線性滑動(dòng)件的旋轉(zhuǎn)。
9.如權(quán)利要求1所述的螺旋凸輪裝置,其中所述線性滑動(dòng)組件剛性連接至可旋轉(zhuǎn)桿,所述可旋轉(zhuǎn)桿定向?yàn)槔@著所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),所述可旋轉(zhuǎn)桿延伸穿過關(guān)節(jié)臂,以使所述可旋轉(zhuǎn)桿的位置相對(duì)于所述關(guān)節(jié)臂是固定的。
10.如權(quán)利要求9所述的螺旋凸輪裝置,還包括:
凸輪輥?zhàn)又螛?gòu)件,其配置于相對(duì)于所述關(guān)節(jié)臂的固定位置,所述凸輪輥?zhàn)又螛?gòu)件限定為在平行于所述旋轉(zhuǎn)軸的方向沿著所述螺旋凸輪延伸,所述凸輪輥?zhàn)又螛?gòu)件以與所述螺旋凸輪的所述外部表面分開的方式定位,其中所述凸輪輥?zhàn)釉谙鄬?duì)于所述關(guān)節(jié)臂的固定遠(yuǎn)側(cè)位置連接至所述凸輪輥?zhàn)又螛?gòu)件。
11.如權(quán)利要求10所述的螺旋凸輪裝置,其中所述凸輪輥?zhàn)涌尚D(zhuǎn)地連接至銷,且其中所述銷在相對(duì)于所述關(guān)節(jié)臂的所述固定遠(yuǎn)側(cè)位置連接至所述凸輪輥?zhàn)又螛?gòu)件。
12.如權(quán)利要求11所述的螺旋凸輪裝置,其中所述凸輪輥?zhàn)佣ㄏ虺删哂型馆嗇佔(zhàn)有D(zhuǎn)面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)方向,所述凸輪輥?zhàn)有D(zhuǎn)面定向成平行于包括所述凸輪輪廓的所述螺旋凸輪的所述外部表面的切線。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于布魯克斯自動(dòng)化公司,未經(jīng)布魯克斯自動(dòng)化公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201280032280.3/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇:一種淋軋式散纖維水洗機(jī)
- 下一篇:控制方法以及控制裝置
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





