[發(fā)明專利]近場噪聲抑制薄膜

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280032039.0
• 申請日: 2012-06-27
• 公開（公告）號: CN103636299A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 加川清二
• 申請（專利權(quán)）人: 加川清二
• 主分類號: H05K9/00
• 分類號: H05K9/00;B32B15/08
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 雒運樸

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種廉價的噪聲抑制薄膜，其能夠吸收移動電話、智能手機(jī)等移動信息終端、個人計算機(jī)等電子儀器等中的近場的數(shù)百MHz至數(shù)GHz的電磁波。

背景技術(shù)

近年來，移動通信終端、電子儀器等在實現(xiàn)多功能化以及高性能化之外，還謀求小型化以及輕型化，在狹小的空間內(nèi)高密度地配置有電子元件，并且也謀求高速化。因此，電路或部件間的電磁波噪聲、尤其是是數(shù)百MHz至數(shù)GHz的高頻噪聲成為較大問題。為了抑制這樣的近場的電磁波噪聲，提出各種噪聲抑制薄膜的方案，并將其實用化。

這樣的噪聲抑制薄膜大多含有磁性材料以及/或者導(dǎo)電材料。例如，日本特開2010-153542號公開了一種電磁波噪聲抑制薄膜，其具有：基材；由含有Cu等金屬或者碳的顆粒、鱗片或者細(xì)線的導(dǎo)電性涂敷材料構(gòu)成的導(dǎo)電層；以及含有鐵酸鹽、山達(dá)斯特合金、高導(dǎo)磁鐵鎳合金等軟磁性材料的磁性涂敷材料構(gòu)成的磁性層。另外，日本特開2006-278433號公開有一種復(fù)合電磁波噪聲抑制薄膜，其例如將由具有Fe_bal-Cu₁-Si_12.5-Nb₃-Cr₁-B₁₂(原子％)的組成的非晶體薄片那樣的軟磁性體粉末與樹脂構(gòu)成的砑光加工后的兩枚以上的片進(jìn)行層疊，進(jìn)一步利用砑光加工實現(xiàn)一體化。然而，日本特開2010-153542號或者日本特開2006-278433號所公開的噪聲抑制薄膜皆不具有足夠的近場噪聲的吸收能力，且由于將磁性材料以及/或者導(dǎo)電材料煉入樹脂而成形為片，因此存在薄壁化困難且制造成本高這樣的問題。

日本特開2006-279912號公開有AlO、CoAlO、CoSiO等濺射薄膜，其作為近場電磁波噪聲抑制薄膜，相對于準(zhǔn)微波帶域所產(chǎn)生的電磁波噪聲，為了將其反射系數(shù)(S₁₁)設(shè)為-10dB以下，并且將噪聲抑制效果(ΔP_loss/P_in)設(shè)為0.5以上，將電阻值控制為與空間的特性阻抗Z(377Ω)整合的10～1000Ω/單位面積。然而，該近場電磁波噪聲抑制薄膜的電磁波吸收能力并不足夠。

日本特開2008-53383號公開有散熱特性優(yōu)異的電波吸收·密封薄膜，其包括：在面方向與厚度方向上導(dǎo)熱率不同的石墨薄膜；包含形成在其上的Fe、Co、FeSi、FeNi、FeCo、FeSiAl、FeCrSi、FeBSiC等軟磁性體；Mn-Zn系、Ba-Fe系、Ni-Zn系等鐵酸鹽；以及碳顆粒的軟磁性層。然而，該電波吸收·密封薄膜的電磁波吸收能力也并不足夠。

日本特開平05-226873號在實施例1中公開有一種電波吸收體，其在厚度為50μm的聚酰亞胺薄膜上蒸鍍有厚度為12nm的鎳之后，在空氣中以200℃加熱1小時，將獲得的熱處理鎳蒸鍍薄膜借助粘合劑進(jìn)行層疊而成。然而，在日本特開平05-226873號的技術(shù)方案中存在如下問題：(1)當(dāng)在聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜上利用蒸鍍法來形成的Ni薄膜的表面電阻為數(shù)十Ω/單位面積左右時，相對于近場電磁波噪聲具有優(yōu)異的吸收能力，但精度良好地形成這樣薄的Ni薄膜是非常困難的，實際上形成的Ni薄膜的表面電阻存在較大不均，以及(2)這樣薄的Ni薄膜的表面電阻受到較大經(jīng)時變化，為了完全穩(wěn)定而不僅需要長時間，通過其間的環(huán)境條件(溫度、濕度等)使表面電阻的經(jīng)時變化不同。

因而，在日本特開平05-226873號中并不具有減弱電磁波吸收能力的不均以及經(jīng)時變化且穩(wěn)定具有優(yōu)異的電磁波吸收能力這樣的目的。因此，日本特開平05-226873號中的熱處理條件擴(kuò)大為50～400℃以及30分鐘～5小時，在實施例1中為200℃以及1小時。另外，日本特開平05-226873號中沒有對Ni薄膜的熱處理時的薄膜的熱收縮問題進(jìn)行任何研究。因此，日本特開平05-226873號中，作為Ni薄膜的基材，舉出了聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚苯硫醚、聚氯乙烯等塑料薄板、黃銅、銅、鐵、不銹鋼、鋁等金屬，在實施例1中使用了聚酰亞胺薄膜這樣的在熱處理溫度下不進(jìn)行熱收縮的耐熱性樹脂。

日本特開2006-295101號公開了一種平均厚度為2～100nm的噪聲抑制體，其具有支承體、形成在所述支承體上的鎳薄膜，從鎳薄膜的表面電阻的實測值換算出的體積電阻率R1(Ω·cm)與鎳的體積電阻率R0(Ω·cm)滿足0.5≤logR1-logR0≤3的條件。在薄膜中鎳形成微小的組(cluster)。但是，日本特開2006-295101號對熱處理沒有進(jìn)行任何記載。