[發明專利]除膜方法、除膜用噴嘴和除膜裝置

有效

• 申請號: 201280020525.0
• 申請日: 2012-04-11
• 公開（公告）號: CN103492089A
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發明（設計）人: 五十川良則
• 申請（專利權）人: 龍云株式會社
• 主分類號: B05D3/10
• 分類號: B05D3/10;B05C11/10;B05C5/02
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 權太白;謝麗娜

技術領域

本發明涉及除去在基板上形成的膜的方法、用于該用途的除膜用噴嘴和除膜裝置。

背景技術

在專利文獻1中公開了下述方法：在使吸入噴嘴的吸入口與在基板上形成的濕狀態的涂膜接觸并吸入涂膜的同時，使載置基板的載物臺相對移動，由此以預期的圖案除去涂膜。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2008-18301號公報(參照圖1、圖3)

發明內容

發明要解決的課題

專利文獻1的方法為接觸式的，因此存在著對形成的膜或基板自身產生損傷等的可能性。而且，無法應用于干狀態的膜。另外，在專利文獻1中，作為變形實施例，記載了對濕狀態的涂膜噴射濕狀態促進液以促進濕狀態的內容，然而對于能夠應用于干狀態的膜沒有記載或啟示。而且，即使應用于干狀態的膜，顯然也無法以能夠跟上要求的處理速度的程度簡單地制出濕狀態的膜。

而且，在專利文獻1的方法中，當載物臺的移動速度過快時，存在著涂膜未被順利吸取而殘留的問題。而且，涂膜的吸入速度過快的話，也存在著吸取過多的涂膜的問題。因此，處理的效率較差。

本發明正是為了解決上述技術課題而完成的，其目的在于提供一種能夠高效地溶解除去干狀態的膜的除膜方法、除膜用噴嘴和除膜裝置。

用于解決課題的方案

本發明的除膜方法，使噴嘴頭接近在基板上形成的溶解性的膜，從該噴嘴頭連續地噴出藥液并同時吸入藥液，從而在所述噴嘴頭與所述膜之間形成所述藥液的積液，并且在所述噴嘴頭與所述膜表面為非接觸的狀態下使所述基板水平移動，從而使所述藥液的積液在所述基板上相對地移動。

或者，使噴嘴頭接近在基板上形成的溶解性的膜，從該噴嘴頭連續地噴出藥液并同時吸入藥液，從而在所述噴嘴頭與所述膜之間形成所述藥液的積液，并且在所述噴嘴頭與所述膜表面為非接觸的狀態下使所述噴嘴頭在所述基板上水平移動，從而使所述藥液的積液在所述基板上移動。

根據該結構，在接近膜表面的噴嘴頭與溶解性的膜之間通過表面張力形成藥液的積液，將與該積液接觸的部分的膜溶解。該積液通過連續地噴出的藥液和吸入的藥液而總是替換為新的藥液并繼續形成。并且，通過吸入溶解了膜的藥液來除去膜。并且，通過基板或噴嘴頭水平移動使積液也在基板上移動，從而能夠隨著基板或噴嘴頭的移動軌跡除去膜。

而且，當將空氣注入所述噴嘴頭的藥液噴出路徑時，利用空氣使在噴嘴頭的藥液噴出路徑流動的藥液的流速加速，從藥液噴出路徑的噴出口噴出(噴射)藥液。由此，對膜施加機械性沖擊，促進積液對膜的溶解、除去。

在所述膜是由溶解液、分散液形成的膜的情況下，溶解所述膜的藥液優選使用構成所述溶解液、分散液的藥液。另外，如果所述膜為水溶性的話，能夠使用水作為所述藥液，有利于削減處理成本。

而且，本發明的除膜用噴嘴在噴嘴頭通過空洞形成藥液噴出路徑和藥液吸入路徑。該除膜用噴嘴在所述噴嘴頭的前端面形成直線狀的槽，在該槽的兩端分別開口有所述藥液噴出路徑的噴出口和所述藥液吸入路徑的吸入口。

在所述噴嘴頭的周圍設置液滴飛散抑制壁的話，能夠抑制因從噴嘴頭噴出的沖擊而使得藥液的飛沫飛散到膜表面的較廣范圍。在該情況下，若對由藥液抑制壁包圍的空間進行抽吸則更為有效。

另外，優選本發明的除膜用噴嘴構成為，在上述結構中，向所述藥液噴出路徑注入空氣的空氣注入路徑與所述藥液噴出路徑連結。

而且，本發明的除膜裝置具備上述除膜噴嘴。該除膜裝置具備：藥液供給構件，其向所述藥液噴出路徑供給所述藥液；以及藥液抽吸構件，其從所述藥液吸入路徑抽吸所述藥液。

另外，在除膜用噴嘴為將向所述藥液噴出路徑注入空氣的空氣注入路徑與所述藥液噴出路徑連結的結構的情況下，本發明的除膜裝置還具備向所述空氣注入路徑供給空氣的空氣供給構件。

并且，本發明的除膜裝置將所述載物臺構成為能夠沿水平方向移動的可動載物臺，或者具備使除膜用噴嘴水平移動的噴嘴移動構件。

發明效果

根據本發明能夠高效地溶解除去干狀態的膜。

附圖說明

圖1是示出本發明的第一實施方式的除膜裝置的概要結構圖。

圖2(A)是示出除膜用噴嘴的局部剖開側視圖。圖2(B)是示出除膜用噴嘴的仰視圖。圖2(C)是圖2(A)的箭頭II-II線剖視圖。圖2(D)是圖2(C)的噴嘴頭前端部的放大圖。

圖3(A)～圖3(C)是示意性地示出本發明的除膜方法的各工序的說明圖。

圖4是圖3(B)的箭頭IV-IV線剖視圖。