[發(fā)明專利]除膜方法、除膜用噴嘴和除膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280020525.0
• 申請日: 2012-04-11
• 公開（公告）號: CN103492089A
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 五十川良則
• 申請（專利權(quán)）人: 龍云株式會社
• 主分類號: B05D3/10
• 分類號: B05D3/10;B05C11/10;B05C5/02
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 權(quán)太白;謝麗娜

1.一種除膜方法，其中，

使噴嘴頭接近在基板上形成的溶解性的膜，從該噴嘴頭連續(xù)地噴出藥液并同時吸入藥液，從而在所述噴嘴頭與所述膜之間形成所述藥液的積液，并且在所述噴嘴頭與所述膜表面為非接觸的狀態(tài)下使所述基板水平移動，從而使所述藥液的積液在所述基板上相對地移動來除去所述膜。

2.一種除膜方法，其中，

使噴嘴頭接近在基板上形成的溶解性的膜，從該噴嘴頭連續(xù)地噴出藥液并同時吸入藥液，從而在所述噴嘴頭與所述膜之間形成所述藥液的積液，并且在所述噴嘴頭與所述膜表面為非接觸的狀態(tài)下使所述噴嘴頭在所述基板上水平移動，從而使所述藥液的積液在所述基板上移動來除去所述膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的除膜方法，其中，

向所述噴嘴頭的藥液噴出路徑注入空氣。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的除膜方法，其中，

使用溶解所述膜的藥液。

5.一種除膜用噴嘴，在噴嘴頭通過空洞形成藥液噴出路徑和藥液吸入路徑，其中，

在所述噴嘴頭的前端面形成直線狀的槽，在該槽分別開口有所述藥液噴出路徑的噴出口和所述藥液吸入路徑的吸入口。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的除膜用噴嘴，其中，

在所述噴嘴頭的周圍設(shè)有液滴飛散抑制壁。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的除膜用噴嘴，其中，

在所述液滴飛散抑制壁形成有用于對由該液滴飛散抑制壁包圍的空間進(jìn)行抽吸的排氣孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的除膜用噴嘴，其中，

注入空氣的空氣注入路徑與所述藥液噴出路徑連結(jié)。

9.一種除膜裝置，具備權(quán)利要求5所述的除膜用噴嘴，其中，

該除膜裝置具備：

載物臺，其載置基板；

藥液供給構(gòu)件，其向所述藥液噴出路徑供給所述藥液；以及

藥液抽吸構(gòu)件，其從所述藥液吸入路徑抽吸所述藥液。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的除膜裝置，其中，

所述藥液供給構(gòu)件具備調(diào)整所述藥液的供給流量的流量調(diào)整裝置。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的除膜裝置，其中，

所述藥液供給構(gòu)件還具備對所述藥液加熱的加熱裝置。

12.一種除膜裝置，具備權(quán)利要求7所述的除膜用噴嘴，其中，

該除膜裝置具備：

載物臺，其載置基板；

藥液供給構(gòu)件，其向所述藥液噴出路徑供給所述藥液；

藥液抽吸構(gòu)件，其從所述藥液吸入路徑抽吸所述藥液；以及

空氣抽吸構(gòu)件，其從所述抽吸孔抽吸空氣。

13.一種除膜裝置，具備權(quán)利要求8所述的除膜用噴嘴，其中，

該除膜裝置具備：

載物臺，其載置基板；

藥液供給構(gòu)件，其向所述藥液噴出路徑供給所述藥液；

藥液抽吸構(gòu)件，其從所述藥液吸入路徑抽吸所述藥液；以及

空氣供給構(gòu)件，其向所述空氣注入路徑供給空氣。

14.根據(jù)權(quán)利要求9～13的任意一項所述的除膜裝置，其中，

所述載物臺為能夠沿水平方向移動的可動載物臺。

15.根據(jù)權(quán)利要求9～13的任意一項所述的除膜裝置，其中，

所述除膜裝置還具備噴嘴移動構(gòu)件，所述噴嘴移動構(gòu)件使所述除膜用噴嘴水平移動。