[發明專利]真空泵

無效

• 申請號: 201280018711.0
• 申請日: 2012-05-29
• 公開（公告）號: CN103477080A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 百濟壯一;新村惠弘;長山真己
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C18/18;F04C23/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 蘇娟;尹景娟

技術領域

本發明涉及一種在充當用于生產半導體、液晶、太陽能電池、LED等的制造方法的一部分的諸如CVD工藝或刻蝕工藝的工藝中使用的真空泵，并且更具體地，涉及一種在可升華氣體或腐蝕氣體趨于流入真空泵的工藝中使用的真空泵。

背景技術

連接到真空室以排放被引入真空室的工藝氣體的真空泵通常包括泵殼和可轉動地容納在泵殼內的轉子，其中，泵殼具有入口、出口和限定在其中的泵室。當轉子在泵室內圍繞其自身的軸線轉動時，已通過入口流入泵室的工藝氣體由轉子壓縮并隨后通過出口從泵室排出。轉子固定地安裝在延伸穿過泵殼的相應轉動軸上。每個轉動軸具有通過相應軸承可轉動地支承的相對端，軸承設置在泵殼的相應側上的相應軸承艙內。

因此，連接到真空室的真空泵的泵殼的入口區域保持在與真空室內的真空在同一水平的真空下，并且真空殼的出口區域基本上保持在大氣壓力下，因為它通向大氣。轉動軸的相對端通過相應軸承可轉動地支承，并且通過接觸式密封或非接觸式密封密封，以保護軸承不受由已進入軸承的工藝氣體產生的產物損壞。非接觸式密封被廣泛地用于密封轉動軸，用于保護轉動軸不受接觸引起的損壞。

當通過使用具有例如多級的多個泵室的多級真空泵排空真空室或類似物時，真空泵內的工藝氣體的壓力隨著工藝氣體流經真空泵的連續的泵室(諸如第一泵室、第二泵室和第三泵室)逐步地增加。在每個泵室中，工藝氣體在泵室的出口側的壓力比在其入口側的壓力高。因此，最后級泵室內的工藝氣體的壓力基本上等于其出口側(排放口)的大氣壓力，并且低于其入口側的大氣壓力。如果非接觸式密封用于密封轉動軸以防止轉動軸上的過度磨損，那么鄰近最后級泵室并且在其中容納軸承的軸承艙內的工藝氣體的壓力與最后級泵室內的壓力(平均壓力)相當。例如，如果最后級泵室的出口側(排放口)的壓力基本上是大氣壓力760Torr并且最后級泵室的入口側的壓力是比大氣壓力低的200Torr，那么鄰近最后級泵室的軸承艙內的壓力是大約480Torr(=(760+200)／2)。

最后級泵室的入口側的壓力由于來自真空室或類似物的工藝氣體的流入而改變。例如，當工藝氣體從真空室流入最后級泵室時，最后級泵室的入口側的壓力從200Torr上升到300Torr。另一方面，由于出口側通過泵排放管通向大氣，最后級泵室的出口側的壓力基本上保持大氣壓力不變。當最后級泵室的入口側的壓力從200Torr上升到300Torr時，最后級泵室內的壓力(平均壓力)增加到530(=(760+300)／2)Torr，其比鄰近最后級泵室的軸承艙內的壓力480Torr高。

當最后級泵室內的平均壓力由此變得比鄰近最后級泵室的軸承艙內的壓力高時，被引入最后級泵室的工藝氣體趨于泄漏到軸承艙內。如果工藝氣體包含可升華氣體或類似物，那么由于軸承艙通常保持在低溫，由工藝氣體產生的產物沉積在設置于軸承艙內的軸承和用于潤滑軸承的潤滑劑上，由此趨于損壞軸承。

已經提出了一種干式泵，其在保持在相對高溫的泵室和保持在相對低溫的潤滑劑室之間具有中空隔熱中間室和用于制冷劑穿過其通過的冷卻通道，以便使潤滑劑的蒸發最小化，由此將潤滑劑室內的潤滑劑有效地保持在低溫，同時保持泵室在高溫，以有助于諸如可凝性氣體或可升華氣體的氣體的排放(參見日本特開平專利公開文獻No2005-105829)。

引用列表

專利文獻

【PTL1】日本特開平專利公開文獻No2005-105829

發明內容

技術問題

日本特開平專利公開文獻No2005-105829中公開的干式泵用于使潤滑劑的蒸發最小化，由此將潤滑劑室內的潤滑劑有效地保持在低溫，同時保持泵室在高溫，以有助于諸如可凝性氣體或可升華氣體的氣體的排放。但是，這里公開的干式泵不涉及保護軸承不受工藝氣體的影響，該軸承設置在軸承艙內，軸承艙設置在泵殼的一側上。已經廣泛地習慣將諸如氮氣或類似物的吹掃氣體引入轉動軸上的非接觸式密封，以防止工藝氣體泄漏到軸承內。但是，由于泵室內的壓力受到被引入轉動軸上的非接觸式密封的吹掃氣體的量的增加的不利影響，在能夠被引入轉動軸上的非接觸式密封的吹掃氣體的量上存在一定限制。

本發明是鑒于背景技術中的上述情況作出的。因此，本發明的目的是提供一種能夠有效地防止被引入泵室的工藝氣體泄漏到軸承內，由此保護軸承不受工藝氣體影響的真空泵。