[發明專利]真空泵無效
| 申請號: | 201280018711.0 | 申請日: | 2012-05-29 |
| 公開(公告)號: | CN103477080A | 公開(公告)日: | 2013-12-25 |
| 發明(設計)人: | 百濟壯一;新村惠弘;長山真己 | 申請(專利權)人: | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號: | F04C25/02 | 分類號: | F04C25/02;F04C18/18;F04C23/00 |
| 代理公司: | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人: | 蘇娟;尹景娟 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 真空泵 | ||
1.一種真空泵,包括:
泵殼,所述泵殼具有入口、出口和限定在其中的泵室;
轉動軸,所述轉動軸具有通過軸承可轉動地支承的相對端部并且在泵殼中縱向地延伸;和
轉子,所述轉子容納在泵室內并且聯接到轉動軸用于與轉動軸一致地轉動;
其中,所述泵殼具有限定在其中的通向大氣的艙,所述通向大氣的艙保持與泵殼的出口流體連通并且通向大氣。
2.根據權利要求1所述的真空泵,其中,所述泵室包括保持彼此流體連通的多個泵室,并且所述轉子包括分別設置在泵室內用于與轉動軸一致地轉動的多個轉子。
3.根據權利要求1所述的真空泵,還包括:
設置在泵殼的端壁上的側板,轉動軸延伸經過所述側板,所述側板具有限定在其中的吹掃氣體通道,所述吹掃氣體通道用于向轉動軸的設置在側板中的一部分供應吹掃氣體。
4.根據權利要求2所述的真空泵,還包括:
設置在泵殼的端壁上的側板,轉動軸延伸經過所述側板,所述側板具有限定在其中的吹掃氣體通道,所述吹掃氣體通道用于向轉動軸的設置在側板中的一部分供應吹掃氣體。
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