[發明專利]太陽電池用濺射靶

有效

• 申請號: 201280007612.2
• 申請日: 2012-01-19
• 公開（公告）號: CN103380230A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 武內朋哉
• 申請（專利權）人: 三井金屬礦業株式會社
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23K35/26;C22C13/00;C22C28/00;C22F1/00;C22F1/16
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 朱梅;蘇萌萌

1.一種太陽電池用濺射靶，其特征在于，

其由靶材、背板、及對所述靶材和背板進行接合的銦－錫或者銦－鎵合金制的接合材料構成，其中，所述靶材從如下的加工材料制造出，所述加工材料為，通過對銦制的鑄塊實施施加物理應力的加工，以使該鑄塊的厚度成為原來的厚度的70％以下，從而得到的加工材料。

2.如權利要求1所述的太陽電池用濺射靶，其特征在于，

所述靶材為從如下的加工材料制造出的靶材，所述加工材料為，通過對銦制的鑄塊實施施加物理應力的加工，并使該鑄塊的厚度成為原來的厚度的50％以下，從而得到的加工材料。

3.如權利要求1或2所述的太陽電池用濺射靶，其特征在于，

所述銦－錫及銦－鎵合金的熔點在140℃以下。

4.如權利要求1或2所述的太陽電池用濺射靶，其特征在于，

所述銦－錫及銦－鎵合金的熔點在130℃以下。

5.如權利要求1至4中的任意一項所述的太陽電池用濺射靶，其特征在于，

所述施加物理應力的加工為壓延。

6.如權利要求1至4中的任意一項所述的太陽電池用濺射靶，其特征在于，

所述施加物理應力的加工為鍛造。

7.如權利要求1至6中的任意一項所述的太陽電池用濺射靶，其特征在于，

對如下的兩點的測定處的腐蝕的深度進行測定時的該兩點間的所述深度之差的平均值在100μm以下，所述兩點的測定處為，在所述太陽電池用濺射靶的使用比率在10％以上時所形成的腐蝕的最深部處，以100μm的間距設定的、隔著銦的晶粒的晶粒邊界的兩點的測定處。

8.如權利要求1至6中的任意一項所述的太陽電池用濺射靶，其特征在于，

對如下的兩點的測定處的腐蝕的深度進行測定時的該兩點間的所述深度之差的平均值在60μm以下，所述兩點的測定處為，在所述太陽電池用濺射靶的使用比率在10％以上時所形成的腐蝕的最深部處，以100μm的間距設定的、隔著銦的晶粒的晶粒邊界的兩點的測定處。