[實(shí)用新型]輸送晶圓用升降裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220749842.3
• 申請(qǐng)日: 2012-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN203118924U
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳概禮;劉紅兵;黃春杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所 31259
• 代理人: 李強(qiáng)

1.輸送晶圓用升降裝置，其特征在于，包括：

固定基板；

升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)設(shè)置在固定基板上，用于提供升降驅(qū)動(dòng)力；

傳動(dòng)裝置，所述傳動(dòng)裝置用于傳遞升降驅(qū)動(dòng)力；

所述升降驅(qū)動(dòng)裝置與晶圓固定裝置通過傳動(dòng)裝置傳動(dòng)連接，升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)裝置升降。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送晶圓用升降裝置，其特征在于，所述升降裝置還包括用于提供導(dǎo)向的導(dǎo)向裝置；所述導(dǎo)向裝置與固定基板連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸送晶圓用升降裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向裝置包括導(dǎo)軌和滑塊，所述滑塊設(shè)置于導(dǎo)軌上且可沿導(dǎo)軌升降；所述導(dǎo)軌安裝于固定基板上，所述滑塊傳動(dòng)裝置連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輸送晶圓用升降裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌數(shù)目為兩根，滑塊為兩個(gè)；每個(gè)導(dǎo)軌上設(shè)置一個(gè)滑塊，兩個(gè)滑塊均與升降基座連接；升降基座與傳動(dòng)裝置連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送晶圓用升降裝置，其特征在于，所述升降裝置還包括感應(yīng)限位裝置，所述感應(yīng)限位裝置設(shè)置在所述固定基板上，用于感應(yīng)所述傳動(dòng)裝置是否到達(dá)指定位置，并在所述傳動(dòng)裝置到達(dá)指定位置后發(fā)出電信號(hào)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送晶圓用升降裝置，其特征在于，所述升降驅(qū)動(dòng)裝置為電機(jī)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送晶圓用升降裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)裝置為傳動(dòng)帶、傳動(dòng)鏈、傳動(dòng)齒輪、絲桿螺母中任意一種。