[實用新型]輸送晶圓用抓取升降裝置

有效

• 申請號: 201220749818.X
• 申請日: 2012-12-31
• 公開（公告）號: CN203118923U
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 陳概禮;劉紅兵;程鵬;黃春杰
• 申請（專利權）人: 上海新陽半導體材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強

1.輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，包括抓取裝置及升降裝置；所述抓取裝置與升降裝置連接，用于抓取所述晶圓存放槽；所述升降裝置可升降地設置，用于帶動所述抓取裝置進行升降運動。?

2.根據權利要求1所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，還包括用于存放晶圓的晶圓存放槽。?

3.根據權利要求2所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述升降裝置包括：?

固定基板；?

升降驅動裝置，所述升降驅動機設置在固定基板上，用于提供升降驅動力；?

傳動裝置，所述傳動裝置用于傳遞升降驅動力；?

所述升降驅動裝置與所述抓取裝置通過傳動裝置傳動連接，升降驅動裝置通過傳動裝置驅動抓取裝置升降。?

4.根據權利要求3所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述升降裝置還包括用于在抓取裝置升降時導向的導向裝置；所述導向裝置與固定基板和抓取裝置連接。?

5.根據權利要求4所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述導向裝置包括導軌和滑塊，所述滑塊設置于導軌上且可沿導軌升降；所述導軌安裝于固定基板上，所述滑塊與抓取裝置連接和傳動裝置連接。?

6.根據權利要求4所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述導軌數目為兩根，滑塊為兩個；每個導軌上設置一個滑塊，兩個滑塊均與升降基座連接；升降基座與傳動裝置連接。?

7.根據權利要求3所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述升降裝置還包括感應限位裝置，所述感應限位裝置設置在所述固定基板上，用于感應所述抓取裝置是否到達指定位置，并在所述抓取裝置到達指定位置后發出電信號。?

8.根據權利要求3所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述升降驅動裝置為電?機。?

9.根據權利要求3所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述傳動裝置為傳動帶、傳動鏈、傳動齒輪、絲桿螺母中任意一種。?

10.根據權利要求1所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述抓取裝置包括兩個抓手，所述兩個抓手可相向移動或相背移動地設置；所述兩個抓手相向移動時夾持所述晶圓存放槽。?

11.根據權利要求10所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述抓取裝置還包括抓取驅動裝置，所述抓取驅動裝置與至少一個所述抓手連接，驅動至少一個往復運動。?

12.根據權利要求11所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述抓取驅動裝置為第一氣缸；所述第一氣缸設置有第一活塞桿；至少一個所述抓手與所述第一氣缸的活塞桿連接。?

13.根據權利要求10所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述至少一個抓手設置有夾持槽，所述夾持槽朝向另一個抓手。?

14.根據權利要求13所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，還包括用于存放晶圓的晶圓存放槽；所述夾持槽的側壁設有第一導向斜面；所述晶體存放槽設有第二導向斜面；所述第一導向斜面與所述第二導向斜面相對應。?

15.根據權利要求2或14所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述晶圓存放槽設有抓取提手，所述抓取提手頂部設有卡位件，所述卡位件沿水平方向突出所述抓取提手頂部。?

16.根據權利要求15所述的輸送晶圓用抓取升降裝置，其特征在于，所述抓取提手設置有第二導向斜面。?