[實用新型]傳感器觸發傳動裝置和機械手

有效

• 申請號: 201220748772.X
• 申請日: 2012-12-28
• 公開（公告）號: CN202985579U
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 李智洋
• 申請（專利權）人: 保定天威英利新能源有限公司
• 主分類號: B25J19/00
• 分類號: B25J19/00;B25J19/02;C23C16/44
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;張永明

技術領域

本實用新型涉及傳感器觸發裝置領域，更具體地，涉及一種傳感器觸發傳動裝置和機械手。

背景技術

在生產太陽能電池的過程中，需要經過等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）的工序。等離子體增強化學氣相沉積是將氨氣與硅烷在低壓高頻等離子狀態下附著到硅片的表面。現有技術中的等離子體增強化學氣相沉積設備有兩種，一種是鏈式等離子體增強化學氣相沉積設備，另一種是管式等離子體增強化學氣相沉積設備。

現有技術中的管式等離子體增強化學氣相沉積設備內具有一套機械手。機械手用于將石墨載具運送進入爐管或從爐管內取出。機械手包括兩個機械臂和兩個機械手指，兩個機械手指分別安裝在兩個機械臂的前端。為了提高機械手的使用可靠性、安全性和準確性，在機械手指上設置有傳感器觸發傳動裝置和限位傳感器（例如：按壓式限位傳感器），在取放石墨載具的過程中均由限位傳感器確認指令執行是否到位。由于傳感器觸發傳動裝置長時間使用后會發生變形，因而使得傳感器觸發傳動裝置無法與限位傳感器接觸到位，從而使系統持續報警。

現有技術中的傳感器觸發傳動裝置在變形或磨損后，采用安裝石英玻璃的方法將翹板墊高，從而使傳感器觸發傳動裝置與限位傳感器接觸到位。或者，在傳感器觸發傳動裝置上接觸限位傳感器的一端纏裹耐高溫的膠帶，從而使傳感器觸發傳動裝置與限位傳感器接觸到位。然而上述維修手段只能暫時延長傳感器觸發傳動裝置的使用壽命，不僅更加容易磨損限位傳感器，而且使機械手運行不穩定，同時增加了設備運行的風險、存在安全隱患。由于現有技術中的傳感器觸發傳動裝置具有維修復雜、更換復雜的問題，因而降低了機械手的使用可靠性、嚴重影響設備正常運行、設備運行存在安全隱患。

實用新型內容

本實用新型旨在提供一種傳感器觸發傳動裝置和機械手，以解決現有技術中的傳感器觸發傳動裝置維修復雜、機械手使用可靠性低的問題。

為解決上述技術問題，根據本實用新型的一個方面，提供了一種傳感器觸發傳動裝置，包括：第一傳動臂，第一傳動臂包括按壓觸發端和第一連接端；第二傳動臂，第二傳動臂包括樞轉連接部、承壓端和第二連接端，第一傳動臂的第一連接端與第二傳動臂的第二連接端鉸接，第一傳動臂與第二傳動臂之間具有夾角。

進一步地，傳感器觸發傳動裝置還包括用于調節夾角的位置調節元件，位置調節元件分別與第一傳動臂和第二傳動臂活動連接。

進一步地，位置調節元件包括調節連桿，第一傳動臂包括第一滑槽，調節連桿的第一端滑動設置在第一滑槽內，調節連桿的第二端與第二傳動臂鉸接。

進一步地，位置調節元件包括調節連桿，第一傳動臂包括第一滑槽，第二傳動臂包括第二滑槽，第二滑槽設置在第二傳動臂的第二連接端與樞轉連接部之間，調節連桿的兩端分別滑動設置在第一滑槽和第二滑槽內。

進一步地，按壓觸發端的表面為光滑曲面。

進一步地，按壓觸發端為球形。

進一步地，傳感器觸發傳動裝置還包括承壓板，承壓板與第二傳動臂的承壓端連接。

進一步地，傳感器觸發傳動裝置為鋼材料制成。

根據本實用新型的另一個方面，提供了一種機械手，包括機械臂、機械手指、限位傳感器和傳感器觸發傳動裝置，機械手指設置在機械臂的前端，限位傳感器安裝在機械手指上，傳感器觸發傳動裝置是上述的傳感器觸發傳動裝置，傳感器觸發傳動裝置的第二傳動臂的樞轉連接部設置在機械手指上，傳感器觸發傳動裝置的第一傳動臂的按壓觸發端與限位傳感器對應地設置。

進一步地，限位傳感器是按壓式限位傳感器。

本實用新型中的第一傳動臂的第一連接端與第二傳動臂的第二連接端鉸接。使用本實用新型中的傳感器觸發傳動裝置時，第二傳動臂的承壓端承受被抓取物的壓力，壓力經由第二傳動臂傳給第一傳動臂，從而使第一傳動臂的按壓觸發端觸發限位傳感器。使用一段時間后，當第一傳動臂的按壓觸發端與限位傳感器接觸不到位時，工作人員可以通過改變第一傳動臂與第二傳動臂之間的夾角，從而保證傳感器觸發傳動裝置可與限位傳感器接觸到位，進而提高了機械手的使用可靠性。由于通過改變第一傳動臂與第二傳動臂之間的夾角就可以完成傳感器觸發傳動裝置的維修任務，因而傳感器觸發傳動裝置具有維修簡便的特點。同時，本實用新型中的傳感器觸發傳動裝置具有結構簡單、制造成本低的特點。

附圖說明

構成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：