[實用新型]一種微波天線

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220748697.7
• 申請日: 2012-12-27
• 公開（公告）號: CN203007416U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設計）人: 袁廣鋒
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C23C16/511
• 分類號: C23C16/511
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術領域

本實用新型涉及PECVD設備技術領域，更具體地說，涉及一種微波天線。

背景技術

等離子體增強化學氣相沉積（Plasma?Enhanced?Chemical?VaporDeposition，縮寫為PECVD）是借助微波或射頻等，使含有薄膜組成原子的氣體發(fā)生電離，在局部形成等離子體，由于等離子體化學活性很強，容易發(fā)生反應，從而能夠在基片上沉積出所希望得到的薄膜。在光伏組件的生產(chǎn)過程中，通常使用該方法為硅片進行鍍膜。

在現(xiàn)有的PECVD設備中，利用一根管徑均勻的銅管作為微波天線。由于微波天線管徑均勻分布的形狀，在電磁波傳輸過程中發(fā)生衰減時，空間中靠近天線中間部分的能量強度要低于兩端，這導致硅片上鍍膜不均勻的問題。

由以上所述，如何對現(xiàn)有的微波天線進行改進，以改善硅片鍍膜不均勻的問題，成為本領域技術人員亟需解決的技術問題。

實用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實用新型提供一種微波天線，以改善現(xiàn)有PECVD設備對硅片進行鍍膜時硅片鍍膜不均勻的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種微波天線，包括等管徑的小管徑段、設置在小管徑段兩側(cè)的過渡段和與過渡段相連接且等管徑的大管徑段；

過渡段的管徑由小管徑段向大管徑段的方向逐漸增大。

優(yōu)選地，在上述的微波天線中，微波天線以小管徑段的中點為對稱中點。

優(yōu)選地，在上述的微波天線中，大管徑段的內(nèi)徑為6mm，長度為30cm。

優(yōu)選地，在上述的微波天線中，小管徑段的內(nèi)徑為3mm，長度為49cm。

優(yōu)選地，在上述的微波天線中，大管徑段的內(nèi)徑比小管徑段的內(nèi)徑大2mm至3mm。

優(yōu)選地，在上述的微波天線中，過渡段的長度為2mm至3mm。

優(yōu)選地，在上述的微波天線中，過渡段的內(nèi)徑變化規(guī)律符合雙曲線函數(shù)關系。

本實用新型提供了一種微波天線，包括小管徑段、位于小管徑段兩側(cè)的過渡段和與變管徑段相連的大管徑段。其中，小管徑段和大管徑段上的各處管徑相等，過渡段的管徑由小管徑段向大管徑段的方向逐漸增大。

在本實用新型所提供的微波天線中，位于中間的小管徑段的直徑小于位于兩端的大管徑段的直徑，增加了微波天線中間部分的電磁波能量強度，從而增加了石墨舟中間部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均勻性。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有的微波天線的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例所提供的微波天線的結構示意圖。

以上圖1-2中：

小管徑段1、過渡段2和大管徑段3。

具體實施方式

本實用新型實施例公開了一種微波天線，以改善現(xiàn)有PECVD設備對硅片進行鍍膜時硅片鍍膜不均勻的問題。

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參考圖2，本實施例提供了一種微波天線，包括小管徑段1、過渡段2和大管徑段3。

其中，過渡段2位于小管徑段1的兩側(cè)，大管徑段3位于過渡段2的外側(cè)；小管徑段1和大管徑段3上的各處管徑相等，過渡段2的管徑由小管徑段1向大管徑段3的方向逐漸增大。

在本實施例所提供的微波天線中，位于中間的小管徑段1的直徑小于位于兩端的大管徑段3的直徑，增加了微波天線中間部分的電磁波能量強度，從而增加了石墨舟中間部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均勻性。

具體的，在上述實施例所提供的微波天線中，微波天線以小管徑段1的中點為對稱中點。大管徑段3的長度為33cm左右，優(yōu)選地，大管徑段3的長度為30cm，內(nèi)徑為6mm。小管徑段1的長度為49cm至60cm，優(yōu)選地，小管徑段1的長度為49cm，內(nèi)徑為3mm。過渡段2的長度為2mm-3mm，內(nèi)徑為3mm-6mm。同時，過渡段2的內(nèi)徑變化規(guī)律符合雙曲線函數(shù)關系，即過渡段2為以微波天線的軸線為回轉(zhuǎn)軸線，以一條雙曲線為母線的回轉(zhuǎn)體。