[實用新型]晶棒切割墊條有效
| 申請號： | 201220745375.7 | 申請日： | 2012-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN203004087U | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 李民強 | 申請（專利權）人： | 青島嘉星晶電科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 山東清泰律師事務所 37222 | 代理人： | 聶磊 |
| 地址： | 266114 山東省青島市高*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 切割 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶棒切割墊條，其特征在于：它包括墊條襯底，墊條襯底上設置U形槽。
2.根據權利要求1所述的晶棒切割墊條，其特征在于：所述墊條襯底形狀為長方體。
3.根據權利要求2所述的晶棒切割墊條，其特征在于：所述墊條襯底底面的平面度為20um。
4.根據權利要求1所述的晶棒切割墊條，其特征在于：所述U形槽的中心面的平面度為20um。
5.根據權利要求1或4所述的晶棒切割墊條，其特征在于：所述U形槽的兩側壁高度為10mm。
6.根據權利要求1或4所述的晶棒切割墊條，其特征在于：墊條襯底及U形槽的材質均采用樹脂。
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