[實用新型]晶棒切割墊條

有效

• 申請號: 201220745375.7
• 申請日: 2012-12-29
• 公開（公告）號: CN203004087U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 李民強
• 申請（專利權）人: 青島嘉星晶電科技股份有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00
• 代理公司: 山東清泰律師事務所 37222
• 代理人: 聶磊

技術領域

本實用新型涉及一種藍寶石和硅晶棒加工時使用的輔助工具，具體是指一種晶棒切割用墊條。

背景技術

在藍寶石與硅晶棒加工成晶片的過程中，需要經過精密切割的工序，在切割過程中，需要用到切割墊條。現有的切割墊條多為玻璃材質，且為平面結構，在晶棒切割過程即將完畢時，容易出現晶片脫落的現象，導致碎片；而且使用這類平板玻璃切割墊條時，對晶棒本身粘貼時使用粘貼膠要求較高，成本較高，使用范圍具有很大的局限性。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型所要解決的技術問題是，提供一種晶棒切割墊條，通過改進結構避免晶片脫落、導致碎片現象的出現。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是，一種晶棒切割墊條，它包括墊條襯底，墊條襯底上設置U形槽。

上述的晶棒切割墊條，其墊條襯底形狀為長方體。

上述的晶棒切割墊條，其墊條襯底底面的平面度為20um。

上述的晶棒切割墊條，其U形槽的中心面的平面度為20um。

上述的晶棒切割墊條，其U形槽的兩側壁高度為10mm。

上述的晶棒切割墊條，其墊條襯底及U形槽的材質均采用樹脂。

本實用新型具有如下優點及有益技術效果：

1、本實用新型的晶棒切割墊條采用長方體配合U形槽結構，能夠有效防止晶棒切割過程中出現的晶片脫落、導致碎片現象的出現。

2、本實用新型的晶棒切割墊條結構簡潔合理、規格適應范圍大，能夠有效保證加工精度與質量。

3、本實用新型的晶棒切割墊條采用樹脂材料，生產成本低，使用效果好。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

上述圖中：

1-墊條襯底；2-U形槽；3-中心面；4-側壁。

具體實施方式

本實施例的一種晶棒切割墊條，它包括墊條襯底1，墊條襯底1上設置U形槽2；墊條襯底1形狀為長方體；墊條襯底1底面的平面度為20um；U形槽2的中心面3的平面度為20um；U形槽2的兩側壁4高度為10mm；其墊條襯底1及U形槽2的材質均采用樹脂。

以上所述，僅是對本實用新型的較佳實施例而已，并非是對本實用新型做其他形式的限制，任何熟悉本專業的技術人員可能利用上述揭示的技術內容加以變更或改型為等同變化的等效實施例。但是，凡是未脫離本實用新型方案內容，依據本實用新型的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化與改型，仍屬于本實用新型的保護范圍。