[實(shí)用新型]用于PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220734043.9
• 申請(qǐng)日: 2012-12-27
• 公開（公告）號(hào): CN203055881U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王燕清;周昕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫先導(dǎo)自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 32104
• 代理人: 殷紅梅

1.一種用于PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料裝置，其特征是：在機(jī)架上轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有機(jī)械手（10），在機(jī)械手（10）上安裝有吸盤（11），在機(jī)械手（10）外側(cè)的機(jī)架上安裝有第一硅片盒輸送機(jī)構(gòu)（1a）、第一升降平臺(tái)機(jī)構(gòu)（2a）、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)（3）、第一出片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)（4a）、第一儲(chǔ)料機(jī)構(gòu)（5a）、第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)（6a）、第一小車定位機(jī)構(gòu)（7a）、第一石墨舟定位機(jī)構(gòu)（8a）與第一搬運(yùn)小車（9a），在機(jī)架上內(nèi)側(cè)位置安裝有第二硅片盒輸送機(jī)構(gòu)（1b）、第二升降平臺(tái)機(jī)構(gòu)（2b）、出片輸送機(jī)構(gòu)（12）、第二出片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)（4b）、第二儲(chǔ)料機(jī)構(gòu)（5b）、第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)（6b）、第二小車定位機(jī)構(gòu)（7b）、第二石墨舟定位機(jī)構(gòu)（8b）與第二搬運(yùn)小車（9b）；所述第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)（6a）安裝于第一出片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)（4a）的前方，第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)（6b）安裝于出片輸送機(jī)構(gòu)（12）的前方，機(jī)械手（10）安裝于第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)（6a）與第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)（6b）之間的機(jī)架上。

2.如權(quán)利要求1所述的用于PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料裝置，其特征是：所述第一硅片盒輸送機(jī)構(gòu)（1a）與第二硅片盒輸送機(jī)構(gòu)（1b）結(jié)構(gòu)相同，它們包括第一電機(jī)（1.1）、托板（1.2）、同步帶（1.3）、第一同步帶輪（1.4）、第二同步帶輪（1.5）、轉(zhuǎn)動(dòng)軸（1.6）、第三同步帶輪（1.7）與第四同步帶輪（1.8），在第一電機(jī)（1.1）的輸出端連接有第四同步帶輪（1.8），轉(zhuǎn)動(dòng)軸（1.6）的兩端均固定有第一同步帶輪（1.4），兩第一同步帶輪（1.4）之間的轉(zhuǎn)動(dòng)軸（1.6）上固定有第三同步帶輪（1.7），第四同步帶輪（1.8）通過同步帶（1.3）連接第三同步帶輪（1.7），同步帶（1.3）繞過第一同步帶輪（1.4）、托板（1.2）與第二同步帶輪（1.5）。

3.如權(quán)利要求1所述的用于PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料裝置，其特征是：所述第一升降平臺(tái)機(jī)構(gòu)（2a）與第二升降平臺(tái)機(jī)構(gòu)（2b）結(jié)構(gòu)相同，它們包括安裝支座（2.10）、豎向升降組件和水平輸送組件，水平輸送組件通過第一連接板（2.7）固定于豎向升降平臺(tái)組件上，豎向升降組件通過安裝支座（2.10）固定于機(jī)架上；

所述豎向升降組件包括第二電機(jī)（2.1），第二電機(jī)（2.1）安裝在安裝支座（2.10）上，第二電機(jī)（2.1）的輸出端通過聯(lián)軸器與第一絲杠（2.5）的一端連接，所述第一絲杠（2.5）的兩端通過軸承座轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在安裝支座（2.10）上，安裝支座（2.10）上平行安裝有第一線軌（2.2），在第一線軌（2.2）內(nèi)滑動(dòng)連接有第一滑塊（2.3），第一絲杠（2.5）上安裝有第一螺母（2.4），第一滑塊（2.3）及第一螺母（2.4）固定在第一連接板（2.7）上；

所述水平輸送組件包括第三電機(jī)（2.11），第三電機(jī)（2.11）的輸出端固定同步帶輪，轉(zhuǎn)軸（2.13）的兩端固定兩個(gè)第五同步帶輪（2.12），第三電機(jī)（2.11）的輸出端的同步帶輪通過第二同步帶（2.14）與轉(zhuǎn)軸（2.13）上的第十同步帶輪（2.16）連接，第二同步帶（2.14）繞過第六同步帶輪（2.15）與第五同步帶輪（2.12），轉(zhuǎn)軸（2.13）上方設(shè)置有兩個(gè)擋塊（2.9），所述第一連接板（2.7）的上端固定有第一氣缸（2.6），第一氣缸（2.6）的活塞桿端部安裝有壓緊頭。