[實用新型]用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置

有效

• 申請號: 201220734043.9
• 申請日: 2012-12-27
• 公開（公告）號: CN203055881U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 王燕清;周昕
• 申請（專利權）人: 無錫先導自動化設備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 殷紅梅

技術領域

本實用新型涉及太陽能硅片加工自動化設備領域，本實用新型尤其是涉及一種用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置。

背景技術

在現有的硅片減反射膜制備工序中，需將承載盒中的未經PECVD處理過的硅片裝入石墨舟中、將石墨舟中的經PECVD處理過的硅片裝入承載盒。目前，上述硅片轉移動作需要借助人工完成，其缺點在于人工搬運易引起硅片破碎使得生產成本提高，同時，人工操作生產效率低、勞動強度大。

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種可以降低生產成本、降低工人勞動強度、自動化程度高的用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置。

按照本實用新型提供的技術方案，所述用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置，在機架上轉動安裝有機械手，在機械手上安裝有吸盤，在機械手外側的機架上安裝有第一硅片盒輸送機構、第一升降平臺機構、導向機構、第一出片搬運機構、第一儲料機構、第一運輸機構、第一小車定位機構、第一石墨舟定位機構與第一搬運小車，在機架上內側位置安裝有第二硅片盒輸送機構、第二升降平臺機構、出片輸送機構、第二出片搬運機構、第二儲料機構、第二運輸機構、第二小車定位機構、第二石墨舟定位機構與第二搬運小車；所述第一運輸機構安裝于第一出片搬運機構的前方，第二運輸機構安裝于出片輸送機構的前方，機械手安裝于第一運輸機構與第二運輸機構之間的機架上。

所述第一硅片盒輸送機構與第二硅片盒輸送機構結構相同，它們包括第一電機、托板、同步帶、第一同步帶輪、第二同步帶輪、轉動軸、第三同步帶輪與第四同步帶輪，在第一電機的輸出端連接有第四同步帶輪，轉動軸的兩端均固定有第一同步帶輪，兩第一同步帶輪之間的轉動軸上固定有第三同步帶輪，第四同步帶輪通過同步帶連接第三同步帶輪，同步帶繞過第一同步帶輪、托板與第二同步帶輪。

所述第一升降平臺機構與第二升降平臺機構結構相同，它們包括安裝支座、豎向升降組件和水平輸送組件，水平輸送組件通過第一連接板固定于豎向升降平臺組件上，豎向升降組件通過安裝支座固定于機架上；

所述豎向升降組件包括第二電機，第二電機安裝在安裝支座上，第二電機的輸出端通過聯軸器與第一絲杠的一端連接，所述第一絲杠的兩端通過軸承座轉動安裝在安裝支座上，安裝支座上平行安裝有第一線軌，在第一線軌內滑動連接有第一滑塊，第一絲杠上安裝有第一螺母，第一滑塊及第一螺母固定在第一連接板上；

所述水平輸送組件包括第三電機，第三電機的輸出端固定同步帶輪，轉軸的兩端固定兩個第五同步帶輪，第三電機的輸出端的同步帶輪通過第二同步帶與轉軸上的第十同步帶輪連接，第二同步帶繞過第六同步帶輪與第五同步帶輪，轉軸上方設置有兩個擋塊，所述第一連接板的上端固定有第一氣缸，第一氣缸的活塞桿端部安裝有壓緊頭。

所述導向機構包括第一安裝板、橫向定位組件與縱向導向組件；第一安裝板的下側安裝有縱向導向組件，第一安裝板的上方安裝橫向定位組件；

所述橫向定位組件包括推板、第二線軌，所述第二線軌固定于第一安裝板，推板上固定第二滑塊，所述第二滑塊嵌裝于第二線軌上，第一安裝板的前端固定推條；橫向調節單元通過連接塊固定于第一安裝板上，所述橫向調節單元包括第二氣缸與第五氣缸，所述第二氣缸與第五氣缸相背固定，第五氣缸的活塞桿通過連接塊固定于第一安裝板上，第二氣缸的活塞端通過連接桿與推板固定。

所述縱向導向組件包括第一安裝板下方的同步帶傳送單元與第一安裝板上方的縱向調節單元；所述同步帶傳送單元包括兩第七同步帶輪，兩第七同步帶輪通過連接軸固定于第一安裝板上，所述的兩第七同步帶輪之間通過第三同步帶連接，第一安裝板下方設置線軌，第一傳動塊與第二傳動塊上分別固定有滑塊，所述第一傳動塊與第四傳動塊上的滑塊分別嵌裝于第一安裝板下方設置的線軌上，其中第一傳動塊的一側固定有第一齒形塊，所述第一齒形塊上的齒與第三同步帶上的齒嚙合，且齒形塊與第三同步帶及第二傳動塊固定，所述第四傳動塊上一側固定有第二齒形塊，所述第二齒形塊上的齒與第三同步帶上的齒嚙合，且第二齒形塊與第三同步帶及第五傳動塊固定，所述第二傳動塊通過兩連桿與第三傳動塊固定，連桿的下端與第二連接板固定，第二連接板上固定多個第一導向輪，所述第五傳動塊通過兩連桿與第八連接板連接，第八連接板上固定多個第二導向輪；所述第三傳動塊與縱向調節組件連接；所述縱向調節單元包括第三氣缸、第四氣缸，所述第三氣缸與第四氣缸相背固定，其中第四氣缸的活塞桿通過連接塊固定于第一安裝板上，第三氣缸與第三傳動塊連接。