[實用新型]多膜層復合包裹薄膜有效
| 申請號： | 201220731864.7 | 申請日： | 2012-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN203179864U | 公開（公告）日： | 2013-09-04 |
| 發明（設計）人： | 曾光偉;李學平;費三國 | 申請（專利權）人： | 雅化集團綿陽實業有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/31 | 分類號： | H01L23/31;H01L23/29;F42C11/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214 | 代理人： | 卿誠 |
| 地址： | 621000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多膜層 復合 包裹 薄膜 | ||
【權利要求書】：
1.一種多膜層復合包裹薄膜，其特征在于為多層結構，包括單晶硅材料襯底層、二氧化硅薄膜介質層、摻雜多晶硅薄膜層和氮化硅薄膜介質層，其中單晶硅材料襯底層表面包裹二氧化硅薄膜介質層，二氧化硅薄膜介質層表面包裹摻雜多晶硅薄膜層，摻雜多晶硅薄膜層表面上包裹氮化硅薄膜介質層。
2.根據權利要求1所述的多膜層復合包裹薄膜，其特征在于所述單晶硅材料襯底層、二氧化硅薄膜介質層、摻雜多晶硅薄膜層和氮化硅薄膜介質層緊密包裹形成一個緊密整體。
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