[實用新型]一種硅片清洗裝置

有效

• 申請號: 201220727879.6
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN203046014U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 劉華;付紅平;張存新;郝剛
• 申請（專利權）人: 江西賽維LDK太陽能高科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/02
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

技術領域

本實用新型涉及硅片生產裝置，尤其設在多線切割機內的一種硅片清洗裝置。

背景技術

隨著大規模集成電路的發展，對半導體的要求也越來越強烈，而硅片表面的潔凈度及表面態對高質量的硅器件工藝品是至關重要的，如果硅片表面潔凈度達不到要求，那么無論其它工藝步驟控制得多么優秀，也是不可能獲得高質量的半導體器件的。

現有技術中硅片的清洗皆是在切割完硅片之后進行的，而在線切割硅片時，切割的線會帶有碎屑，從而使切割的線退出時會刮傷切割好的硅片。

更重要的是硅塊在多線切割機內完成切割后，再拿出在多線切割機外進行清洗噴淋時碰到的最大問題就是硅片之間粘結在一起，硅片粘結面之間很難清洗得到，無法徹底清洗干凈，工作效率不高，所加工出來的硅片質量不高，導致所獲得的半導體器件質量也不高。

實用新型內容

根據現有技術中所存在的不足，本實用新型的主要目的是：提供一種結構簡單和硅片清洗效率高效的硅片清洗裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型采用以下技術方案：一種硅片清洗裝置，其設于多線切割機內，所述多線切割機包括四個排放成矩形的導輪、多根切割鋼線以及四組砂漿噴嘴，多根所述切割鋼線依次纏繞在四個所述導輪上且相應的形成兩個用于切割的矩形切割線網，其特征在于，所述硅片清洗裝置包括噴淋管道，兩個所述切割鋼線網分別包括第一切割面和第二切割面，所述第一切割面和所述第二切割面分別設有第一側和第二側，所述第一側和所述第二側分別位于所述第一切割面和所述第二切割面上方，每兩組所述砂漿噴嘴分別位于所述第一側和所述第二側，且所述砂漿噴嘴軸線方向與所述導輪軸線方向平行，所述噴淋管道與所述砂漿噴嘴并行排放且置于兩組所述砂漿噴嘴之間，所述噴淋管道管壁上開有一沿噴淋管道軸心方向的噴淋結構，所述噴淋結構用于噴淋出液體。

其中，所述一種硅片清洗裝置還包括噴淋管路系統；所述噴淋管路系統包括依次連接的用于收集噴淋液的噴淋液收集室、用于將所述噴淋液收集室中的所述噴淋液回收的噴淋液回收系統、用于將所述噴淋液回收系統中的所述噴淋液收集的噴淋液收集裝置、用于使所述噴淋液收集裝置中的所述噴淋液加壓的噴淋液加壓系統以及將所述噴淋液加壓系統中的所述噴淋液保持在同一個溫度的噴淋液恒溫系統所述噴淋管道上接在所述噴淋液恒溫系統上。

其中，所述噴淋管道設有八組，每四組所述噴淋管道分別位于所述第一側和所述第二側，且與所述砂漿噴嘴并行排放并置于兩組所述砂漿噴嘴之間，所述噴淋管道包括有第三側，每兩組所述噴淋管道第三側相對，所述噴淋結構設在所述第三側。

其中，所述噴淋結構開在所述第三側的中間位置。

其中，所述噴淋結構為密集的小孔。

其中，所述噴淋結構為槽，所述槽的兩端為封閉端。?

其中，所述槽的橫截面包括有第一面和第二面，所述第一面與所述噴淋管道徑向平行，所述第二面與所述第一面呈銳角。

本實用新型與現有技術相比較，通過將所述硅片清洗裝置設置在所述多線切割機內，使得多線切割機切割完硅片后，切割鋼線在進行退刀時不會刮傷切割好的硅片，更重要的是，省卻了把切割好的硅片在多線切割機外進行清洗的工序，直接變成在多線切割機內清洗，使得加工好的硅片之間不會粘結在一起，能高效的清洗硅片，操作簡便，工作效率高，降低了成本，帶來了經濟利益。

本實用新型中的其它有益效果，還將在具體實施例中進一步說明。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實施例一中一種硅片清洗裝置的示意圖；

圖2是本實施例一中的一種噴淋管道的示意圖；

圖3是圖2中一種噴淋管道的橫截面剖視圖；

圖4是本實施例一中噴淋管路系統的示意圖；

圖5是本實施例二中的一種噴淋管道的示意圖；

圖6是圖5中一種噴淋管道的橫截面剖視圖。

具體實施方式

????為了使本實用新型所要解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合實施例及附圖，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此部分所描述的具體實施例僅可用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。