[實用新型]一種硅片清洗裝置

有效

• 申請號: 201220727879.6
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN203046014U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 劉華;付紅平;張存新;郝剛
• 申請（專利權）人: 江西賽維LDK太陽能高科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/02
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種硅片清洗裝置，其設于多線切割機內，所述多線切割機包括四個排放成矩形的導輪、多根切割鋼線以及四組砂漿噴嘴，多根所述切割鋼線依次纏繞在四個所述導輪上且相應的形成兩個用于切割的矩形切割線網，其特征在于，所述硅片清洗裝置包括噴淋管道，兩個所述切割鋼線網分別包括第一切割面和第二切割面，所述第一切割面和所述第二切割面分別設有第一側和第二側，所述第一側和所述第二側分別位于所述第一切割面和所述第二切割面上方，每兩組所述砂漿噴嘴分別位于所述第一側和所述第二側，且所述砂漿噴嘴軸線方向與所述導輪軸線方向平行，所述噴淋管道與所述砂漿噴嘴并行排放且置于兩組所述砂漿噴嘴之間，所述噴淋管道管壁上開有一沿噴淋管道軸心方向的噴淋結構，所述噴淋結構用于噴淋出液體。?

2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于，所述一種硅片清洗裝置還包括噴淋管路系統；所述噴淋管路系統包括依次連接的用于收集噴淋液的噴淋液收集室、用于將所述噴淋液收集室中的所述噴淋液回收的噴淋液回收系統、用于將所述噴淋液回收系統中的所述噴淋液收集的噴淋液收集裝置、用于使所述噴淋液收集裝置中的所述噴淋液加壓的噴淋液加壓系統以及將所述噴淋液加壓系統中的所述噴淋液保持在同一個溫度的噴淋液恒溫系統，所述噴淋管道上接在所述噴淋液恒溫系統上。?

3.根據權利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于，所述噴淋管道設有八組，每四組所述噴淋管道分別位于所述第一側和所述第二側，且與所述砂漿噴嘴并行排放并置于兩組所述砂漿噴嘴之間，所述噴淋管道包括有第三側，每兩組所述噴淋管道第三側相對，所述噴淋結構設在所述第三側。?

4.根據權利要求3所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于，所述噴淋結構開在所述第三側的中間位置。?

5.根據權利要求4所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于，所述噴淋結構為密集的小孔。?

6.根據權利要求4所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于，所述噴淋結構為槽，所述槽的兩端為封閉端。?

7.根據權利要求6所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于，所述槽的橫截面包括有第一面和第二面，所述第一面與所述噴淋管道徑向平行，所述第二面?與所述第一面呈銳角。?