[實用新型]等離子體放電裝置

有效

• 申請號: 201220720322.X
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN202979452U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 賈少霞;張宸;楊景華;王守國
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 北京市德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.一種等離子體放電裝置，其特征在于：包括兩個射頻電極、介質阻擋層、勻氣板、氣源、射頻電源和金屬外殼；所述射頻電源與所述射頻電極連接；

放電裝置在工作時，所述金屬外殼接地；

所述射頻電極被介質阻擋層包覆；

兩個射頻電極之間為等離子體噴口；

所述勻氣板位于所述介質阻擋層上方；

所述氣源提供的工作氣體通過由所述勻氣板構成的收縮口，到達所述等離子體噴口，并在常壓下，電源接通后，在所述噴口處形成大面積的輝光等離子體，等離子體在氣流的攜帶下向外噴出。

2.根據權利要求1所述的等離子體放電裝置，其特征在于：

所述勻氣板分為三層，其中，靠近所述射頻電極的一層勻氣板設置有用于收縮氣流的出口，使得工作氣體通過所述第三出口后到達射頻電極之間的噴口。

3.根據權利要求2所述的等離子體放電裝置，其特征在于：

第一層勻氣板由兩個勻氣板構成，該兩個勻氣板之間設置有氣體出口，該兩個該勻氣板與所述金屬外殼之間均設置有氣體出口；

第二層勻氣板由一個勻氣板構成，該勻氣板與所述金屬外殼之間均設置有氣體出口；

第三層勻氣板由兩個所述勻氣板構成，該兩個勻氣板分別與所述金屬外殼連接，該兩個勻氣板之間設置有用于氣體收縮氣流的出口。

4.根據權利要求3所述的等離子體放電裝置，其特征在于：

在第三層勻氣板設置的所述用于氣體收縮氣流的出口面積小于兩個射頻電極之間的面積。

5.根據權利1所述的等離子體放電裝置，其特征在于：

兩個所述射頻電極均是呈半圓形金屬條，在裝置放電時，等離子體僅沿著半圓形弧面轉移。

6.根據權利要求1所述等離子體放電裝置，其特征在于：

所述金屬殼體表面設置有帶孔的絕緣塊，所述射頻電源通過所述絕緣塊與所述射頻電極的連接。