[實(shí)用新型]一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220714838.3
• 申請(qǐng)日: 2012-12-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203007401U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周文彬;劉幼海;劉吉人
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/58
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/58;C23C16/56
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

所屬技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于光伏玻璃工藝設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置。

背景技術(shù)

目前，于水平式光伏玻璃薄膜沉積設(shè)備中，光伏玻璃必需被加熱，具體的表面溫度約達(dá)200度左右，于制程結(jié)束后，傳送出腔體外以進(jìn)行下一道工藝前的光伏玻璃表面溫度就顯得格外重要。以往設(shè)備上的克服方式為直接以深孔鉆貫穿兩側(cè)形成水道的冷卻板設(shè)置于腔室內(nèi)進(jìn)行光伏玻璃的表面溫度的降溫，但這種設(shè)置成本高，加工不易，花費(fèi)時(shí)間也較長(zhǎng)。

實(shí)用新型內(nèi)容

綜上所述，為了克服以上的不足，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置，它利用冷卻板內(nèi)部設(shè)置的冷卻銅管凹槽用以包覆冷卻銅管，同時(shí)冷卻銅管內(nèi)通入一定溫度的冷卻介質(zhì)，使冷卻板表面均勻地達(dá)到一定溫度，再通過(guò)冷卻板與光伏玻璃表面接觸，使其進(jìn)行溫度傳導(dǎo)，有效地降低光伏玻璃薄膜沉積時(shí)的表面溫度，減少成本，不需維修，冷卻效果優(yōu)良的裝置。

本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：?

一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置，包括上下兩片冷卻板裝置，內(nèi)部設(shè)有5mm深度的冷卻板凹槽，用以放置冷卻銅管，冷卻銅管直徑10mm，上下冷卻板以M6螺絲鎖固。

??本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)在于。

1.??????所述的冷卻板為不銹鋼304材質(zhì)，厚度10mm，表面拋光處理。

2.??????所述的冷卻板以M6螺絲鎖固，拆卸方便。

3.??????所述的冷卻銅管為一般純銅。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的優(yōu)點(diǎn)：冷卻板為不銹鋼304材質(zhì)，加工容易，降低成本，采用冷卻銅管方式，能夠防止冷卻水泄漏，更換容易，維修方便。

附圖說(shuō)明

圖1系為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2系為冷卻板結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3系為冷卻銅管示意圖。

主要組件符號(hào)說(shuō)明。

1．．．上冷卻板。

2．．．下冷卻板。

3．．．冷卻銅管。

21．．．冷卻板凹槽。

31．．．冷卻銅管。

具體實(shí)施方式

????下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明：

請(qǐng)參閱圖1所示，一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置，其包括上冷卻板1及下冷卻板2組成，上下冷卻板上設(shè)有M6螺絲孔位4，中間包覆冷卻銅管3。

???請(qǐng)參閱圖2所示，一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置，冷卻板1,2表面設(shè)有5mm深冷卻板凹槽21，用以包覆冷卻銅管。

???請(qǐng)參閱圖3所示，一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置，冷卻銅管31，可通入冷卻介質(zhì)，使溫度能直接傳導(dǎo)到上下冷卻板1,2上。藉由通入一定溫度的冷卻介質(zhì)于冷卻銅管3內(nèi)，使冷卻銅管3到達(dá)與冷卻介質(zhì)相同的溫度，再經(jīng)由接觸傳遞的方式，使的冷卻板1,2表面均勻地達(dá)到一定的冷卻溫度

????以上所述實(shí)例是對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案的說(shuō)明而非限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員的等同替換或者根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)而做的修改，只要未超出本實(shí)用新型技術(shù)方案的思路和范圍，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。