[實用新型]一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置有效
| 申請號： | 201220714838.3 | 申請日： | 2012-12-23 |
| 公開（公告）號： | CN203007401U | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 周文彬;劉幼海;劉吉人 | 申請（專利權）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/58 | 分類號： | C23C14/58;C23C16/56 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 水平 薄膜 沉積 冷卻 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置，其包括上下兩片冷卻板裝置、冷卻板凹槽，冷卻銅管。
2.根據權利要求1所述之一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置，其特征在于，所述的冷卻板材質為不銹鋼304，厚度10mm及表面拋光處理。
3.根據權利要求1所述之一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置，其特征在于，所述的冷卻銅管直徑10mm。
4.根據權利要求1所述之一種水平式薄膜沉積冷卻板裝置，其特征在于，所述之上下冷卻板設有冷卻板凹槽，使上下冷卻板可完全包覆冷卻銅管，并設有M6螺絲孔位，用以將上下冷卻板鎖固在一起。
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