[實用新型]金屬有機化學氣相沉積設備

有效

• 申請號: 201220711704.6
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN203096168U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 梁秉文
• 申請（專利權）人: 光達光電設備科技（嘉興）有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

一種金屬有機化學氣相沉積設備，其包括腔體，設置在所述腔體上部的進氣裝置、設置在所述腔體底部的襯底承載裝置以及加熱器，所述襯底承載裝置與所述進氣裝置相對設置，所述加熱器加熱所述襯底承載裝置，所述襯底承載裝置包括承載板，所述承載板包括面向所述進氣裝置的支撐面，待處理襯底設置于所述支撐面，其特征在于：所述承載裝置進一步包括多個定位銷，所述定位銷設置于所述支撐面，所述定位銷用于限定待處理襯底在所述支撐面上的位置。?

根據權利要求1所述的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于：所述定位銷的橫截面積小于或等于4平方毫米。?

根據權利要求2所述的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于：待處理襯底設置在所述支撐面上并與所述定位銷接觸時，待處理襯底與定位銷點接觸。?

根據權利要求2所述的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于：所述定位銷的橫截面為圓形、多邊形或橢圓形。?

根據權利要求2至4中任一個所述的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于：所述定位銷在所述支撐面上的設置使得待處理襯底能夠在所述支撐面上呈蜂窩狀排列。?

根據權利要求1所述的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于：所述支撐面具有多個定位孔，所述定位銷通過插入到所述定位孔中而設置在所述支撐面。?

根據權利要求6所述的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于：所述多個定位孔在所述支撐面上的排布設置使得待處理襯底可以以多種排布方式在所述支撐面上排布。?

根據權利要求7所述的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于：所述待處理襯底包括大襯底和小襯底，所述大襯底的尺寸大于所述小襯底，所述待處理襯底的排布方式包括小襯底排布、大襯底和小襯底混合排布、大襯底排布。?

根據權利要求7所述的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于：所述待處理襯底的排布方式包括蜂窩狀排布和沿所述承載板徑向分層排布。?

根據權利要求6所述的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于：所述定位銷還包含有鐵磁性材料部。?