[實(shí)用新型]一種控制化學(xué)液溫度的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220710280.1
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN203012549U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周傳霞;吳儀;裴立坤;何金群;賈星杰
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝清洗設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種控制化學(xué)液溫度的裝置。

背景技術(shù)

在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備工藝中，針對進(jìn)入工藝腔室中化學(xué)液粘度不一致的情況，在工藝過程中，通過加熱器加熱到一定溫度的化學(xué)液流經(jīng)到各個工藝腔室的路徑不同，因而到達(dá)各工藝腔室的化學(xué)液的粘度和溫度不同，不能夠很好的滿足工藝要求，對清洗的效果帶來一定的影響。

目前的工藝方案中控制化學(xué)液粘度的裝置都只在主管路上安裝加熱器對化學(xué)液進(jìn)行加熱，加熱后的化學(xué)液通過多條并行管路進(jìn)入到各自的工藝腔室。過程中，各個工藝腔室與加熱器的距離有遠(yuǎn)有近，兩者之間由于管路長度的不同，散失的熱量以及水分的揮發(fā)存在一定的差異，這就使得每個工藝腔室中化學(xué)液的粘度和溫度的一致性得不到保證，不能很好的滿足工藝要求，另一方面，由于加熱器和工藝腔室之間還有一些距離，當(dāng)化學(xué)液到達(dá)工藝腔室時由于熱量的散失化學(xué)液的溫度會有所降低，導(dǎo)致實(shí)際的化學(xué)液工藝溫度與加熱器控制的溫度有較大的偏差，不能實(shí)時反映當(dāng)前的工藝溫度。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)所要解決的技術(shù)問題

本實(shí)用新型通過提供一種控制化學(xué)液溫度的裝置，提高了各個工藝腔室化學(xué)液溫度和粘度的一致性。

(二)技術(shù)方案

本實(shí)用新型提供了一種控制化學(xué)液溫度的裝置，主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動閥，其特征在于，在氣動閥與各相對應(yīng)的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室。

優(yōu)選的，所述加熱裝置為加熱帶，加熱帶纏繞在管路上，所述加熱帶的接頭與電源直接相連。

優(yōu)選的，在每個加熱裝置上連接控制器。

優(yōu)選的，所述控制器為數(shù)字顯示溫控器。

優(yōu)選的，在所述加熱裝置與工藝腔室間靠近工藝腔室側(cè)的管路上分別安裝溫度傳感器。

(三)有益效果

本實(shí)用新型可以有效的解決實(shí)際的化學(xué)液工藝溫度與加熱器控制的溫度有較大的偏差，不能實(shí)時滿足當(dāng)前的工藝溫度的問題；同時解決了每個工藝腔室中化學(xué)液的粘度和溫度的一致性得不到保證，不能很好的滿足工藝要求的問題。其方法簡單易行，不僅可以實(shí)時控制并顯示化學(xué)液的溫度，也提高了各工藝腔室化學(xué)液粘度和溫度的一致性。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型提供的控制化學(xué)液溫度的裝置。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

本實(shí)用新型提供了一種控制化學(xué)液溫度的裝置，主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動閥，其特征在于，在氣動閥與各相對應(yīng)的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室，各工藝腔室與加熱裝置的距離一致。這樣不僅可以保證各工藝腔室化學(xué)液溫度的一致性，而且各工藝腔室的化學(xué)液粘度的一致性也可以得到保證。

可選的，所述加熱裝置為加熱帶，加熱帶纏繞在管路上，所述加熱帶的接頭與電源直接相連；加熱帶裝置較簡單容易實(shí)現(xiàn)。

可選的，在每個加熱裝置上連接控制器；控制器可實(shí)時控制調(diào)節(jié)加熱帶的溫度，更好的使進(jìn)入各工藝腔室的化學(xué)液溫度保持一致。所述控制器可選為數(shù)字顯示溫控器，實(shí)時顯示監(jiān)測溫度。

可選的，在所述加熱裝置與工藝腔室間靠近工藝腔室側(cè)的管路上分別安裝溫度傳感器；溫度傳感器與數(shù)顯溫控器結(jié)合更好的實(shí)時控制并監(jiān)測化學(xué)液的溫度。

具體如圖1所示：

一種控制化學(xué)液溫度的裝置，化學(xué)液在主管路上先經(jīng)過氣動閥(11)進(jìn)入到水槽(2)中，再經(jīng)氣動閥(12)到達(dá)泵(3)，泵(3)通過管路將化學(xué)液輸送到加熱器(4)中加熱，加熱器的出口附近設(shè)置一溫度傳感器(5)監(jiān)測溫度，加熱后的化學(xué)液進(jìn)入并行管路，化學(xué)液分別經(jīng)過4個氣動閥(13)進(jìn)入到各自的工藝腔室(8)進(jìn)行工藝。在進(jìn)行工藝之前的一段管路上纏繞一段加熱帶(6)，加熱帶到管路出口的距離在不影響工藝的情況下盡可能縮短，這樣不僅可以保證各工藝腔室的化學(xué)液溫度的一致性，而且各工藝腔室化學(xué)液粘度的一致性也可以得到保證。

加熱帶的接頭與電源直接相連，并在各加熱帶上連接一個數(shù)顯溫控器(7)來實(shí)時控制并顯示加熱帶的溫度，在4條管路出口附近分別安裝一個溫度傳感器TS(5)測量化學(xué)液的溫度，TS與數(shù)顯溫控器結(jié)合實(shí)時控制并監(jiān)測化學(xué)液的溫度，通過對化學(xué)液溫度的控制來改變其粘度，由于將加熱裝置設(shè)置在化學(xué)液即將進(jìn)行工藝的管路部分，這相較于以前的只在主路上加熱化學(xué)液的方案，更容易保證化學(xué)液在進(jìn)行工藝時更加滿足溫度要求。

以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。