[實用新型]一種控制化學液溫度的裝置有效
| 申請號： | 201220710280.1 | 申請日： | 2012-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN203012549U | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 周傳霞;吳儀;裴立坤;何金群;賈星杰 | 申請（專利權）人： | 北京七星華創電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G05D23/20 | 分類號： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩 |
| 地址： | 100015 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 控制 化學 溫度 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種控制化學液溫度的裝置，主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動閥，其特征在于，在氣動閥與各相對應的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室。
2.如權利要求1所述裝置，其特征在于，所述加熱裝置為加熱帶，加熱帶纏繞在管路上，所述加熱帶的接頭與電源直接相連。
3.如權利要求1所述裝置，其特征在于，在每個加熱裝置上連接控制器。
4.如權利要求3所述裝置，其特征在于，所述控制器為數字顯示溫控器。
5.如權利要求1所述裝置，其特征在于，在所述加熱裝置與工藝腔室間靠近工藝腔室側的管路上分別安裝溫度傳感器。
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